柔性器件的剥离方法技术

本发明专利技术公开了一种柔性器件的剥离方法，所述柔性器件包括层叠设置的柔性衬底和柔性功能层，所述柔性衬底远离所述柔性功能层的一侧设置于载体基板上，所述剥离方法包括如下步骤：利用第一激光透过所述载体基板扫描所述柔性器件的第一区域；利用第二激光透过所述载体基板扫描所述柔性器件的第二区域；其中，所述柔性器件上的所述第二区域位于所述第一区域的范围内。该柔性器件的剥离方法在分离柔性衬底与载体基板的过程中，大大减少了因微粒所处位点粘结力较强而导致的柔性器件撕裂，有效提高了剥离柔性器件工艺的良品率。高了剥离柔性器件工艺的良品率。高了剥离柔性器件工艺的良品率。

【技术实现步骤摘要】
柔性器件的剥离方法


[0001]本专利技术涉及柔性薄膜产品
，尤其是涉及一种柔性器件的剥离方法。

技术介绍

[0002]可折叠的电子设备能够有效缩小电子设备所占据的面积，且能够带来更丰富的使用性能。可折叠电子设备中需要用到柔性显示器件或可折叠显示器件。与普通显示器件相比，柔性显示器件具有耐冲击、抗震能力更强，能适应的工作环境更广、可卷曲、可采用印刷制备的卷带式生产工艺等优点。随着制作工艺、技术的不断发展，柔性显示器件的形态越来越丰富，在屏幕尺寸不断增大的同时显示质量也在不断提高。
[0003]传统的柔性显示器件通常包括如下的结构：柔性衬底和依次设置于柔性衬底上的电极层、柔性的薄膜晶体管阵列、柔性发光功能层以及封装层。柔性显示器件要求其中各部件具有一定且相似的弯曲半径，在弯曲的情况下不发生损坏或脱离，才能够实现柔性显示器件的整体柔性化。
[0004]传统的制备柔性显示器件的方法是贴附取下工艺。其中，贴附生产工艺是指先在硬质基板上制备柔性显示器件整体。之所以在硬质基板上制备柔性显示器件，是因为如此不会影响柔性显示器件的制作精度本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种柔性器件的剥离方法，其特征在于，所述柔性器件包括层叠设置的柔性衬底和柔性功能层，所述柔性衬底远离所述柔性功能层的一侧设置于载体基板上，所述剥离方法包括如下步骤：利用第一激光透过所述载体基板扫描所述柔性器件的第一区域；利用第二激光透过所述载体基板扫描所述柔性器件的第二区域；其中，所述柔性器件上的所述第二区域位于所述第一区域的范围内。2.根据权利要求1所述的柔性器件的剥离方法，其特征在于，所述利用第一激光扫描柔性器件的第一区域时，所述第一激光聚焦的聚焦平面位于所述柔性衬底与所述载体基板之间的界面处；和/或所述利用第二激光扫描柔性器件的第二区域时，所述第二激光聚焦的聚焦平面相对于所述柔性衬底与所述载体基板之间的界面，朝向所述柔性衬底方向偏移。3.根据权利要求2所述的柔性器件的剥离方法，其特征在于，所述第二激光聚焦的聚焦平面相对于所述界面朝向所述柔性衬底方向偏移的距离是3μm～5μm。4.根据权利要求1所述的柔性器件的剥离方法，其特征在于，所述第一激光的能量密度小于所述第二激光的能量密度。5.根据权利要求4所述的柔性器件的剥离方法，其特征在于，所述第一激光的能量密度为120mJ/cm2～130mJ/cm2；和/或所述第二激光的能量密度为150mJ/cm2～160mJ/cm2。6.根据权利要求1所述的柔性器件的剥离方法，其特征在于，发射所述第一激光的激光器和发射所述第二激光的激光器分别独立地选自发射波长为308nm的准分子激光器...

【专利技术属性】
技术研发人员：高卓，
申请(专利权)人：广东聚华印刷显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：