真空干燥装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种真空干燥装置。真空干燥装置包括真空干燥箱体、承载机构以及转动机构；所述真空干燥箱体具有能够预设真空度以及预设温度的真空干燥腔，所述承载机构活动设置于所述真空干燥腔内以用于承载待干燥物件，所述转动机构连接所述承载机构以用于驱动所述承载机构转动。本发明专利技术的真空干燥装置用于喷墨打印后的膜层干燥时，干燥效果佳、干燥后的膜层分布均匀。层分布均匀。层分布均匀。

【技术实现步骤摘要】
真空干燥装置


[0001]本专利技术涉及显示领域，特别是涉及一种真空干燥装置。

技术介绍

[0002]在显示技术中，各功能层的制备一般是采用真空蒸镀技术以及喷墨印刷工艺。目前的真空蒸镀技术的材料利用率低，且当制备大尺寸显示面板时需使用大尺寸的高精度面罩，而大尺寸的高精度面罩容易下垂或者变形，导致各功能层形貌不均匀，产品良率低，生产成本居高不下。
[0003]喷墨印刷工艺能够大幅地提高材料的利用率，降低生产成本，且能实现大尺寸OLED(Organic Light
‑
Emitting Diode，有机电致发光二极管)、QLED(Quantum Dot Light Emitting Diodes，量子点电致发光二极管)显示面板打印的优势。传统的OLED/QLED喷墨印刷工艺中，通常是采用喷墨打印技术在已有ITO(Indium Tin Oxide，氧化铟锡)图案化的基板的像素坑中，打印形成各功能层，打印后的功能层需要进行真空干燥处理，在真空干燥处理过程中，需要根据打印的功能层设置合适的真空干燥条件如真空度、时间、温度等，以获得膜层，现有的真空干燥装置对基板的干燥效果不理想，膜层分布不均匀，常出现基板边缘堆积严重的问题。

技术实现思路

[0004]基于此，有必要提供一种真空干燥装置。本专利技术的真空干燥装置能够实现喷墨打印后的膜层干燥效果佳、膜层分布均匀，避免待干燥物件如基板边缘出现堆积现象。
[0005]一种真空干燥装置，包括真空干燥箱体、承载机构以及转动机构；
[0006]所述真空干燥箱体具有能够预设真空度以及预设温度的真空干燥腔，所述承载机构活动设置于所述真空干燥腔内以用于承载待干燥物件，所述转动机构连接所述承载机构以用于驱动所述承载机构转动。
[0007]在其中一个实施例中，所述承载机构具有承载面，所述承载面上具有用于承载待干燥物件的承载槽，所述承载槽的深度小于待干燥物件的厚度。
[0008]在其中一个实施例中，所述真空干燥装置还包括吸附机构，所述吸附机构连接所述真空干燥箱体，所述承载槽的槽底面具有吸附孔，所述吸附机构能够通过所述吸附孔吸风以实现固定待干燥物件。
[0009]在其中一个实施例中，所述承载槽的槽底面具有由多个所述吸附孔组成的吸附区，多个所述吸附孔呈矩阵分布。
[0010]在其中一个实施例中，所述吸附孔的孔径为0.3
‑
0.5mm；
[0011]和/或，多个所述吸附孔呈行数与列数相等的矩阵分布，矩阵每行和/或矩阵每列上的所述吸附孔的数量不小于3。
[0012]在其中一个实施例中，所述吸附区呈正方形结构，所述吸附区的边长小于待干燥物件的边长a，所述吸附区的对角线长度b小于待干燥物件的边长a，且待干燥物件的边长a
与所述吸附区的对角线长度b之间的差值为5
‑
7mm。
[0013]在其中一个实施例中，所述吸附孔的数量S＝n2，n＝TRUNC(L/10/r)，n取不小于3的自然数；其中，L为待干燥物件的对角线长度，r为吸附孔的孔径。
[0014]在其中一个实施例中，所述承载槽呈圆形槽，所述承载槽的直径R大于待干燥物件的对角线长度L，且R
‑
L的差值为1
‑
2mm。
[0015]在其中一个实施例中，所述转动机构为磁流体驱动器。
[0016]在其中一个实施例中，，还包括抽真空机构，所述抽真空机构连接所述真空干燥箱体以用于控制所述真空干燥腔内的真空度至预定值；所述抽真空机构包括串联连接的干泵以及分子泵，所述干泵与所述真空干燥箱体连接。
[0017]在其中一个实施例中，所述真空干燥装置还包括过滤机构，所述过滤机构包括过滤罩体以及过滤膜，所述过滤罩体具有导流通道、用于与承载机构配合的第一开口以及与所述第一开口相对设置的第二开口，所述第一开口与所述第二开口均与所述导流通道连通，所述过滤膜连接于所述过滤罩体内且封闭所述第二开口，所述过滤膜上具有过滤孔。
[0018]在其中一个实施例中，所述过滤膜的数量为多个，多个所述过滤膜顺序设置且相邻的所述过滤膜之间具有间隔。
[0019]在其中一个实施例中，所述过滤膜具有多个同心的过滤环，各个所述过滤环上均具有多个所述过滤孔，由所述过滤膜的中心至所述过滤膜的边缘方向，所述过滤环的孔隙率逐渐增大。
[0020]在其中一个实施例中，所述过滤机构还包括移动部件，所述移动部件连接所述过滤罩体以用于驱动所述过滤罩体运动。
[0021]在其中一个实施例中，所述移动部件包括移动丝杆以及移动驱动器，所述移动驱动器通过所述移动丝杆连接所述过滤罩体。
[0022]在其中一个实施例中，所述导流通道的径向尺寸由所述第一开口至所述第二开口方向逐渐收窄。
[0023]在其中一个实施例中，所述真空干燥装置还包括加热机构，所述加热机构连接所述承载机构以用于控制所述真空干燥腔内的温度至预设温度。
[0024]上述的真空干燥装置中，待干燥物件在真空干燥腔内以预设温度、预设真空度干燥预设时间，在干燥的同时，待干燥物件在转动机构的驱动下能够以预设转速缓慢匀速转动，如此能够实现待干燥物件如喷墨打印后的膜层具有较好的干燥效果、膜层分布均匀，避免了传统干燥方法中基板边缘出现的堆积现象。
[0025]上述的真空干燥装置通过设置过滤机构实现对抽真空时的气流进行分流，提高了干燥后成膜效果。抽真空时，气流经过滤膜上的过滤孔进行分流，使得膜层分布更加均匀，极大程度上减少了待干燥物件边缘堆积现象。
附图说明
[0026]图1为本专利技术实施例1所述的真空干燥装置示意图；
[0027]图2为图1所示的真空干燥装置的承载机构示意图；
[0028]图3为图2所示的真空干燥装置的承载机构俯视示意图；
[0029]图4为本专利技术实施例2所述的真空干燥装置示意图；
[0030]图5为图4所示的真空干燥装置的过滤机构示意图；
[0031]图6为图5所示的过滤机构的过滤膜示意图；
[0032]图7为待干燥物件示意图。
[0033]附图标记说明
[0034]10、真空干燥装置；100、真空干燥箱体；110、真空干燥腔；200、承载机构；210、承载面；211、承载槽；2111、吸附区；2112、吸附孔；300、加热机构；400、转动机构；500、抽真空机构；510、干泵；520、分子泵；600、吸附机构；700、过滤机构；710、过滤罩体；711、导流通道；712、第一开口；713、第二开口；720、过滤膜；721、过滤孔；7221、第一区域；7222、第二区域；7223、第三区域；7224、第一区域；7225、第五区域；730、移动部件；731、移动丝杆；732、移动驱动器；800、控制机构；20、待干燥物件。
具体实施方式
[0035]为了便于理解本专利技术，下面将参照相关附图对本专利技术进行更全面的描述。附图中给出了本专利技术的较佳实施例本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空干燥装置，其特征在于，包括真空干燥箱体、承载机构以及转动机构；所述真空干燥箱体具有能够预设真空度以及预设温度的真空干燥腔，所述承载机构活动设置于所述真空干燥腔内以用于承载待干燥物件，所述转动机构连接所述承载机构以用于驱动所述承载机构转动。2.根据权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，所述承载机构具有承载面，所述承载面上具有用于承载待干燥物件的承载槽，所述承载槽的深度小于待干燥物件的厚度。3.根据权利要求2所述的真空干燥装置，其特征在于，所述真空干燥装置还包括吸附机构，所述吸附机构连接所述真空干燥箱体，所述承载槽的槽底面具有吸附孔，所述吸附机构能够通过所述吸附孔吸风以实现固定待干燥物件。4.根据权利要求3所述的真空干燥装置，其特征在于，所述承载槽的槽底面具有由多个所述吸附孔组成的吸附区，多个所述吸附孔呈矩阵分布。5.根据权利要求4所述的真空干燥装置，其特征在于，所述吸附孔的孔径为0.3
‑
0.5mm；和/或，多个所述吸附孔呈行数与列数相等的矩阵分布，矩阵每行和/或矩阵每列上的所述吸附孔的数量不小于3。6.根据权利要求1
‑
5任意一项所述的真空干燥装置，其特征在于，所述转动机构为磁流体驱动器。7.根据权利要求1
‑
5任意一项所述的真空干燥装置，其特征在于，所述真空干燥装置还包括抽真空机构，所述抽真空机构连接所述真空干燥箱体以用于控制所述真空干燥腔内的真空度至预定值；所述抽真空机构包括串联连接的干泵以及分子泵，所述干泵与所述真空干燥箱...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢仕昭，
申请(专利权)人：广东聚华印刷显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：