一种切片机料座夹紧装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及半导体加工设备，旨在提供一种切片机料座夹紧装置。包括：夹紧底座，所述夹紧底座具有第一工作空间和第二工作空间，且所述第一工作空间和第二工作空间连通；料座，所述料座位于所述夹紧底座的第一工作空间中，且所述料座和夹紧底座之间可相对运动；以及动作机构，包括：顶杆、弹力组件以及液压组件；顶杆能够使得料座被抵触限定第一工作空间内，或者克服弹力组件而远离料座。本实用新型专利技术可以同时布置多组液压组件与碟簧单元，在提供可靠夹紧力的同时，在减小料座的变形，提高产品加工精度。通过钣金和密封胶将碟簧和液压油缸等部件包覆在夹紧底座上，能够有效避免液压油泄漏产生的污染风险。产生的污染风险。产生的污染风险。

【技术实现步骤摘要】
一种切片机料座夹紧装置


[0001]本技术涉及一种半导体加工设备，尤其是一种切片机料座夹紧装置。

技术介绍

[0002]在蓝宝石或半导体切片工艺中，目前使用的切片机料座夹紧装置通常采用顶置夹紧油缸的方式：由夹紧油缸内的螺旋弹簧提供向上的拉力，通过油缸蘑菇头将料座拉紧在夹紧底座上。该方式存在问题如下：1、油缸蘑菇头与料座接触面较小，料座相应位置应力较为集中，局部位置容易产生塑性变形，料座整体形变量也较大；2、由于油缸是顶置式，且蘑菇头与料座直接接触，若油缸发生液压油泄漏，油污容易对工件造成污染。
[0003]因此，对切片机料座夹紧装置进行改进，对于提升加工精度和避免污染是有益的。

技术实现思路

[0004]本技术要解决的技术问题是，克服现有技术中的不足，提供一种切片机料座夹紧装置。
[0005]为解决上述技术问题，本技术采用的解决方案是：
[0006]提供一种切片机料座夹紧装置，包括：夹紧底座，所述夹紧底座具有第一工作空间和第二工作空间，且所述第一工作空间和第二工作空间连通；料座，所述料座位于所述夹紧底座的第一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种切片机料座夹紧装置，其特征在于，包括：夹紧底座，所述夹紧底座具有第一工作空间和第二工作空间，且所述第一工作空间和第二工作空间连通；料座，所述料座位于所述夹紧底座的第一工作空间中，且所述料座和夹紧底座之间可相对运动；以及动作机构，所述动作机构位于所述夹紧底座的第二工作空间中，且所述动作机构包括：顶杆，所述顶杆对应在所述料座上；弹力组件，所述弹力组件可弹性形变；以及液压组件，所述液压组件可伸缩；其中，所述顶杆相对于所述料座具有第一状态和第二状态，在第一状态下，所述弹力组件作用在所述顶杆上，并通过所述顶杆使得料座被抵触限定第一工作空间内；在第二状态下，所述液压组件作用在所述顶杆上，以使得所述顶杆克服弹力组件而远离料座。2.根据权利要求1所述的切片机料座夹紧装置，其特征在于，所述顶杆上设置有第一工作面，所述料座上设置有第二工作面；其中，所述顶杆通过第一工作面抵触在料座的第二工作面上，且所述第一工作面和第二工作面为一组相互配合的倾斜面。3.根据权利要求1所述的切片机料座夹紧装置，其特征在于，所述弹力组件包括：限位块，所述限位块固定设置在第二工作空间内；弹力件，所述弹力件的第一端作用在顶杆上，所述弹力件的第二端作用在限位块上。4.根据权利要求1所述的切片机料座夹紧装置，其特征在于，所述顶杆的外侧面设置有密封圈，所述密封圈贴合在第二工作空间的内壁上，使得所述第二工作空间和第一工作空间的连通通道被密封。5.根据权利要求1所述的切片机料座夹紧装置，其特征在于，所述液压组件包括：液压缸，所述液压缸固定在所述第二工作空间内；连杆，所述连杆的第一端...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱亮，卢嘉彬，邱文杰，周锋，许建青，张漫漫，朱继锭，郭钬，黄佳辉，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：