一种切片机料座夹紧装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及半导体加工设备，旨在提供一种切片机料座夹紧装置。包括：夹紧底座，所述夹紧底座具有第一工作空间和第二工作空间，且所述第一工作空间和第二工作空间连通；料座，所述料座位于所述夹紧底座的第一工作空间中，且所述料座和夹紧底座之间可相对运动；以及动作机构，包括：顶杆、弹力组件以及液压组件；顶杆能够使得料座被抵触限定第一工作空间内，或者克服弹力组件而远离料座。本实用新型专利技术可以同时布置多组液压组件与碟簧单元，在提供可靠夹紧力的同时，在减小料座的变形，提高产品加工精度。通过钣金和密封胶将碟簧和液压油缸等部件包覆在夹紧底座上，能够有效避免液压油泄漏产生的污染风险。产生的污染风险。产生的污染风险。

【技术实现步骤摘要】
一种切片机料座夹紧装置


[0001]本技术涉及一种半导体加工设备，尤其是一种切片机料座夹紧装置。

技术介绍

[0002]在蓝宝石或半导体切片工艺中，目前使用的切片机料座夹紧装置通常采用顶置夹紧油缸的方式：由夹紧油缸内的螺旋弹簧提供向上的拉力，通过油缸蘑菇头将料座拉紧在夹紧底座上。该方式存在问题如下：1、油缸蘑菇头与料座接触面较小，料座相应位置应力较为集中，局部位置容易产生塑性变形，料座整体形变量也较大；2、由于油缸是顶置式，且蘑菇头与料座直接接触，若油缸发生液压油泄漏，油污容易对工件造成污染。
[0003]因此，对切片机料座夹紧装置进行改进，对于提升加工精度和避免污染是有益的。

技术实现思路

[0004]本技术要解决的技术问题是，克服现有技术中的不足，提供一种切片机料座夹紧装置。
[0005]为解决上述技术问题，本技术采用的解决方案是：
[0006]提供一种切片机料座夹紧装置，包括：夹紧底座，所述夹紧底座具有第一工作空间和第二工作空间，且所述第一工作空间和第二工作空间连通；料座，所述料座位于所述夹紧底座的第一工作空间中，且所述料座和夹紧底座之间可相对运动；以及动作机构，所述动作机构位于所述夹紧底座的第二工作空间中，且所述动作机构包括：顶杆，所述顶杆对应在所述料座上；弹力组件，所述弹力组件可弹性形变；以及液压组件，所述液压组件可伸缩；其中，所述顶杆相对于所述料座具有第一状态和第二状态，在第一状态下，所述弹力组件作用在所述顶杆上，并通过所述顶杆使得料座被抵触限定第一工作空间内；在第二状态下，所述液压组件作用在所述顶杆上，以使得所述顶杆克服弹力组件而远离料座。
[0007]作为一种改进方案，所述顶杆上设置有第一工作面，所述料座上设置有第二工作面；其中，所述顶杆通过第一工作面抵触在料座的第二工作面上，且所述第一工作面和第二工作面为一组相互配合的倾斜面。
[0008]作为一种改进方案，所述弹力组件包括：限位块，所述限位块固定设置在第二工作空间内；弹力件，所述弹力件的第一端作用在顶杆上，所述弹力件的第二端作用在限位块上。
[0009]作为一种改进方案，所述顶杆的外侧面设置有密封圈，所述密封圈贴合在第二工作空间的内壁上，使得所述第二工作空间和第一工作空间的连通通道被密封。
[0010]作为一种改进方案，所述液压组件包括：液压缸，所述液压缸固定在所述第二工作空间内；连杆，所述连杆的第一端连接在液压缸上，所述连杆的第二端连接在顶杆上；其中，所述液压缸作用在连杆上，并通过连杆使得液压缸可带动顶杆运动。
[0011]作为一种改进方案，所述液压缸位于顶杆的一侧，以使得所述动作机构的整体长度缩短。
[0012]作为一种改进方案，所述动作机构设置有多组，多组动作机构沿所述料座的长度方向间隔排列；且多组所述动作机构中的连杆相互连接，或多组所述动作机构中的连杆为同一根连杆，通过连杆使得多组动作机构同步带动顶杆远离料座。
[0013]作为一种改进方案，所述料座上设置有第三工作面，且所述第三工作面和第二工作面分别位于料座的相对两个侧面；所述第一工作空间的内壁上设置有第四工作面；其中，所述料座通过第三工作面抵触在第一工作空间的第四工作面上，且第三工作面和第四工作面为一组相互配合的倾斜面。
[0014]作为一种改进方案，所述顶杆包括：杆体；顶块，所述顶块可拆卸式连接在杆体上，且所述顶块作用在料座上；其中，所述动作机构设置有多组，多组动作机构沿所述料座的长度方向间隔排列；且多组所述动作机构中的顶块相互连接，或多组所述动作机构中的顶块为同一个顶块，通过顶块使得多组动作机构同步作用于料座。
[0015]作为一种改进方案，所述夹紧底座上还可拆卸式连接有密封钣金；其中，所述第二工作空间由夹紧底座和密封钣金配合构建，通过密封钣金使得第二工作空间对外敞开或封闭。
[0016]技术原理说明：
[0017]本技术利用弹力组件可弹性形变和液压组件可伸缩的特性，实现料座在夹紧底座第一工作空间内的相对动作。当弹力组件作用在顶杆上时，通过顶杆使得料座被抵触限定第一工作空间内；当液压组件作用在顶杆上时，使得顶杆克服弹力组件而远离料座。
[0018]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0019]1、本技术可以同时布置多组液压组件与碟簧单元，在提供可靠夹紧力的同时，在减小料座的变形，提高产品加工精度。
[0020]2、本技术的碟簧和液压油缸布置在夹紧装置的侧面，用钣金和密封胶将碟簧和液压油缸等部件包覆在夹紧底座上。因此，整个装置只有顶杆末端会伸入切割室。所有与液压油有关的部件和管路都被封闭起来，能够有效避免液压油泄漏产生的污染风险。
附图说明
[0021]图1是本技术的外形构造图。
[0022]图2是主视方向碟簧单元位置的剖面图。
[0023]图3是主视方向液压组件位置的剖面图。
[0024]图4是俯视方向碟簧单元和液压组件位置的剖面图。
[0025]图中1
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夹紧底座，2
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料座，3
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顶块，4
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密封钣金，5
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液压油接口，6
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底座螺栓，7
‑ꢀ
顶杆，8
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弹力件，9
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限位块，10
‑
连杆，11
‑
螺母，12
‑
紧定螺钉，13
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密封圈，14
‑
柱塞， 15
‑
液压缸，16
‑
锁紧螺母，17
‑
油路堵头。
具体实施方式
[0026]下面结合附图与具体实施方式对本技术作进一步详细描述：
[0027]如附图所示，切片机料座夹紧装置包括：夹紧底座1，具有第一工作空间和第二工作空间，且所述第一工作空间和第二工作空间连通；料座2，位于夹紧底座1的第一工作空间中，且料座2和夹紧底座1之间可相对运动；动作机构，位于夹紧底座1的第二工作空间中。以
料座2的相对两个侧面分别作为第二工作面和第三工作面，在第一工作空间的内壁上设置第四工作面；料座2通过其第三工作面抵触在第四工作面上，且第三工作面和第四工作面为一组相互配合的倾斜面。夹紧底座1上还可拆卸式连接有密封钣金4；第二工作空间由夹紧底座1和密封钣金4配合构建，通过密封钣金4使得第二工作空间对外敞开或封闭。
[0028]动作机构包括：顶杆7、可弹性形变的弹力组件，以及可伸缩的液压组件。其中，顶杆7相对于料座2具有第一状态和第二状态。在第一状态下，弹力组件作用在顶杆7 上，并通过顶杆7使得料座2被抵触限定第一工作空间内；在第二状态下，液压组件作用在顶杆7上，以使得顶杆7克服弹力组件而远离料座2。
[0029]顶杆7包括杆体和顶块3，顶块3可拆卸式连接在杆体上，且顶块3作用在料座2 上；其中，顶块本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种切片机料座夹紧装置，其特征在于，包括：夹紧底座，所述夹紧底座具有第一工作空间和第二工作空间，且所述第一工作空间和第二工作空间连通；料座，所述料座位于所述夹紧底座的第一工作空间中，且所述料座和夹紧底座之间可相对运动；以及动作机构，所述动作机构位于所述夹紧底座的第二工作空间中，且所述动作机构包括：顶杆，所述顶杆对应在所述料座上；弹力组件，所述弹力组件可弹性形变；以及液压组件，所述液压组件可伸缩；其中，所述顶杆相对于所述料座具有第一状态和第二状态，在第一状态下，所述弹力组件作用在所述顶杆上，并通过所述顶杆使得料座被抵触限定第一工作空间内；在第二状态下，所述液压组件作用在所述顶杆上，以使得所述顶杆克服弹力组件而远离料座。2.根据权利要求1所述的切片机料座夹紧装置，其特征在于，所述顶杆上设置有第一工作面，所述料座上设置有第二工作面；其中，所述顶杆通过第一工作面抵触在料座的第二工作面上，且所述第一工作面和第二工作面为一组相互配合的倾斜面。3.根据权利要求1所述的切片机料座夹紧装置，其特征在于，所述弹力组件包括：限位块，所述限位块固定设置在第二工作空间内；弹力件，所述弹力件的第一端作用在顶杆上，所述弹力件的第二端作用在限位块上。4.根据权利要求1所述的切片机料座夹紧装置，其特征在于，所述顶杆的外侧面设置有密封圈，所述密封圈贴合在第二工作空间的内壁上，使得所述第二工作空间和第一工作空间的连通通道被密封。5.根据权利要求1所述的切片机料座夹紧装置，其特征在于，所述液压组件包括：液压缸，所述液压缸固定在所述第二工作空间内；连杆，所述连杆的第一端...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱亮，卢嘉彬，邱文杰，周锋，许建青，张漫漫，朱继锭，郭钬，黄佳辉，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：