图形发生器制造技术

一种图形发生器，由接口电路［１］、双端口存储电路［２］、数字信号处理电路［３］、数模转换电路［４］、曝光／标记检测控制电路［５］、标记检测电路［６］、最终曝光数据寄存器单元［７］和束闸控制电路［８］构成，其特征在于，接口电路［１］分别与双端口存储电路［２］、曝光／标记检测控制电路［５］连接，数字信号处理电路［３］分别与双端口存储电路［２］、曝光／标记检测控制电路［５］、标记检测电路［６］、最终曝光数据寄存器单元［７］和束闸控制电路［８］连接，最终曝光数据寄存器单元［７］连接数模转换电路［４］。（*该技术在2012年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本技术涉及到电子束、离子束等一切带电粒子的曝光机的控制设备，具体来说，本技术属于曝光机的图形发生器的硬件，尤其是电子束曝光机所用的图形发生器。目前国内使用的图形发生器一般采用中小规模集成电路，存在图形运算速度慢，体积大，耗电大，效率低，工作极不稳定，故障多，曝光圆环靠软件弥补，加上采用模拟校正技术更加难以调整，校正精度差，干扰大，难于维护等缺点。国外的曝光机用的图形发生器大多采用大规模集成电路及数字校正技术，例如附图说明图1所示的美国专利5909658公开了一种图形发生器，该设备采用70GB的SCSI磁盘阵列存放曝光图形数据，用一个16GB的RAID接收和存放曝光图形数据和临时数据，一个IBM RS/6000系列微控制器负责将SCSI磁盘中的数据读入RAID中；工作站负责将RAID中的数据读入存储器和FPGA单元中，由FPGA单元根据图形参数完成图形的处理工作。该设备存在以下不足首先控制器采用了传统的小型计算机，数据存储量有限，而且处理速度慢；采用了大容量的存储设备，导致设备成本很高；该设备在接口方面非常复杂，涉及到SCSI接口、VSB接口和VME接口等接口方式；图形处理主要通本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种图形发生器，由接口电路[1]、双端口存储电路[2]、数字信号处理电路[3]、数模转换电路[4]、曝光/标记检测控制电路[5]、标记检测电路[6]、最终曝光数据寄存器单元[7]和束闸控制电路[8]构成，其特征在于，接口电路[1]分别与双端口存储电路[2]、曝光/标记检测控制电路[5]连接，数字信号处理电路[3]分别与双端口存储电路[2]、曝光/标记检测控制电路[5]、标记检测电路[6]、最终曝光数据寄存器单元[7]和束闸控制电路[8]连接，最终曝光数据寄存器单元[7]连接数模转换电路[4]。2.如权利要求1所述的图形发生器，其特征在于接口电路[1]由通用串行总线接口电路[11]、微控制器[12]和挂起/恢复电路[13]组成，微控制器[12]控制通用串行总线接口电路[11]和双端口存储电路[2]之间的通讯，同时微控制器[12]还控制曝光/标记检测控制电路[5]和标记检测电路[6]。3.如权利要求1所述的图形发生器，其特征在于数字信号处理电路[3]，由数字信号微处理器[31]、最终曝光图形格式转换程序存储器[32]、标记检测程序存储器[33]和数据存储器[34]组成，数字信号微处理器[31]分别与最终曝光图形格式转换程序存储器[32]、标记检测程序存储器[33]和数据存储器[34]及双端口存储电路[2]、曝光/标记检测控制电路[5]、标记检测电路[6]、最终曝光数据寄存器单元[7]和束闸控制电路[8]连接，用于将上位机发送的基本图形数据格式经过运算，生成最终曝光图形格式的数据，并将这些数据存放在最终曝光数据寄存器单元[7]中相应的存储单元中，同时在进行标记检测过程中用于记录和处理检测结果，并将这些结果通过接口电路[1]发送给上位机；最终曝光图形数据转换程序存储器[34]用于存放将基本曝光图形数据格式转换为最终曝光图形格式的程序；标记检测程序存储器[33]用于存放标记检测程序。4.如权利要求1所述的图形发生器，其特征在于最终曝光数据寄存器单元[7]，由X主场寄存器电路[35]、X子场寄存器电路[36]、Y主场寄存器电路[37]和Y子场寄存器电路[38]组成，X/Y主场寄存器电路[35]/[37]用于存放经过数字信号微处理器[31]运算后的最终曝光数据格式的主场X/Y坐标值，X/Y子场寄存器电路[36]/[38]用来存放经过数字信号微处理器[31]运算后的最终曝光数据格式的子场X/Y坐标值。5.如权利要求4所述的图形发生器，其特征在于X主场寄存器电路[35]、Y主场寄存器电路[37]，均由16位的扫描起始坐标寄存器、16位的扫描步距寄存器、16位的扫描步距计数器、16位的扫描步数计数器、16位加法器、锁存器、扫描基准时钟电路[74]和时钟调整电路[76]组成；16位扫描起始坐标寄存器用于存放最终曝光数据格式中主场的X/Y坐标的起始值，同时在扫描过程中存放当前的坐标值；16位扫描步距寄存器用于存放最终曝光数据格式中扫描步距的数值；16位扫描步距计数器用于根据存放的扫描步距参数进行计数，为16位扫描步数寄存器提供时钟信号；16位扫描步数计数器用于在以16位扫描步距计数器输出信号为计数脉冲信号，根据存放的扫描步数的数值进行计数，并为16位加法器提供使能信号；16位加法器用于在16位扫描步数计数器输出信号的控制下，将16位扫描起始坐标寄存器中的数值与16位扫描步距寄存器中的数值相加的结果发送给相应的数模转换电路，同时该结果也经过锁存存入16位扫描起始坐标计数器，作为计算下一个曝光点的初始坐标值；扫描基准时钟电路[74]用于为整个扫描电路提供最小单位的扫描频率；时钟调整器[76]接扫描基准时钟电路[74]和16位扫描步距计数器，用于根据扫描的具体参数，将基准时钟转换为相应的曝光时钟，并将曝光时钟作为16位扫描步距计数器的计数脉冲信号。6.如权利要求4所述的图形发生器，其特征在于X子场寄存器电路[36]、Y子场寄存器电路[38]，均由12位的扫描起始坐标寄存器、12位的扫描步距寄存器、12位的扫描步距计数器、12位的扫描步数计数器、12位加法器、锁存器、扫描基准时钟电路...

【专利技术属性】
技术研发人员：方光荣，张鹏，薛虹，商涛，林滢，
申请(专利权)人：中国科学院电工研究所，
类型：实用新型
国别省市：