【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于敏感元件及其制造方法。本专利技术作出之前,为了预防氢气、瓦斯、液化石油气、城市煤气、一氧化碳和乙烷等气体引起的火灾,爆炸及中毒事故,所使用的气敏报警器中,采用克斯科(Kousuke Zhokura)在《传感器技术及应用》(Sensoron-Technologie und Anuendury)1982年79期(312页)上报导的烧结型气敏元件。这种气敏元件是把敏感材料如二氧化锡包裹在加热丝上经烧结制成的,其制造过程的再现性较差,导致了元件的互换性较差,其后张云昌等人在《传感器论文集》第二册(300页)上报导了制造薄膜型二氧化锡气敏元件的情况。该文指出,用射频加热的方法在基片表面形成二氧化锡敏感膜,在基片背面涂上二氧化钌形成加热膜,然后在敏感膜和加热膜上分别印刷上银钯电极,焊上引线,制成薄膜型二氧化锡气敏元件。但是制造过程中须经射频加热和烧结,尤其是须用贵金属钌和钯,故而成本高。本专利技术的目的是提供一种改进了的,元件互换性好,成本低廉的薄膜型二氧化锡气敏件。本专利技术的另一个目的是提供制造这种薄膜型二氧化锡气敏元件的制造方法,尤其是制造该元件所包含的敏感膜和加热膜的工艺条件。本专利技术的要点在于,所提供的薄膜型二氧化锡气敏元件的加热膜的主要成份是二氧化锡。所提供的薄膜型二氧化锡气敏元件的制造方法是,经低温化学沉积,在基片1正面形成二氧化锡敏感膜2,在基片1背面形成二氧化锡加热膜3;或者在基片1的一个面上先形成二氧化锡加热膜3,在该加热膜3上形成绝缘膜8,在该绝缘膜8上形成二氧化锡敏感膜2。其后在所说敏感膜2和加热膜3上分别涂上银 ...
【技术保护点】
一种主要由基片、敏感膜和加热膜构成的薄膜型二氧化锡气敏元件,其特征在于所说的加热膜[3]的主要成分是二氧化锡。
【技术特征摘要】
1.一种主要由基片、敏感膜和加热膜构成的薄膜型二氧化锡气敏元件,其特征在于所说的加热膜[3]的主要成分是二氧化锡。2.一种薄膜型二氧化锡气敏元件的制造方法,其特征在于经低温化学沉积,在基片〔1〕正面制成二氧化锡敏感膜〔2〕,在所说基片〔1〕背面制成二氧化锡加热膜〔3〕;或者在基片〔1〕的一个面上先制成二氧化锡加热膜〔3〕,在该加热膜〔3〕上制成绝缘膜〔8〕,在该绝缘膜〔3〕上制成二氧化锡敏感膜〔2〕。在所说二氧化锡敏感膜〔2〕和二氧化锡加热膜〔3〕表面的两端分别涂上银浆制成银电极〔4〕、〔5〕、〔6〕和〔7〕,在所说银电极〔4〕、〔5〕、...
【专利技术属性】
技术研发人员:张维新,徐步华,侯曾一,
申请(专利权)人:天津大学,
类型:发明
国别省市:12[中国|天津]
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