一种激光校准装置及激光加工设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于激光加工技术领域，涉及一种激光校准装置及激光加工设备，包括工作台、安装组件、第一视觉机构、第二视觉机构、背光组件及处理器，安装组件包括安装台，安装台间隙设置于工作台上，用于安装目标产品；第一视觉机构和第二视觉机构均位于安装台的远离工作台的一侧。该激光校准装置及激光加工设备通过在安装台的靠近工作台的一侧上设置至少1个背光组件，在第一视觉机构从目标产品的正面取目标对象的外轮廓图像时，背光组件在目标产品的背面为第一视觉机构提供背光光源，以此提高第一视觉机构识别的外轮廓的图像清晰度，进而提高整体的算法识别率，保证目标对象的激光加工精度和良品率。精度和良品率。精度和良品率。

【技术实现步骤摘要】
一种激光校准装置及激光加工设备


[0001]本技术涉及激光加工
，尤其涉及一种激光校准装置及激光加工设备。

技术介绍

[0002]在半导体晶圆的制作过程中，一般会采用激光加工的方式在晶圆片上切割出若干个晶粒单元，相邻的晶粒单元之间通常由相互垂直交错的切割道分隔开，固然，这些切割道即激光加工时的切割路径。为提高晶圆片的加工精度，激光切割之前往往需对切割道进行对位，以使激光聚焦的焦点能对准切割道的中心。针对切割道的对位，现有技术中，通常采用两组电荷耦合器件(Charge Couple Device，简称为CCD)视觉机构，其中一组CCD视觉机构用于对晶圆片的外轮廓进行识别对位，另一组CCD视觉机构用于对晶圆片的切割道进行精确对位。
[0003]然而，此种方式对于常规的晶圆片可以基本满足加工精度要求，但对于一些特殊的晶圆片，如边缘发生破损或边缘有一些特殊设计的晶圆片，则经常会出现晶圆片的轮廓识别图像模糊、重影、胶水干扰等情况，影响到算法识别率，甚至导致误识别，同时还可能造成频繁报警等状况，最终使得晶圆片的激光加工精度和良品率受到影响。

技术实现思路

[0004]本技术实施例的目的在于提供一种激光校准装置和激光加工设备，用于解决现有激光加工装置的轮廓识别的通用性不够、识别率不高，影响到加工精度的技术问题。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术实施例采用的技术方案是：提供一种激光校准装置，该激光校准装置包括工作台、安装组件、第一视觉机构、第二视觉机构、背光组件及处理器；
[0006]所述安装组件包括安装台，所述安装台间隙设置于所述工作台上，所述安装台用于安装目标产品；
[0007]所述第一视觉机构和第二视觉机构均位于所述安装台的远离所述工作台的一侧，所述第一视觉机构用于识别并获取目标产品中目标对象的外轮廓的图像，所述第二视觉机构用于识别并获取目标对象的加工路径的图像；
[0008]所述背光组件设置有至少1个，各所述背光组件设置于所述安装台的靠近所述工作台的一侧，所述背光组件用于给所述第一视觉机构提供识别所述外轮廓的背光光源；
[0009]所述处理器用于接收第一视觉机构和第二视觉机构获取的图像，并根据对应地图像数据确定目标产品的偏移量，以根据对应的偏移量控制所述工作台移动以使激光与目标对象进行精准对位。
[0010]在一些实施例中，各所述背光组件包括固定块和所述背光光源，所述固定块设置于所述安装台的靠近所述工作台的一侧上，所述背光光源安装于所述固定块上，所述背光光源的出射光束能经所述安装台透出，并有目标对象的外轮廓穿过。
[0011]在一些实施例中，各所述背光组件还包括调节块和至少一个抱紧块，于背离所述背光光源的出光端的一端，所述调节块设置于所述固定块上，各所述抱紧块沿着所述背光光源的延伸方向间隔设置于所述固定块上，各所述抱紧块用于在通过所述调节块调节完所述背光光源的出光面与目标产品的距离后夹紧所述背光光源。
[0012]在一些实施例中，所述安装台包括基座、第一盖板和能透光的第二盖板，所述基座间隙设置于所述工作台上，且所述基座上开设有至少一个第一通光孔，并在远离所述工作台的一端上还开设有安装槽；所述第一盖板盖设于所述安装槽上，且所述第一盖板上开设有至少一个与对应的第一通光孔相通的第二通光孔，所述第二盖板盖设于所述第二通光孔上。
[0013]在一些实施例中，所述第一通光孔和所述第二通光孔的中心线与所述背光光源的出射光束的中心位于同一直线上。
[0014]在一些实施例中，所述第二盖板为能透光且具有漫反射功能的板件。
[0015]在一些实施例中，所述背光组件还包括漫反射板，沿所述第一通光孔的深度方向，所述基座的靠近所述工作台的一侧开设有至少一个第三通光孔，各所述第三通光孔与对应的所述第一通光孔相通，且大于对应的所述第一通光孔；所述漫反射板设置于所述第三通光孔内，并位于所述背光光源的出光面的顶部上。
[0016]在一些实施例中，所述背光光源为点光源或环形光源。
[0017]在一些实施例中，所述背光光源发出的光为红光、蓝光、紫光、绿光或白光中的至少一种。
[0018]为了解决上述技术问题，本技术实施例还提供一种激光加工设备，采用了如下所述的技术方案：所述激光加工设备包括激光器组件，所述激光器组件包括光路组件，所述激光加工设备还包括上述的激光校准装置，所述激光校准装置的第一视觉机构、第二视觉机构与所述光路组件位于所述安装台的同一侧。
[0019]与现有技术相比，本技术实施例提供的激光校准装置及激光加工设备主要有以下有益效果：
[0020]该激光校准装置通过在安装台的靠近工作台的一侧(也即目标产品的背面)上设置至少1个背光组件，在第一视觉机构从目标产品的正面取目标对象的外轮廓图像时，背光组件在目标产品的背面为第一视觉机构提供背光光源，以此提高第一视觉机构识别的外轮廓的图像清晰度，进而提高整体的算法识别率，保证目标对象的激光加工精度和良品率。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本技术中的方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作一个简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。其中：
[0022]图1是本技术一个实施例中激光加工设备的示意简图；
[0023]图2是本技术一个实施例中晶圆组件的立体结构示意图；
[0024]图3是图2中晶圆组件的主视图。图4是本技术一个实施例中激光校准装置去掉第一视觉机构、第二视觉机构和工作台后的立体结构示意图；
[0025]图5是图1中激光校准装置的剖切图；
[0026]图6是图5中激光校准装置的A处的局部放大图。
[0027]附图中的标号如下：
[0028]1、激光加工设备；10、激光校准装置；
[0029]100、工作台；
[0030]200、安装组件；210、安装台；211、基座；2111、第一通光孔；2113、第三通光孔；212、第一盖板；213、第二盖板；220、支撑台；
[0031]300、第一视觉机构；400、第二视觉机构；
[0032]500、背光组件；510、固定块；520、背光光源；530、调节块；531、螺孔；540、抱紧块；550、漫反射板；
[0033]600、处理器；700、目标产品/晶圆组件；710、外轮廓；711、轮廓采集位置；720、固定环；730、透明粘性膜；740、晶圆片；800、激光器组件；810、光路组件。
具体实施方式
[0034]除非另有定义，本文所使用的所有技术和科学术语与属于本技术
的技术人员通常理解的含义相同；本文在说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术，例如，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“左”、“本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光校准装置，其特征在于，所述激光校准装置包括工作台、安装组件、第一视觉机构、第二视觉机构、背光组件及处理器；所述安装组件包括安装台，所述安装台间隙设置于所述工作台上，所述安装台用于安装目标产品；所述第一视觉机构和第二视觉机构均位于所述安装台的远离所述工作台的一侧，所述第一视觉机构用于识别并获取目标产品中目标对象的外轮廓的图像，所述第二视觉机构用于识别并获取目标对象的加工路径的图像；所述背光组件设置有至少1个，各所述背光组件设置于所述安装台的靠近所述工作台的一侧，所述背光组件用于给所述第一视觉机构提供识别所述外轮廓的背光光源；所述处理器用于接收第一视觉机构和第二视觉机构获取的图像，并根据对应地图像数据确定目标产品的偏移量，以根据对应的偏移量控制所述工作台移动以使激光与目标对象进行精准对位。2.根据权利要求1所述的激光校准装置，其特征在于，各所述背光组件包括固定块和所述背光光源，所述固定块设置于所述安装台的靠近所述工作台的一侧上，所述背光光源安装于所述固定块上，所述背光光源的出射光束能经所述安装台透出，并有目标对象的外轮廓穿过。3.根据权利要求2所述的激光校准装置，其特征在于，各所述背光组件还包括调节块和至少一个抱紧块，于背离所述背光光源的出光端的一端，所述调节块设置于所述固定块上，各所述抱紧块沿着所述背光光源的延伸方向间隔设置于所述固定块上，各所述抱紧块用于在通过所述调节块调节完所述背光光源的出光面与目标产品的距离后夹紧所述背光光源。4.根据权利要求1至3任一项所述的激光校准装...

【专利技术属性】
技术研发人员：张伟，王梅梅，柳啸，陈畅，尹建刚，高云峰，
申请(专利权)人：大族激光科技产业集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：