一种高密度自绝缘的柔性微针电极及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种高密度自绝缘的柔性微针电极及其制备方法。现有的柔性脑皮层电极存在刺激和记录空间分辨率低以及无法植入皮层内部的问题。此外，已有的犹他电极或类犹他电极还存在制备工艺复杂和成本高的问题。该柔性微针电极包括下绝缘层，设置在下绝缘层上的SU

【技术实现步骤摘要】
一种高密度自绝缘的柔性微针电极及其制备方法


[0001]本专利技术属于脑机接口
，具体涉及一种用于电生理记录和刺激的柔性微针电极阵列的微加工制备方法，该电极是通过将柔性微针阵列结构与金属微电极阵列结构相结合来实现一种生物组织内数百微米深度的电生理刺激与记录的。

技术介绍

[0002]大多数后天失明的人群只有眼睛或者视神经受损。这激发了人们对视觉皮质假体(VCP)的研究，VCP是一种绕过眼睛和视神经的装置，将视觉信息从摄像机直接传输到视觉皮质。VCP是用可以产生被称为磷光的微弱闪光电流去刺激视觉皮层。由于视网膜皮层映射，在皮层图的不同位置植入一系列电极阵列，从而可以产生多个磷光，每个受刺激电极在一个可预测的视野位置产生一个磷光。生物医学工程的最新进展包含了数十个电极的无线供电和控制设备，这些电极可以植入视觉皮层，从而在全世界范围内重新努力开发临床可用的VCP。
[0003]尽管有这些深刻的先进技术，但用于产生视觉感知的刺激模式还没有相应的进步。现有的基本假设仍然是，单个磷光类似于计算机显示器中的像素，它们可以很容易地被结合起来生成一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高密度自绝缘的柔性微针电极，包括下绝缘层(12)，其特征在于：还包括设置在下绝缘层(12)上的SU
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8凸台，以及设置在SU
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8凸台上的金属导电焊盘(1)、金属导线(2)和柔性微针电极阵列(3)；SU
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8凸台包括微针凸台(7)、导线凸台(10)和焊盘凸台；多个微针凸台(7)与对应数量的多个焊盘凸台分别通过对应的导线凸台(10)连接起来；微针凸台(7)、导线凸台(10)和焊盘凸台的纵截面均为上大下小的倒梯形；多个金属导电焊盘(1)、多条金属导线(2)和柔性微针电极阵列(3)分别设置在对应的焊盘凸台、导线凸台(10)和微针凸台(7)上，通过SU
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8凸台内凹的台阶形成自绝缘结构；微针电极阵列(3)与各个金属导电焊盘(1)分别通过对应的金属导线(2)导通。2.根据权利要求1所述的一种高密度自绝缘的柔性微针电极，其特征在于：所述的SU
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8凸台通过旋涂SU
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8光刻胶后的正面曝光工艺形成；所述的SU
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8微针(4)通过旋涂SU
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8光刻胶后的背面曝光工艺形成。3.根据权利要求1或2所述的一种高密度自绝缘的柔性微针电极，其特征在于：所述的柔性微针电极阵列(3)包括呈多个柔性微针电极点；柔性微针电极点包括由内至外依次排列的SU
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8微针(4)、导电金属层(5)和聚合物绝缘层(6)；SU
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8微针(4)设置在对应的微针凸台(7)上；导电金属层(5)的尖端处暴露在聚合物绝缘层(6)外。4.根据权利要求3所述的一种高密度自绝缘的柔性微针电极，其特征在于：在柔性微针电极上，通过去除聚合物绝缘层(6)尖端部分的方式，实现导电金属层(5)尖端的露出；具体操作为旋涂光刻胶至完全覆盖柔性微针电极阵列；通过RIE刻蚀使得聚合物绝缘层(6)的尖端露出并被去除；去除剩余光刻胶后形成导电金属层(5)尖端露出的柔性微针电极点。5.根据权利要求3所述的一种高密度自绝缘的柔性微针电极，其特征在于：所述的SU
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【专利技术属性】
技术研发人员：王明浩，樊晔，程瑜华，王高峰，
申请(专利权)人：杭州电子科技大学，
类型：发明
国别省市：