【技术实现步骤摘要】
一种用于氩气提纯的模块化组合式分子筛
[0001]本技术涉及气体纯化设备
，具体涉及一种用于氩气提纯的模块化组合式分子筛。
技术介绍
[0002]气体的纯化技术，多数是通过吸附剂、催化剂在常温或变温状态下通过吸附、催化等方式去除高纯气体中的微量氮、氧和水等杂质。当分子筛中的吸附剂对某一杂质成分的吸附饱和后，为了满足纯化指标即要更换吸附剂或对吸附剂进行再生。通常情况下由于气体中的杂质种类较多，为一次去除所有杂质，一种方案是串联多个分子筛，每个分子筛中装有不同的吸气剂，此种方案需要配置多个分子筛，保证多个气路的气密性；另一方案是在一个分子筛中充装不同的吸气剂，当其中一种吸气剂吸附饱和后，对整个分子筛进行更换或再生，此种方案中不能充分发挥各吸气剂的作用，分子筛的整体使用效率不高。超高纯的氩气是LED、大规模集成电路等半导体产业的重要原料，主要作为半导体生产过程中的载气、保护气，其纯度对产品的质量和性能至关重要。随着半导体技术的飞速发展，对气体纯度的要求越来越高（已达8N 以上）。因此，如何对氩气进行高效率的纯化对于氩气的生产...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于氩气提纯的模块化组合式分子筛，包括用于对氩气进行纯化的分子筛本体，其特征在于：所述分子筛本体包括密封罐体及可拆卸设置在该密封罐体内的若干分子筛填料层，所述密封罐体为圆柱形不绣钢罐体，密封罐体的底部设置有进气管，密封罐体的顶部可拆卸设置有带出气管的端盖板；所述密封罐体的下部内壁上设置有环形安装座，分子筛填料层通过环形安装座紧密搭设在密封罐体内，所述密封罐体的底部内壁上设置有圆柱状的缓流罩，该缓流罩设置在进气管的正上方并罩住进气管的进气口，且所述缓流罩的侧壁上开设有若干出气孔，缓流罩的顶部高度低于环形安装座的底部高度；所述端盖板内设置有用于将分子筛填料层压紧设置在密封罐体内的压紧机构。2.根据权利要求1所述的用于氩气提纯的模块化组合式分子筛，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：李建新，杨代权，陈公哲，冯焕鹏，严慧婷，
申请(专利权)人：上海亿钶气体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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