一种工业超纯水加热系统技术方案

技术编号:32229223 阅读:27 留言:0更新日期:2022-02-09 17:33
本实用新型专利技术公开了一种工业超纯水加热系统,包括:安装柜,所述安装柜的中部设置有加热机构,所述安装柜和加热机构之间安装有安装机构;所述加热机构包括设置在安装柜内腔中部的PVDF管道、横向插接在PVDF管道中部的石英管和安装在石英管内侧的PFA发热丝,所述PVDF管道的顶部一侧插接有加药管,所述加药管的底部贯穿PVDF管道的顶部并连接有过滤网框,所述过滤网框的一侧壁底部插接有排污管,且排污管分别贯穿PVDF管道和安装柜并延伸到安装柜的外侧,所述盖板对称两侧壁的底部均匀开设有插槽。该工业超纯水加热系统,可以更加高效的制备热的纯水,且装置拆卸维护较为方便。且装置拆卸维护较为方便。且装置拆卸维护较为方便。

【技术实现步骤摘要】
一种工业超纯水加热系统


[0001]本技术属于水处理
,尤其是一种工业超纯水加热系统。

技术介绍

[0002]在半导体、晶硅片加工生产的过程中需要用到大量的水,且这些水要求为超纯热水,这就需要专用的装置进行制备,因此一种工业超纯水加热系统也就应运而生。
[0003]但现有的装置存在着制备纯热水的过程不够高效的问题,且装置拆卸维护不够方便。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种工业超纯水加热系统,以解决
技术介绍
中提出的问题。
[0005]技术方案:一种工业超纯水加热系统,包括:
[0006]安装柜,所述安装柜的中部设置有加热机构,所述安装柜和加热机构之间安装有安装机构;
[0007]所述加热机构包括设置在安装柜内腔中部的PVDF管道、横向插接在PVDF管道中部的石英管和安装在石英管内侧的PFA发热丝,所述PVDF管道的顶部一侧插接有加药管,所述加药管的底部贯穿PVDF管道的顶部并连接有过滤网框,所述过滤网框的一侧壁底部插接有排污管,且排污管分别贯穿PVDF管道和安装柜并延伸到安装柜的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种工业超纯水加热系统,包括:安装柜(1),所述安装柜(1)的中部设置有加热机构,所述安装柜(1)和加热机构之间安装有安装机构;其特征在于:所述加热机构包括设置在安装柜(1)内腔中部的PVDF管道(2)、横向插接在PVDF管道(2)中部的石英管(3)和安装在石英管(3)内侧的PFA发热丝(4),所述PVDF管道(2)的顶部一侧插接有加药管(5),所述加药管(5)的底部贯穿PVDF管道(2)的顶部并连接有过滤网框(6),所述过滤网框(6)的一侧壁底部插接有排污管(7),且排污管(7)分别贯穿PVDF管道(2)和安装柜(1)并延伸到安装柜(1)的外侧。2.根据权利要求1所述的一种工业超纯水加热系统,其特征在于:所述安装机构包括安装在PVDF管道(2)两端的隔热板(8)、设置在隔热板(8)远离PVDF管道(2)一端的安装板(9)和支撑在安装柜(1)内腔顶部的盖板(12),所述隔热板(8)、安装板(9)和安装柜(1)的对应侧壁开设与对应的安装螺孔,对应的安装螺孔螺接...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈圆圆
申请(专利权)人:宇创机电科技苏州有限公司
类型:新型
国别省市:

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