一种用于TFT-LCDPVD设备的自动滚刷机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于TFT

【技术实现步骤摘要】
一种用于TFT
‑
LCD PVD设备的自动滚刷机构


[0001]本技术涉及滚刷装置
，尤其涉及一种用于TFT
‑
LCD PVD设备的自动滚刷机构。

技术介绍

[0002]TFT
‑
LCD(薄膜晶体管液晶显示)的PVD(物理气相沉积:Physical Vapor Deposition)制程是指在真空条件下，采用物理方法，将材料源——固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体(或等离子体)过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜技术。PVD设备则是通过将来料(玻璃)自动放置在轨道TRAY(托盘)上，对来料 (玻璃)进行表面镀膜技术的自动化设备。在该制程中，用于放置来料的轨道TRAY是重复循环使用的，日积月累在TRAY的底部轨道上会吸附一些金属颗粒和异物，对TFT
‑
LCD产品有严重的品质隐患。因此，本申请旨在提供一种能够将TRAY底部的异物去除并吸附至设备外部环境中的自动滚刷机构。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于克服现有技本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于TFT
‑
LCD PVD设备的自动滚刷机构，至少包括基座(16)、调速电机(4)和毛刷(5)，所述调速电机(4)设置于所述基座(16)上，所述毛刷(5)连接至所述调速电机(4)，其特征在于，所述基座(16)至少包括彼此大致平行的第一电机安装板(2)和第二电机安装板(7)，所述第一电机安装板(2)和所述第二电机安装板(7)均包括彼此大致平行的第一板体(17)和第二板体(18)，所述毛刷(5)转动设置于所述第一板体(17)和所述第二板体(18)之间，其中，所述第一电机安装板(2)和所述第二电机安装板(7)经连接板(1)连接固定。2.根据权利要求1所述的自动滚刷机构，其特征在于，所述第一板体(17)和所述第二板体(18)之间设置有至少两个支撑柱(8)，所述第一板体(17)和所述第二板体(18)均连接至底部封板(3)以限定出第一负压腔(12)和第二负压腔(13)。3.根据权利要求2所述的自动滚刷机构，其特征在于，所述毛刷(5)至少包括若干个第一毛刷(5a)和若干个第二毛刷(5b)，所述若干个第一毛刷(5a)转动设置于所述第一负压腔(12)中，所述若干个第二毛刷(5b)转动设置于所述第二负压腔(13)中。4.根据权利要求3所述的自动滚刷机构，其特征在于，在所述调速电机(4)设置于第一板体(17)上的情...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘晓阳，
申请(专利权)人：深圳市墨提斯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：