半导体存贮器件制造技术

技术编号:3221200 阅读:227 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
在一半导体存贮器中,为了消除位线和总线之间耦合电容的不平衡,在位线层和总线层之间配置一层中间层的列选择信号线。并且,将列选择线的宽度增大成能够盖住因有一接触而宽度互不相同的位线,以此用列选择信号线屏蔽位线和总线,并平衡位线和总线之间的耦合电容。(*该技术在2018年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种半导体存贮器件,特别涉及一种多库的存贮器结构。人们都知道有一种在一芯片中设有多个独立运行的存贮库的多库存贮器结构,并且这些存贮器是相互交织着的。也就是说,交织系统的运行就是当某一贮存库在与其有关的一行地址锁闩电路上锁住一行地址而受到寻访的同时,一个不同存贮库的另一行地址就由一处理器向一与其有关的一锁闩电路传送。因而系统能够按序寻访两个贮存库而无需等待前一贮存库完成寻访之后再寻访后者。同样,当某一贮存库受到寻访时,另一贮存库能够进行预充或刷新运行。此外,当储存库之间共用的一条输入/输出(I/O)总线承担交织运行进行流水线作业时,可以从不同的贮存库按序输出数据。目前,为了实现半导体存储器的高速运行,已采用了这样的一种储存库的存储器结构。后文将描述附图说明图1中所示的包括储存库A和B两个储存库结构的多库存储器结构。参阅图1,储存库A包括两个板P1和P2并且每一板P1和P2各包含排成阵列的多个存储单元。例如,在板P1中,有多条字线与一行地址解码器RD1相连,多列选择线1至4与一列地址解码器CD1相连,以及如图2中所示的多对位线D1至D4、DB1至DB4。位线D1至D4本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体存贮器件,其特征在于,它包括:一个包含一条第一位线的第一贮存库;一个包含一条第二位线的第二贮存库;一条在所述第一和第二贮存库中共同形成的第一总线;以及用以使得与来自所述第一位线的数据对应的电位避免受到所述第二位线的 电位变动的影响而产生变动的装置,当数据从所述第一贮存库输出并从所述第一位线向所述第一总线上传送以及访问所述第二贮存库时所述第二贮存库的所述第二位线的电位就基本上在同时产生变动。

【技术特征摘要】
JP 1997-4-11 110400/971.一种半导体存贮器件,其特征在于,它包括一个包含一条第一位线的第一贮存库;一个包含一条第二位线的第二贮存库;一条在所述第一和第二贮存库中共同形成的第一总线;以及用以使得与来自所述第一位线的数据对应的电位避免受到所述第二位线的电位变动的影响而产生变动的装置,当数据从所述第一贮存库输出并从所述第一位线向所述第一总线上传送以及访问所述第二贮存库时所述第二贮存库的所述第二位线的电位就基本上在同时产生变动。2.按照权利要求1所述的器件,其特征在于,所述的装置就是在所述位线第二位线和所述总线之间的一层屏蔽层。3.按照权利要求2所述的器件,其特征在于,所述的屏蔽层设置在所述第二位线和所述总线之间。4.按照权利要求3所述的器件,其特征在于,所述的总线是一条输出总线。5.按照权利要求4所述的器件,其特征在于,所述的屏蔽层是一条列选择线。6.按照权利要求5所述的器件,其特征在于,所述第二位线是由一层第一阶层制成,所述总线是由一层第二阶层制成,而所述列选择线则由一层与所述第二位线及所述总线不同的第三阶层制成。7.按照权种要求2所述的器件,其特征在于,它还包括在所述第二贮存库中的一条第三位线,所述第三位线与所述第二位线互补而且当所述第二位线的所述电位变动时所述第三位线的电位同时变动。8.按照权利要求6所述的器件,其特征在于,所述第二位线包括与所述总线重叠的一扩展部位。9.按照权利要求8所述的器件,其特征在于,当所述第二位线的所述电位变动时,它是由预充电引起的。10.一种包含第一贮存库和第二贮存库的半导体存贮器件,其特征在于,它包括一条在所述第二贮存库中的第一位线;一条在所述第二贮存库中的第二位线,所述第二位线与所述第一位线互补;一条形成在所述第二贮存库中的总线,它从所述第一贮存库经过所述第二贮存库输出数据;以及用以使所述第一位线与所述总线之间的第一电容和所述第二位线与所述总线之间的第二电容基本相等的一层。11.按照权利要求10所述的器件,其特征在于,所述的层是一条列选择线。12.按照权利要求11所述的器件,其特征在于,所述的列选择线是由一层硅化物层制成的。13.按照权利要求10所述的器件,其特征在于,所述第一位线有一扩展部位,它在形成接触的地方重叠着所述总线,并有与所述扩展部位有相等重叠的所述层。14.按照权利要求13的所述的器件,其特征在于,当在所述总线中传送数据时所述第一和第二位线被预充电。15.按照权利要求11所述的器件,其特征在于,所述的总线是一条输出总线。16.一种半导体存贮器件,其特征在于,它包括一条沿第一方向的第一总线;一条沿着第二方向垂直于所述第一方向的第一位线,所述第一位线与所述第一总线相交叉;一条沿着所述第二方向的第二位线,所述第二位线与所述第一总线相交叉并有一要与一接触孔连接的扩展部位,所述扩展部位与所述第一总线重叠;以及一层沿着所述第二方向的屏幕层,所述屏蔽层有一第一扩展部位形成在所述第二位线的所述扩展部位与所述总线之间。17.按照权利要求16所述的器件,其特征在于,所述屏蔽层还有在所述第一位线与所述总线之间的一个第二扩展部位以及在所述第二位线与所述总线之间的一个第三扩展部位。18.按照权利要求17所述的器件,其特征在于,所述第一和第二位线是第一阶层,所述总线是第二阶层,而所述屏蔽层是在所述第一阶层和所述第二阶层之间的第三阶层。19.按照权利要求18所述的器件,其特征在于,所述的屏蔽层是一条列选择线。20.按照权利要求19所述的器件,其特征在于,所述的列选择线是一层硅化物层制成。21.按照权利要求20所述的器件,其特征在于,当在所述总线中传送数据时,所述第一和第二位线被预充电。22.按照权利要求16所述的器件,其特征在于,所述的总线是一条输出总线。23.一种半导体存贮器件,其特征在于,它包括一条沿着第一方向的第一总线;一条沿着所述第一方向的第二总线,所述第二总线与所述第一总线互补;一条沿着第二方向垂直于所述第一方向的第一位线,所述第一位线与所述第一和第二总线交叉并有一要与第一接触连接的第一扩展部位,所述第一扩展部位与所述第一总线重叠;一条沿着所述第二方向的第二位线,所述第二位线与所述第一和第二总线交叉并有一要与第二接触连接的第二扩展部位,所述第二扩展部位与所述第二总线重叠;以及一层沿着所述第二方向的屏蔽层,所述屏蔽层有一形成在所述第一位线的所述第一扩展部位与所述第一总线之间的第一扩展部位并有一形成在所述第二位线的所述第二扩展部位与所述第二总线之间的第二扩展部位。24.按照权利要求23所述的器件,其特征在于,所述第一扩展部位与重叠所述第一总线和所述第一位线的部位重叠,所述第二扩展部位与重叠所述第二总线和所述第二位线的部位重叠。25.按照权利要求24所述的器件,其特征在于,所述屏蔽层还有一第三扩展部位,它重叠着所述第二位...

【专利技术属性】
技术研发人员:林淳一
申请(专利权)人:日本电气株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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