干燥处理方法及其装置制造方法及图纸

本发明专利技术的干燥处理装置向用于容纳半导体晶片的处理室内供给干燥气体，以干燥半导体晶片，该干燥处理装置设有加热载运气体的加热器３２、利用由加热器３２加热的Ｎ↓［２］气体来使ＩＰＡ变成雾状并生成经过加热的ＩＰＡ气体的蒸气发生器３４、向处理室３５内供给预定量的Ｎ↓［２］的流量控制装置。本发明专利技术可提高载运气体加热装置的传热效率，增大干燥气体的生成量并缩短蒸气的生成时间，并且可防止在干燥处理完成后处理室内的气氛发生混乱。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种对例如半导体晶片或液晶显示器(LCD)用的玻璃基板等被处理体通过与干燥气体进行接触来进行干燥处理的方法及装置。一般地，在半导体制造的制造工程方面，广泛采用将半导体晶片或LCD用的玻璃等被处理体(以下称为晶体)顺次浸渍在贮存药液或冲洗液(洗净液)等处理液的处理槽中以进行清洗的清洗处理方法。另外，这种清洗处理装置设置了干燥处理装置，在该洗净处理装置中设使清洗后的晶体等的表面与如IPA(异丙醇)等具有挥发性的溶剂蒸气构成的干燥气体接触后，使干燥气体的蒸气冷凝或吸附，从而除去晶片等中的水分并使之受到干燥处理的干燥处理装置(参照特开平8-45893号公报)。在特开平8-45893号公报中公开的已有的这种干燥处理装置设置了载运气体(如氮气(N2))的供给部件、具有接收干燥气体(如IPA(异丙醇))的多段蒸发器皿、和加热器的蒸气发生器、向干燥处理室供给蒸气发生器生成的蒸气(即干燥蒸气)并设有开关阀的主供给管路及加热该主供给管路的加热器。按上述方式构成的已有的干燥处理装置从N2气供给源向蒸气发生器供给N2气，N2气在蒸气发生器与蒸发的IPA气体混合并通过主供给管路供给处理室，晶片装入处理室内的晶片，与IPA气体接触而除去晶片中的水分并进行干燥。但是，由于过去的这种干燥处理装置的结构是利用具有在多段式蒸发器皿的蒸发器生成干燥气体的，因此限制了蒸气发生器的热容量、也就限制了IPA的蒸发量、蒸发能力低。因此，存在从向蒸气发生器供给IPA气体开始到停止供给IPA气体为止，即从发生IPA气体开始到停止发生IPA气体为止需花费过多时间的问题。另外还存在由于蒸气发生器具有多段式蒸发器皿，从而使整个装置过大的问题。另外，在干燥工程中，包含使处理室内压力低于大气压以下进行处理过程的场合下，当在处理室内从低于大气压的状态回到大气压状态下时，必须使处理室内的气氛不发生急剧的变化。其理由是为了防止由于处理室内气氛的急剧变化而使粒子扬起。但是，这样就会带来必须向处理室内提供极少量的N2气体，并要花费较多的时间和处理能力低等问题，目前对这些问题还没有具体的解决方法。本专利技术的目的是，根据上述问题，提供一种能提高载体气体加热的传热效率、提高干燥气体的生成量、缩短蒸气的生成时间并且能防止在干燥处理完成后处理室内的气氛混乱的干燥处理的方法及其装置。为了达到上述目的，本申请的第一专利技术是一种向容纳被处理体的处理室内提供干燥气体以干燥所述被处理体的干燥处理方法，其特征在于该方法包括加热载运气体的步骤、利用被加热的所述载运气体使干燥气体用液体成雾状并加热生成所述干燥气体的步骤、和控制提供给所述处理室的所述干燥气体的流量的步骤。本申请的第二个专利技术是一种向容纳被处理体的处理室内提供干燥气体以干燥所述被处理体的干燥处理的装置，其特征在于该装置包括用于加热载运气体的载运气体加热装置、利用所述加热装置加热的所述载运气体使干燥气体用液体成雾状同时对其加热生成用于加热所述干燥气体的蒸气发生装置。本申请的第三个专利技术是按照本申请的第二个专利技术，其特征在于还包括向所述处理室内提供一定量的所述干燥用气体的流量控制装置。本申请的第四个专利技术是按照本申请的第二个专利技术，其特征在于所述载运气体加热装置具有连通到载运气体供给管路的导入管、插在该导入管内并在与导入管内壁表面之间形成螺旋形流路的流路形成管、至少插在所述流路形成管内的加热装置。本申请的第五个专利技术是按照本申请的第二个专利技术，其特征在于所述载运气体加热装置包括连通到载运气体的供给管路上的导入管、插在该导入管内并在与导入管内壁表面之间形成螺旋形流路的盘管形部件、至少插在所述流路形成管内的加热装置。按照本专利技术，如果上述蒸汽发生装置是利用所述加热装置加热的所述载运气体使干燥气体用液体成雾状并加热生成所述干燥气体的装置，则这种装置可以是适用的任意结构的装置，例如，所述蒸气发生装置可以主要由在管状体内形成与载运气体的供给管路连通的冲击波形成部件、靠近所述冲击波形成部件并用于供给干燥气体用的液体的供给口、位于所述冲击波形成部件及供给口附近或设置在下游侧管状体内部和/或外部的加热装置构成。另外，所述流量控制装置最好包括设置在供给管路上的开度调整阀、将由检测装置检测出的处理室内压力的检测信号与预先储存的信息进行比较计算的控制部件、根据来自控制部件的信号控制开度调整阀的工作压力的控制阀。另外，最好在所述干燥气体的供给管路上设置干燥气体温度检测装置。在这种情况下，由热电偶构成所述温度检测装置，通过焊接将热电偶固定在金属制成的密封部件上，该密封部件装在固定于形成供给管路的管体上的支承螺母和与支承螺栓螺纹连接的安装螺栓之间。按照本专利技术，在加热从载运气体供给源供给的载运气体并供给蒸汽发生装置的蒸汽发生装置中，由载运气体使供给蒸气发生装置的干燥气体用液体成雾状，并且通过加热装置的加热来生成干燥气体。然后，将生成的干燥气体供给处理室，通过使容纳在处理室内的被处理体与干燥气体的接触来对被处理体进行干燥。另外，由于流量控制装置的控制，只向处理室内供给规定的少量干燥气体，所以在干燥过程中，在处理室的压力低于大气压的情况下，将干燥处理完成之前处理室的低压气氛转变成大气压气氛时可抑制压力的急剧变化，并能防止飞散的颗粒等附着在被处理体上。另外，由于载运气体加热装置设有与载运气体供给管路连通的导入管、插在该导入管内并在导入管内壁表面之间形成螺旋状流路的流路形成管、插在流路形成管内的加热装置，或用盘管状部件取代流路形成管构成螺旋状流路，所以能提高载运气体与加热装置的接触面积和接触滞留时间，这样就能提高了载运气体加热装置的传热效率，同时可将规定温度的载运气体供给蒸气发生装置。因此，在使载运气体加热装置小型化的同时可提高干燥气体的生成效率。另外，由于蒸气发生装置主要由形成在与载运气体的供给管路连通的管状体内的冲击波形成部件、靠近所述冲击波形成部件并用于供给干燥气体用的液体的供给口、位于所述冲击波形成部件及供给口附近或设置在下流侧管状体内部和/或外部的加热装置构成，所以可以较高的效率快速地使干燥气体用液体生成干燥气体。这样就能提高干燥处理的效率，同时能蒸气发生装置小型化。此外，在流量控制装置上具有设置在供给管路上的开度调整阀、将检测装置检测出的处理室内压力信号与预先储存的信息进行比较计算的控制部件、根据该控制部件的信号控制开并调整阀的工作压力的控制阀，处理室内的压力可随所控制的开度调整阀的变化而变化，在干燥过程中，处理室内的压力处在低于大气压的情况下，干燥完成后处理室内从低压气氛平滑地转变到大气压气氛。因此，将处理室的低压气氛转变成大气压气氛时可防止颗粒飞散，同时可防止颗粒附着在被处理体上。另外，由于在干燥气体的供给管路上设有干燥气体的温度检测装置，所以可使干燥气体的温度保持在最佳状态。在这种情况下，由热电偶构成温度检测装置，通过焊接将热电偶固定在金属制成的密封部件上，该密封部件装在固定于形成供给管路的管体上的支承螺母和与支承螺栓螺纹连接的安装螺栓之间，这样就可正确地测定干燥气体的温度，同时可防止发生外部漏损，并且相对于温度周期来说可提高温度检测装置的可靠性。附图说明图1是本专利技术用于干燥处理装置的清洗处理系统的平面示意图；图2是上述清洗系统的侧面示意图；本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种向容纳被处理体的处理室内供给干燥气体，以对被处理体进行干燥处理的方法，其特征在于包括如下步骤： 加热载运气体的步骤； 利用加热的所述载运气体使干燥气体用的液体变成雾状，同时生成经过加热的所述干燥气体的步骤；和 控制供给所述处理室的所述干燥气体流量的步骤。

【技术特征摘要】
JP 1997-5-16 141112/971.一种向容纳被处理体的处理室内供给干燥气体，以对被处理体进行干燥处理的方法，其特征在于包括如下步骤加热载运气体的步骤；利用加热的所述载运气体使干燥气体用的液体变成雾状，同时生成经过加热的所述干燥气体的步骤；和控制供给所述处理室的所述干燥气体流量的步骤。2.一种向容纳被处理体的处理室内供给干燥气体，以对被处理体进行干燥处理装置，其特征在于该装置包括加热载运气体的载运气体加热装置；利用所述加热装置加热的所述载运气体来使干燥气体用液体雾化，同时生成加热的所述干燥气体的蒸气发生装置。3.按照权利要求2的干燥处理装置，其特征在于该干燥处理装置还具有向所述处理室供给预定量的所述干燥气体的流量控制装置。4.按照权利要求2的干燥处理装置，其特征在于所述载运气体加热装置还具有与载运气体的供给管路相连的导入管；插在所述导入管内、并在与导入管的内壁表面之间形成螺旋状流路的流路形成管；至少插在所述流路形成管内的加热装置。5.按照权利要求2的干燥处理装置，其特征在于所述载运气体加热...

【专利技术属性】
技术研发人员：小美野光明，内泽修，
申请(专利权)人：东京电子株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]