本实用新型专利技术公开了一种过滤器，包括第一壳体，具有入口、出口和排气口；第二壳体；滤芯，至少包括中心杆，外壳，滤膜，及第一、第二端盖，外壳与第二壳体的内壁间形成环形空腔，其与入口和排气口均连通，滤芯的中空内部与出口连通；第二壳体的内壁和外壳的外壁间形成隔离壁，其轴向延伸将环形空腔周向隔断；第一端盖形成与入口和环形空腔连通的第一连通口，原料流体经过该第一连通口向隔离壁流动，隔离壁引导原料流体轴向向下流动进入环形空腔。该过滤器中，环形空腔被隔离壁隔断，原料流体的螺旋流动或者对流被隔离壁阻断，且隔离壁引导原料流体有序流动，原料流体受到的扰动减少，流动的有序性提高，气泡的形成大幅减少。气泡的形成大幅减少。气泡的形成大幅减少。
【技术实现步骤摘要】
过滤器
[0001]本技术属于过滤
，尤其是涉及一种过滤器。
技术介绍
[0002]现有用于过滤半导体制程流体的过滤器，通常包括第一壳体、与第一壳体密封连接的第二壳体及定位于第二壳体内部的滤芯。第一壳体具有入口、出口和排气口，滤芯通过与其中空内部连通的接口与出口密封连接。进料流体由入口流入，首先进入滤芯外周与第二壳体内壁间的空间内，然后透过滤膜，污染物被滤膜截留，洁净滤液进入其中空的内部，再经接口和出口排出；过滤器内部的气泡则经排气口排出。
[0003]但是，由于滤芯的外壁和第二壳体的内壁间形成环形空腔，原料流体由入口流入后、进入空腔内，会在环形空腔内、绕着滤芯的外周螺旋流动，并形成对流，某些流体如光刻胶，容易由于螺旋流动或对流等造成的扰动而额外形成气泡，导致过滤器内部气泡增加，而排气口无法及时将额外形成的气泡排出；最终，由出口排出的滤液仍然夹带超出允许含量的气泡，进而导致下游制程产品的缺陷。也就是说该现有过滤器，不能满足容易起泡的流体的过滤应用，无法提供气泡含量符合要求的洁净滤液。
[0004]因此，还应改进该现有过滤器的内部结构，以提高原料流体在过滤器内部流动的有序性或规律性，避免形成螺旋流动或对流，缓解对原料流体形成的扰动，从而减少由于扰动而形成的气泡的量。
技术实现思路
[0005]为了克服现有技术的不足，本技术提供一种提高流体的流动有序性，气泡量减少的过滤器。
[0006]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：过滤器，包括，
[0007]第一壳体，具有入口、出口和排气口；
[0008]第二壳体，其顶端与所述第一壳体密封连接；
[0009]滤芯，定位于所述第二壳体内部，至少包括中心杆，外壳，位于中心杆和外壳之间的滤膜，及密封连接于两端的第一端盖和第二端盖，所述外壳与第二壳体的内壁之间形成环形空腔，该环形空腔与所述入口和排气口均连通，所述滤芯的中空内部与出口连通；
[0010]所述第二壳体的内壁和外壳的外壁之间形成隔离壁，该隔离壁轴向延伸将所述环形空腔周向隔断；
[0011]所述第一端盖形成与所述入口和环形空腔连通的第一连通口，由所述入口流入的原料流体经过该第一连通口向所述隔离壁流动，所述隔离壁引导原料流体轴向向下流动进入环形空腔。
[0012]本技术提供的过滤器中，第二壳体的内壁和滤芯的外壳的外壁之间形成轴向延伸的隔离壁，环形空腔被该隔离壁隔断，从而原料流体在环形空腔内的螺旋流动或者对流被隔离壁阻断，原料流体受到的扰动作用得到缓和，提高了原料流体流动的有序性，从而
由扰动额外形成的气泡量大幅减少，过滤器内部气泡含量减少，相应地，洁净滤液中气泡的含量大幅下降，不会再超出允许值；另外，第一端盖形成与入口连通的第一连通口，第一连通口可将原料流体导向隔离壁，该隔离壁引导原料流体轴向向下流动，也就是说隔离壁还对原料流体的流动起到引导作用，进一步提高原料流体流动的有序性。
[0013]进一步的，所述第二壳体的内壁和外壳的外壁之间形成与所述隔离壁配合的限位部，以形成所述第二壳体和滤芯间的周向限位。
[0014]限位部可以有效实现第二壳体和滤芯之间的周向限位，避免滤芯相对第二壳体发生偏转，保证整体装配结构的稳固性，同时限位部也给滤芯的装配提供了安装位置的提示，便于安装。
[0015]进一步的，所述隔离壁形成中空通道，其顶端与所述第一连通口正对且连通，其底端与所述环形空腔连通。
[0016]中空通道限制了流体的流动范围，更好地起到对原料流体的引导作用，进一步改善原料流体流动的有序性，第一连通口和中空通道正对则避免原料流体随意四溅，减少气泡的产生。
[0017]进一步的，所述隔离壁包括位于所述外壳外壁的两条隔离筋，所述两条隔离筋周向隔开，所述第一连通口位于两条隔离筋之间的正上方。
[0018]原料流体可经第一连通口直接流入两条隔离筋之间的空间内，并沿着两条隔离筋轴向向下流动，到达底部，然后经两条隔离筋的底端流入环形空腔内，两条隔离筋对原料流体的引导作用加强，并且，两条隔离筋均对环形空腔形成隔断作用，原料流体在环形空腔内由于螺旋运动或对流受到的扰动作用进一步得到缓和。
[0019]进一步的，所述隔离壁为封闭的圆柱形壁，或者，所述隔离壁为弧形壁。
[0020]隔离壁的结构形式多样，可以适应不同的安装情形，适应性更高，便于加工；而且封闭的圆柱形壁和弧形壁结构的隔离壁对原料流体的引导和限制作用更好，原料流体在隔离壁形成的中空通道内的流动状态更平稳，有序性更高。
[0021]进一步的，所述隔离壁的顶端与所述第一端盖背离第一壳体的端面之间留有空隙，以形成一体的气泡流动通道。
[0022]该空隙使得环形空腔不完全被隔离壁隔断，在环形空腔的顶端还是一体的，原料流体流入隔离壁之间的中空通道后，其中夹带的气泡上升，到达顶端的空隙，再流向环形空腔的其他区域，并朝着排气口的方向聚集、并排出。
[0023]进一步的，所述隔离壁为位于所述外壳外壁的一条隔离筋，所述第一连通口位于该隔离筋的一侧。
[0024]隔离壁的结构简单，不仅起到提高原料流体流动的有序性的作用，而且环形空腔内的气泡可以通过第一连通口快速排出。
[0025]进一步的，所述限位部为沿第二壳体的内壁轴向延伸的凹槽，所述隔离壁插入该凹槽内，且隔离壁的外壁与凹槽的两侧槽壁相抵接。
[0026]凹槽的设置，可在过滤器的制造过程中，指示滤芯的插入位置和方向，将隔离壁对准凹槽的槽壁，即可正确安装好滤芯。
[0027]进一步的，所述凹槽的底端两侧均形成凸块，该凸块突出于所述第二壳体的内壁。
[0028]凸块可以防止隔离壁从凹槽内滑出，确保滤芯相对第二壳体定位，避免滤芯相对
第二壳体周向晃动。
[0029]进一步的，所述第一端盖朝向第一壳体的端面具有第一引导通道和第二引导通道及用于将滤芯的中空内部和出口连通的中心孔，所述第一引导通道分别与所述入口和第一连通口连通；所述第二引导通道分别与所述排气口和第一引导通道连通；所述第一端盖上还形成第二连通口，该第二连通口将所述环形空腔和第二引导通道连通。
[0030]第一引导通道和入口、第一连通口配合，形成相应的进液流路，第二引导通道与排气口连通，且两端分别与第一引导通道和环形空腔相连通，短时间滞留在第一引导通道内的原料流体中夹带的气泡可以直接进入第二引导通道，然后流向排气口，该部分气泡的排出路径段，气泡排出速率快，气泡排出及时，减少过滤器内部的气泡含量。
[0031]进一步的，所述第一引导通道具有位于所述第一端盖内侧和第一壳体径向内侧的第一端及位于第一端盖和第一壳体外边沿的第二端，所述第一连通口为形成在所述第一引导通道的第二端处的第一缺口；所述第二引导通道具有与所述环形空腔连通的第三端和与所述入口连通的第四端，所述第二连通口为形成在所述第二引导通道的第三端处的第二缺口。
[0032]原料流体从入口进入第一引导通道本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.过滤器，包括，第一壳体，具有入口、出口和排气口；第二壳体，其顶端与所述第一壳体密封连接；滤芯，定位于所述第二壳体内部，至少包括中心杆，外壳，位于中心杆和外壳之间的滤膜，及密封连接于两端的第一端盖和第二端盖，所述外壳与第二壳体的内壁之间形成环形空腔，该环形空腔与所述入口和排气口均连通，所述滤芯的中空内部与出口连通；其特征在于：所述第二壳体的内壁和外壳的外壁之间形成隔离壁，该隔离壁轴向延伸将所述环形空腔周向隔断；所述第一端盖形成与所述入口和环形空腔连通的第一连通口，由所述入口流入的原料流体经过该第一连通口向所述隔离壁流动，所述隔离壁引导原料流体轴向向下流动进入环形空腔。2.根据权利要求1所述的过滤器，其特征在于：所述第二壳体的内壁和外壳的外壁之间形成与所述隔离壁配合的限位部，以形成所述第二壳体和滤芯间的周向限位。3.根据权利要求1或2所述的过滤器，其特征在于：所述隔离壁形成中空通道，其顶端与所述第一连通口正对且连通，其底端与所述环形空腔连通。4.根据权利要求3所述的过滤器，其特征在于：所述隔离壁包括位于所述外壳外壁的两条隔离筋，所述两条隔离筋周向隔开，所述第一连通口位于两条隔离筋之间的正上方。5.根据权利要求3所述的过滤器，其特征在于：所述隔离壁为封闭的圆柱形壁，或者，所述隔离壁为弧形壁。6.根据权利要求3所述的过滤器，其特征在于：所...
【专利技术属性】
技术研发人员：吕海江，柯文静，韩磊，
申请(专利权)人：杭州泷泽过滤器材有限公司，
类型：新型
国别省市：
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