一种多孔陶瓷板及其制备方法技术

本发明专利技术涉及一种防静电吸光多孔陶瓷板，其主要由下述重量百分比原料制成：三氧化二铬25

【技术实现步骤摘要】
一种多孔陶瓷板及其制备方法


[0001]本专利技术属于多孔陶瓷
，具体涉及一种防静电吸光多孔陶瓷板及其制备方法。

技术介绍

[0002]多孔陶瓷板在半导体、显示面板、光学元件等多行业里被用作吸附固定、气浮、运输的工作台，此外也可用作水处理、气体分离、燃料电池支撑体等。随着半导体晶圆和显示面板逐渐轻薄、尺寸增大，在工作台的使用过程中，会因为静电摩擦和静电释放产生异常电流，从而造成静电伤害以及大幅降低产品良率。而伴随着光学检测技术的发展，在工作台上方会设置各种光源，用来吸收干扰光线，减少曝光导致的检测误差。因此，对工作台的吸光性提出了更高的要求，要求多孔陶瓷为黑色吸光材质。
[0003]目前的多孔陶瓷板多为氧化铝和碳化硅材料，绝缘色浅，其体积电阻率为10
10
‑
10
14
Ω
·
cm，反射率高于40%，高的电阻值会引起静电伤害，而高的反射率会导致曝光干扰检测，无法满足工作台对多孔陶瓷防静电性能和低反射吸光性能的需求。因此，亟待研发低电阻率、低反射率的多孔陶瓷板。
专本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多孔陶瓷板，其特征在于，主要由下述重量百分比原料制成：三氧化二铬25
‑
62%，三氧化二铁24
‑
37%，氧化亚镍2
‑
29%，二氧化锰0
‑
14%，二氧化硅2
‑
16%，矿化剂0.6
‑
8%。2.如权利要求1所述的多孔陶瓷板，其特征在于，三氧化二铁+三氧化二铬的质量之和是氧化亚镍+二氧化锰的两倍以上。3.如权利要求1或2所述的多孔陶瓷板，其特征在于，三氧化二铁与三氧化二铬的质量比为0.5
‑
1.2：1。4.如权利要求1所述的多孔陶瓷板，其特征在于，所述矿化剂为氧化钙、氧化钡、氧化硼、硝酸钾和氟化钠中的一种或两种以上的混合物。5.权利要求1至4任一所述多孔陶瓷板的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：1）混合：按比例取各原料，倒入混合机中混合好后获得粉料，加...

【专利技术属性】
技术研发人员：张昕，孙正斌，宋运运，裴亚星，刘勋，
申请(专利权)人：郑州磨料磨具磨削研究所有限公司，
类型：发明
国别省市：