一种半导体材料存放装置制造方法及图纸

技术编号:32184152 阅读:9 留言:0更新日期:2022-02-08 15:47
本实用新型专利技术公开了一种半导体材料存放装置,涉及半导体存放设备技术领域,本实用新型专利技术包括放置箱、散热机构和防尘机构,所述散热机构包括存放箱、石墨层、安装块、伺服电机、转动杆、主动齿轮、从动齿轮、传动杆、扇叶和温度传感器,所述放置箱内开设有空腔,所述空腔的内底壁固定连接有存放箱,所述存放箱上套接有石墨层,所述空腔内固定连接有安装块。本实用新型专利技术中,通过伺服电机可带动转动杆转动,使转动杆上固定连接的主动齿轮带动两端啮合连接的从动齿轮转动,此时从动齿轮上固定连接的传动杆即可带动扇叶进行转动,从而对存放箱和石墨层进行散热,相比与现有技术中的一种半导体材料存放装置,具有散热效率高的效果。具有散热效率高的效果。具有散热效率高的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体材料存放装置


[0001]本技术涉及半导体材料存放设备
,尤其涉及一种半导体材料存放装置。

技术介绍

[0002]半导体材料是一类具有半导体性能、可用来制作半导体器件和集成电路的电子材料,由于其结构稳定,拥有卓越的电学特性,而且成本低廉,因此常常被广泛使用,而在半导体材料使用过程中常常需要首先对其进行存放以方便使用。
[0003]现有专利(公开号CN210556771U)公开了一种半导体材料存放装置,包括盒体,所述盒体右侧面的底部开设有空腔,所述盒体的右侧面开设有位于空腔上方的限位槽,所述空腔的内部活动安装有固定板,所述固定板左右两侧面的后部均固定安装有限位杆,所述空腔的左右两侧均固定安装有凹槽组。该半导体材料存放装置,通过在螺纹杆的底端连接密封环,盒体的内腔安装有位于密封环下方的过滤层,旋转螺纹杆,与密封板贴合的密封环会分离,进气口处即可通入惰性气体,反向旋转螺纹杆,密封板与密封环再次贴合,同时过滤层对空气进行过滤,这样可以大大降低空气中颗粒污染物的进入,避免了半导体材料与空气中的颗粒污染物长时间接触而损坏。
[0004]但是上述设计的一种半导体材料存放装置在实际使用中仍存在以下问题:首先该装置在使用时其内缺少有效的散热装置,在对半导体进行存放过程中若是外界温度过高很容易导致半导体材料的电导率升高,从而影响工作人员的后续使用,同时该装置在注入惰性气体时,通过工作人员手动旋转螺纹杆带动密封板与密封环贴合,从而避免空气中的颗粒污染物进入装置内对半导体材料进行污染,该方法不仅需要工作人员人工转动螺纹杆,且在长时间的使用过程中,较多的灰尘可能经过通孔进入装置内较难清理。

技术实现思路

[0005]本技术提供一种半导体材料存放装置,解决了现有技术中由于缺少散热装置,使存放在装置内的半导体材料在外界温度过高时,可能会出现导电率过高,从而影响后续使用的问题的技术问题。
[0006]为解决上述技术问题,本技术提供的一种半导体材料存放装置包括放置箱、散热机构和防尘机构,所述散热机构包括存放箱、石墨层、安装块、伺服电机、转动杆、主动齿轮、从动齿轮、传动杆、扇叶和温度传感器,所述放置箱内开设有空腔,所述空腔的内底壁固定连接有存放箱,所述存放箱上套接有石墨层,所述空腔内固定连接有安装块,所述安装块内开设有安装腔,所述放置箱的一侧固定连接有伺服电机,所述伺服电机的传动端固定连接有转动杆,所述转动杆的另一端延伸至安装腔内,所述放置箱的一侧和安装块的一侧分别开设有与转动杆相适配的连接口A和连接口B,所述连接口A与连接口B相连通,所述转动杆的另一端固定连接有主动齿轮,所述主动齿轮的两端均啮合连接有从动齿轮,所述从动齿轮上固定连接有传动杆,所述传动杆的一端转动连接在安装腔的内壁上,所述传动杆
上固定连接有扇叶,所述存放箱内开设有固定腔,所述固定腔内设置有温度传感器;
[0007]所述防尘机构包括进气管、连接块、蓄电池、电磁铁、缓冲弹簧、密封板、固定块、密封管和密封盖,所述放置箱顶部的一侧固定连接有进气管,所述进气管的一端延伸至存放箱内,所述进气管的一侧固定连接有连接块,所述连接块内开设有放置腔,所述放置腔内固定连接有蓄电池,所述蓄电池远离放置腔内壁的一端电性连接有电磁铁,所述电磁铁上固定连接有缓冲弹簧,所述缓冲弹簧远离电磁铁的一端固定连接有密封板,所述进气管的另一侧固定连接有固定块,所述密封板的一端延伸至连接块的外部,并与固定块相贴合,所述固定块内开设有与密封板相适配的连接槽,所述进气管的顶部固定连接有密封管,所述密封管上铰接有密封盖。
[0008]优选的,所述存放箱内固定连接有多个层板,所述层板的数量为三个,该设置可方便工作人员存放多种材质的半导体材料。
[0009]优选的,所述层板上粘接有标签,所述标签上涂覆有荧光粉,该设置可方便工作人员区分存放的半导体材料。
[0010]优选的,所述放置箱的一侧开设有排放口,所述排放口上固定连接有过滤网,该设置可方便将扇叶产生的气体排出。
[0011]优选的,所述放置箱的底部四角位置均固定连接有支撑腿,所述支撑腿上一体成型有防滑纹路,该设置提高了装置放置时稳定性。
[0012]优选的,所述放置箱的一侧固定连接有防护罩,所述防护罩套接在伺服电机上,该设置可为伺服电机提供一定的保护作用,避免了伺服电机在长时间的使用过程中其内积累较多灰尘从而导致伺服电机内出现电路短路的情况。
[0013]优选的,所述放置箱的一侧固定连接有支撑架,所述伺服电机固定连接在支撑架上,该设置提高了伺服电机在工作时的稳定性。
[0014]优选的,所述放置箱和存放箱的一侧均铰接有密封门,所述放置箱的一侧固定连接有控制面板,所述控制面板分别与伺服电机、温度传感器和蓄电池电性连接,该设置可方便工作人员控制装置。
[0015]与相关技术相比较,本技术提供的一种半导体材料存放装置具有如下有益效果:
[0016]1、本技术中,该装置在使用时,石墨层可对存放箱周围的热量进行吸收,同时温度传感器可对存放箱内的温度进行监测,当温度过高时,可带动扇叶对石墨层进行散热,进而加快散热的效率,从而避免外界温度过高时,导致半导体材料的导电率偏高,同时在存放好半导体材料过后,工作人员可通过打开密封盖然后再给蓄电池通电使电磁铁开始工作并带动密封板水平移动将进气管打开,随后工作人员即可通过进气管向存放箱内注入惰性气体,当注入完成后,工作人员可关闭蓄电池使密封板受到缓冲弹簧的弹力作用抵触在固定块内,从而避免空气中的污染颗粒进入存放箱内,对存放的半导体进行污染,该装置解决了现有技术中由于缺少散热装置,使存放在装置内的半导体材料在外界温度过高时,可能会出现导电率过高,从而影响后续使用的问题。
[0017]2、本技术中,通过设置层板和标签的配合使用可方便工作人员存放多种材质的半导体材料,通过设置过滤网可对空气中的空气进行过滤。
附图说明
[0018]图1为一种半导体材料存放装置的外部结构示意图;
[0019]图2为一种半导体材料存放装置的内部结构示意图;
[0020]图3为图1中A处的结构放大示意图;
[0021]图4为图2中B处的结构放大示意图。
[0022]图中标号:1、放置箱;2、存放箱;3、石墨层;4、安装块;5、伺服电机;6、转动杆;7、主动齿轮;8、从动齿轮;9、传动杆;10、扇叶;11、温度传感器;12、进气管;13、连接块;14、蓄电池;15、电磁铁;16、缓冲弹簧;17、密封板;18、固定块;19、密封管;20、密封盖;21、层板;22、标签;23、过滤网。
具体实施方式
[0023]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例;基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体材料存放装置,其特征在于,包括放置箱(1)、散热机构和防尘机构;所述散热机构包括存放箱(2)、石墨层(3)、安装块(4)、伺服电机(5)、转动杆(6)、主动齿轮(7)、从动齿轮(8)、传动杆(9)、扇叶(10)和温度传感器(11),所述放置箱(1)内开设有空腔,所述空腔的内底壁固定连接有存放箱(2),所述存放箱(2)上套接有石墨层(3),所述空腔内固定连接有安装块(4),所述安装块(4)内开设有安装腔,所述放置箱(1)的一侧固定连接有伺服电机(5),所述伺服电机(5)的传动端固定连接有转动杆(6),所述转动杆(6)的另一端延伸至安装腔内,所述放置箱(1)的一侧和安装块(4)的一侧分别开设有与转动杆(6)相适配的连接口A和连接口B,所述连接口A与连接口B相连通,所述转动杆(6)的另一端固定连接有主动齿轮(7),所述主动齿轮(7)的两端均啮合连接有从动齿轮(8),所述从动齿轮(8)上固定连接有传动杆(9),所述传动杆(9)的一端转动连接在安装腔的内壁上,所述传动杆(9)上固定连接有扇叶(10),所述存放箱(2)内开设有固定腔,所述固定腔内设置有温度传感器(11);所述防尘机构包括进气管(12)、连接块(13)、蓄电池(14)、电磁铁(15)、缓冲弹簧(16)、密封板(17)、固定块(18)、密封管(19)和密封盖(20),所述放置箱(1)顶部的一侧固定连接有进气管(12),所述进气管(12)的一端延伸至存放箱(2)内,所述进气管(12)的一侧固定连接有连接块(13),所述连接块(13)内开设有放置腔,所述放置腔内固定连接有蓄电池(14),所述蓄电池(14)远离放置腔内壁的一端电性连接有电磁铁(15),所述电磁铁(...

【专利技术属性】
技术研发人员:阳龙鹏孙昊
申请(专利权)人:成都信息工程大学
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1