激光二极管制造技术

本申请公开了一种激光二极管，该激光二极管包括n型层、p型层和位于两者之间的有源层；n型层和有源层之间包括有第一波导层；第一波导层包括铝铟镓氮四元合金，第一波导层中铝的浓度为1

【技术实现步骤摘要】
激光二极管


[0001]本申请涉及半导体相关
，尤其涉及一种激光二极管。

技术介绍

[0002]以氮化镓为代表的III族氮化物是直接跃迁型的宽带隙半导体材料，其具有较宽的能带，是制作从紫外光波段到绿光波段激光器的理想材料。氮化镓基蓝绿光激光器具有体积小、集成度高、亮度高、分辨率高等优点，光场的分布和光子局限能力是影响氮化镓基蓝绿光激光器性能的关键因素。
[0003]在传统氮化镓基蓝绿光激光器中，氮化铟镓波导层可被用来限制光场，由于氮化铟镓与氮化镓的晶格存在较大差异，在氮化铟镓波导层与氮化镓层的界面处易形成界面缺陷，这些界面缺陷会影响氮化铟镓波导层的稳定性。

技术实现思路

[0004]本申请的目的在于提供一种激光二极管，其通过在第一波导层中加入微量的铝组分，可有效改善第一波导层和n型层界面处因存在晶格差异而形成的界面缺陷，并提高第一波导层的稳定性。
[0005]第一方面，本申请实施例提供了一种激光二极管，其包括n型层、p型层和位于两者之间的有源层；n型层和有源层之间包括有第一波导层；/>[0006]第一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光二极管，包括n型层、p型层和位于两者之间的有源层；所述n型层和有源层之间包括有第一波导层；其特征在于，所述第一波导层包括铝铟镓氮四元合金，所述第一波导层中铝的浓度为1
×
10
16
cm
‑3～3
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10
16
cm
‑3，或者3
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10
16
cm
‑3～5
×
10
17
cm
‑3，或者5
×
10
17
cm
‑3～1
×
10
18
cm
‑3。2.根据权利要求1所述的激光二极管，其特征在于，所述第一波导层具有铝的第一浓度轮廓，所述第一浓度轮廓包括至少一个第一峰形。3.根据权利要求2所述的激光二极管，其特征在于，与n型层相距最近的所述第一峰形的峰值浓度位于所述n型层上表面起0nm至100nm的一段距离内。4.根据权利要求2所述的激光二极管，其特征在于，所述第一浓度轮廓包括一个第一峰形，所述第一峰形的峰值浓度位于所述n型层上表面起0nm至50nm的一段距离内。5.根据权利要求4所述的激光二极管，其特征在于，所述第一峰形的峰宽大于等于5nm，且小于等于10nm；所述第一峰形的峰值浓度大于1
×
10
17
cm
‑3。6.根据权利要求4所述的激光二极管，其特征在于，所述第一峰形的峰宽大于等于10nm，且小于等于500nm；所述第一峰形的峰值浓度大于8
×
10
16
cm...

【专利技术属性】
技术研发人员：王俞授，沈圻，
申请(专利权)人：厦门三安光电有限公司，
类型：发明
国别省市：