【技术实现步骤摘要】
一种用于蒸镀机材料回收装置
[0001]本技术属于蒸镀机材料回收
,具体涉及一种用于蒸镀机材料回收装置。
技术介绍
[0002]Organic Light Emitting Display,即有机发光显示器,OLED是由多层有机薄膜结构组成的器件。蒸镀就是其中一道工序,即蒸镀源内装填不同的材料,通过加热控制镀率使得材料升华逸出蒸镀源镀到基板上,蒸镀不同的多层有机薄膜组成结构产生电致发光。在蒸镀过程中,蒸镀源内材料需升温至一定温度达到需要的镀率才能进行制程工艺,在此过程,蒸发的材料就会浪费,材料利用率低。
[0003]现有的蒸镀过程中,蒸发的材料浪费,材料利用率低的问题,为此我们提出一种用于蒸镀机材料回收装置。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种用于蒸镀机材料回收装置,以解决上述
技术介绍
中提出的蒸镀过程中,蒸发的材料浪费,材料利用率低的问题。
[0005]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种用于蒸镀机材料回收装置,包括蒸镀框和回收机构,所述回收机构位于蒸镀框设有的回收腔 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于蒸镀机材料回收装置,包括蒸镀框(1)和回收机构,所述回收机构位于蒸镀框(1)设有的回收腔内,其特征在于:所述回收机构包括支撑柱(3)、回收盒(4)和回收板(10),所述回收板(10)位于回收盒(4)内部,所述支撑柱(3)包括底柱(7)、连接环(8)和连接柱(9),所述连接环(8)的顶端与连接柱(9)的底端连接,所述连接环(8)的底端嵌入底柱(7)顶端内部,所述底柱(7)的内部设有升降气缸(11)、圆板(12),所述升降气缸(11)顶端与圆板(12)连接,所述连接环(8)与圆板(12)连接,所述圆板(12)的表面设有驱动马达(13),所述连接柱(9)顶端的内部设有冷凝器(14),所述连接柱(9)顶部与回收盒(4)连接。2.根据权利要求1所述的一种用于蒸镀机材料回收装置,其特征在于:所述连接环(8)、连接柱(9)的外径相同,所述连接环(8)、连接柱(9)与底柱(7)滑动连接。3.根据权利要求1所述的一种用于蒸镀机材料回收装置,其特征在于:所述圆板(12)边缘的内部设有转动环(121),所述转动环(121)与圆板(12)转动连接,所述连接环(8)与转动环(121)通过螺纹旋合连接,所述驱动马达(13)位于圆板(12)的圆心位置,所述驱动马达(...
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