【技术实现步骤摘要】
用于管理物品搬送车辆的电力的装置以及方法
[0001]本专利技术涉及在物品搬送系统中用于管理物品搬送车辆的电力的装置以及方法，更具体地涉及用于使用基于非接触供电的电力以及充电电力对物品搬送车辆的电力进行管理的装置以及方法。
技术介绍
[0002]半导体(或者显示器)制造工艺作为用于在基板(例如：晶圆)上制造半导体元件的工艺，例如包括曝光、蒸镀、蚀刻、离子注入、清洗、封装等。用于制造半导体元件的制造工厂由一个或者其以上层的洁净室构成，用于执行半导体制造工艺的制造设备配置于各层。
[0003]为了最大化半导体制造工艺的效率，不仅是改善各半导体制造工艺的方法，还导入用于在各制造设备之间迅速且有效地搬送物品(例如：基板)的手段。代表性地，适用有沿着设置于半导体制造工厂的顶棚的路径搬送物品的OHT(overhead hoist transport；空中走行式无人搬送车)系统。通常，OHT系统包括构成行驶路径的轨道、沿着轨道行驶并搬送物品的物品搬送车辆。另外，当在半导体制造设备之间的搬送中需要保管物品时，可以设置用于存储相应物品
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种在物品搬送系统中用于管理物品搬送车辆的电力的装置，其特征在于，包括：电力接收部，从设置于所述物品搬送车辆的行驶路径上的供电单元以非接触方式接收电力并进行控制；电力存储部，存储从所述电力接收部供应的电力的一部分，并提供所存储的电力；动力生成部，使用从所述电力接收部或者所述电力存储部供应的电力来生成用于所述物品搬送车辆行驶的驱动电力以及动力；以及电力控制部，控制所述电力存储部、所述电力接收部以及所述动力生成部之间的电力的路径，所述电力控制部基于所述物品搬送车辆的工作状态，从所述电力接收部向所述动力生成部供应电力或从所述电力存储部向所述动力生成部供应电力，从而控制电力路径。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，当来自所述供电单元的电力供应被中断时，所述电力控制部将所述电力存储部的电力向所述动力生成部供应。3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，当所述物品搬送车辆为加速中时，所述电力控制部将从所述电力接收部提供的电力以及存储在所述电力存储部中的电力向所述动力生成部供应。4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述电力控制部将存储在所述电力存储部的蓄电部中的电力一次向所述动力生成部供应，并将存储在所述电力存储部的储能装置中的电力二次向所述动力生成部供应。5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，当所述物品搬送车辆为减速中时，所述电力控制部将从所述动力生成部产生的再生能存储到所述电力存储部。6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，当所述物品搬送车辆初始进入所述行驶路径时，所述电力控制部在将从所述供电单元供应的电力限制在一定水平以下的状态下使用存储在所述电力存储部的储能装置中的能量对蓄电部进行充电。7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，当所述物品搬送车辆发生异常时，所述电力接收部的额定电压输出部切断从所述供电单元供应的电力，所述电力控制部使用存储在所述电力存储部中的电力来监测所述物品搬送车辆的异常是否被解除，当所述物品搬送车辆的异常状态被解除了时，所述电力接收部的额定电压输出部将从所述供电单元供应的电力向所述动力生成部供应。8.一种在物品搬送系统中用于管理物品搬送车辆的电力的方法，其特征在于，包括：从设置于所述物品搬送车辆的行驶路径上的供电单元向电力接收部以非接触方式接收电力的步骤；将所述接收的电力的一部分存储到电力存储部的步骤；以及基于所述物品搬送车辆的工作状态，从所述电力接收部向动力生成部供应电力或从所述电力存储部向所述动力生成部供应电力，从而控制电力路径的步骤。9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，
控制所述电力路径的步骤包括：当来自所述供电单元的电力供应被中断时，将所述电力存储部的电力向所述动力生成部供应的步骤。10.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，控制所述电力路径的步骤包括：当所述物品搬送车辆为加速中时，将从所述电力接收部提供的电力以及存储在所述电力存储部中的电力向所述动力生成部供应的步骤。11.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，控制所述电力路径的步骤包括：将存储在所述电力存储部的蓄电部中的电力一次向所述动力生成部供应的步骤；以及将存储在所述电力存储部的储能装置中的电力二...
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