监视装置和具有监视装置的装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及监视装置和具有监视装置的装置，监视装置装配于第一脚部，检测由第一脚部产生的振动。监视装置具备包含惯性传感器的传感器单元、传感器单元的装配用板、与第一脚部抵接的间隔件以及固定用螺栓，并在按顺序重叠有间隔件、板、传感器单元的状态下通过螺栓装配于第一脚部，间隔件比板柔软。间隔件比板柔软。间隔件比板柔软。

【技术实现步骤摘要】
监视装置和具有监视装置的装置


[0001]本专利技术涉及监视装置和具有监视装置的装置。

技术介绍

[0002]专利文献1公开了收纳电机的真空泵。根据其内容，电机的旋转轴由一对轴承固定。旋转翼设置于旋转轴，电机使旋转翼旋转，从而作为泵发挥功能。当轴承的滚珠劣化时，轴承振动。根据该文献，在轴承的固有振动数的旋转速度域中，通过使该轴承的振动衰减，从而真空泵能减少主轴的倾斜或轴向的位置偏移。
[0003]为了进行这种真空泵的预维护，可考虑装配搭载有传感器单元的监视装置。真空泵一般通过脚部固定于地面或基台。该真空泵主体或脚部的大多数是由铸件形成的。
[0004]专利文献1：日本特开2000
‑
74080号公报
[0005]然而，将监视装置装配到真空泵等振动源是不容易的。详细地说，由于铸件的表面有凹凸，因此难以可靠地固定监视装置。当固定不稳定时，除振动源之外，还发生监视装置本身振动的噪声振动，无法进行准确的计测。也就是说，要求能将监视装置可靠地固定于振动源并能精度良好地检测振动发生源的振动的结构。

技术实现思路

[0006]监视装置装配于振动发生源，检测由所述振动发生源产生的振动，所述监视装置具备：传感器单元，包含惯性传感器；板，设置有所述传感器单元；间隔件，与所述振动发生源抵接；以及螺钉，构成为在按顺序重叠有所述间隔件、所述板、所述传感器单元的状态下，装配于所述振动发生源，所述间隔件比所述板柔软。
[0007]装置具备：可动体；箱体，收纳所述可动体；以及上述任意一项中记载的所述监视装置，装配于所述箱体。
附图说明
[0008]图1是示出第一实施方式所涉及的真空泵的构成的概略立体图。
[0009]图2是示出真空泵的内部结构的示意侧视截面图。
[0010]图3是示出真空泵的内部结构的示意俯视截面图。
[0011]图4是示出向第一脚部设置监视装置的设置例的主要部位示意侧视图。
[0012]图5是示出向第一脚部设置监视装置的设置例的主要部位示意侧视截面图。
[0013]图6是比较例的真空泵的振动测定图谱。
[0014]图7是第一实施方式所涉及的真空泵的振动测定图谱。
[0015]图8是用于说明间歇驱动时的振动测定值的偏差的图。
[0016]图9是用于说明反复进行监视装置的装卸时振动测定值的偏差的图。
[0017]图10是示出向第一脚部设置监视装置的设置例的主要部位示意俯视图。
[0018]图11是示出向第二实施方式所涉及的第一脚部设置监视装置的设置例的主要部
位示意侧视图。
[0019]图12是示出向第三实施方式所涉及的第一脚部设置监视装置的设置例的主要部位示意俯视图。
[0020]图13是示出向第四实施方式所涉及的第一脚部设置监视装置的设置例的主要部位示意俯视图。
[0021]图14是示出向第五实施方式所涉及的第一脚部设置监视装置的设置例的主要部位示意俯视图。
[0022]图15是示出向第六实施方式所涉及的第一脚部设置监视装置的设置例的主要部位示意俯视图。
[0023]附图标记说明
[0024]1、33、38、43、48、53
…
作为振动发生源和装置的真空泵；13b
…
作为端部的第二端；13
…
作为脚部和振动发生源的第一脚部；15、34、39、44、49、55
…
监视装置；16
…
传感器单元；16a
…
重心；17、57
…
板；17b
…
作为边的第一边；17c
…
作为边的第二边；17d
…
作为边的第三边；18
…
作为螺钉的螺栓；19
…
作为可动体的泵转子；27、35、40、45、50、56
…
间隔件；27b、35b
…
作为端部的第一端；28
…
作为传感器单元与板接触的区域的第一区域；29
…
作为间隔件与振动发生源接触的区域的第二区域；40b、45b、50b
…
作为边的第五边；40c、45c、50c
…
作为边的第六边；40d、45d、50d
…
作为边的第七边；50e
…
作为端部的第八边；56e
…
作为边的第八边；57a
…
作为贯通孔的第一贯通孔。
具体实施方式
[0025]第一实施方式
[0026]在本实施方式中，对监视装置和装配有该监视装置的真空泵的特征性例子进行说明。如图1所示，作为振动发生源和装置的真空泵1设置于基台2上。真空泵1是截面形状为大致长圆的柱状。将真空泵1的长边方向设为X方向。将长圆的长轴方向设为Y方向，将长圆的短轴方向设为Z方向。
[0027]真空泵1具备箱体3。箱体3具备从
‑
X方向侧向+X方向侧配置的电机壳体4、连接部5、泵壳体6以及齿轮壳体7。在连接部5和泵壳体6之间配置第一侧壁8。在泵壳体6和齿轮壳体7之间配置第二侧壁9。
[0028]吸气管11连接于泵壳体6的+Z方向侧的面。排气管12连接于泵壳体6的
‑
Z方向侧的面。
[0029]连接部5在基台2侧具备作为脚部和振动发生源的第一脚部13和第二脚部。第一脚部13配置于
‑
Y方向侧，第二脚部配置于+Y方向侧。齿轮壳体7在基台2侧具备第三脚部14和第四脚部。第三脚部14配置于
‑
Y方向侧，第四脚部配置于+Y方向侧。箱体3具备第一脚部13。真空泵1具备监视装置15。监视装置15装配于第一脚部13。监视装置15检测由真空泵1产生的振动。
[0030]监视装置15具备检测第一脚部13的振动的传感器单元16。传感器单元16包含惯性传感器。监视装置15还具备设置有传感器单元16的板17。监视装置15还具备作为将板17装配于第一脚部13的螺钉的螺栓18。第一脚部13是真空泵1的一部分，作为振动发生源而作用于传感器单元16。并不限定当传感器单元16检测正交的3轴方向的振动时的传感器单元16
的姿势。监视装置15既可以输出振动的波形，也可以根据振动的振幅来输出警告信号。
[0031]在图2和图3中说明真空泵1的内部结构。图2是从
‑
Y方向观察时的图。图3是从+Z方向观察时的图。在图中，省略了第一脚部13和监视装置15。真空泵1具备作为移送气体的2个可动体的泵转子19和使2个泵转子19旋转的2个电机21。泵转子19配置于泵壳体6的内部。
[0032]2个泵转子19分别固定于2个旋转轴22。2个旋转轴22分别由第一轴承23和第二轴承24支撑并且能旋转。2个电机21与各自的旋转轴22的一端连结。电机21构成为使2个泵转子19相互向相反方向同步旋转。旋本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种监视装置，其特征在于，装配于振动发生源，检测由所述振动发生源产生的振动，所述监视装置具备：传感器单元，包含惯性传感器；板，设置有所述传感器单元；间隔件，与所述振动发生源抵接；以及螺钉，构成为在按顺序重叠有所述间隔件、所述板、所述传感器单元的状态下，装配于所述振动发生源，所述间隔件比所述板柔软。2.根据权利要求1所述的监视装置，其特征在于，当俯视所述板时，所述传感器单元与所述板接触的区域和所述间隔件与所述振动发生源接触的区域不重叠。3.根据权利要求2所述的监视装置，其特征在于，当俯视所述板时，所述间隔件的所述传感器单元侧的端部与所述振动发生源的所述传感器单元侧的端部相同。4.根据权利要求2所述的监视装置，其特征在于，当俯视所述板时，所述间隔件的所述传感器单元侧的端部从所述振动发生源的所述传感器单元侧的端部向所述传感器单元侧突出。5.根据权利要求3或4所述的监视装置，其特征在于，所述板和所述间隔件分别是四边形，当俯视所述板时，所述间隔件的所述传感器单元侧以外的边与所述板的边重叠。6.根据权利要求3或4所述的监视装置，其特征在于，所述板和所述间隔件分别是四边形，当俯视所述板时，所述间隔件的所...

【专利技术属性】
技术研发人员：井口修一，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：