安装式中空芯部光纤布置制造技术

一种安装式中空芯部光纤布置包括：中空芯部光纤，具有微结构；以及包括多个安装触点的安装布置，安装触点被配置为向中空芯部光纤的外层施加力。中空芯部光纤的一部分位于安装布置的容置区域中。多个安装触点被定位在容置区域周围。安装触点被分布在容置区域周围，安装触点的分布对应于中空芯部光纤的微结构的特征的分布。安装式中空芯部光纤能够被用于辐射源设备，以提供宽带辐射。以提供宽带辐射。以提供宽带辐射。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】安装式中空芯部光纤布置
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请要求于2019年6月21日提交的EP申请19181578.6和于2019年7月17日提交的EP申请19186702.7的优先权，其通过引用全部并入本文。


[0003]本专利技术涉及用于中空芯部光纤的安装式光纤布置。具体地，它涉及通过安装到包括内部微结构的中空芯部光纤施加的力的分布。

技术介绍

[0004]光刻设备是被构造为将期望的图案施加到衬底上的机器。光刻设备能够被用于例如集成电路(IC)的制造中。光刻设备可以例如将图案形成装置(例如掩模)处的图案(通常也称为“设计布局”或“设计”)投影到设置在衬底(例如晶片)上的辐射敏感材料(抗蚀剂)层上。
[0005]为了将图案投影到衬底上，光刻设备可以使用电磁辐射。该辐射的波长确定了能够被形成在衬底上的特征的最小尺寸。当前使用的典型波长是365nm(i线)、248nm、193nm和13.5nm。与使用例如波长为193nm的辐射的光刻设备相比，使用波长在4至20nm(例如6.7nm或13.5nm)范围内的极紫本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种安装式中空芯部光纤布置，包括：中空芯部光纤，具有微结构；以及包括多个安装触点的安装布置，所述安装触点被配置为向所述中空芯部光纤的外层施加力；其中所述中空芯部光纤的一部分位于所述安装布置的容置区域中；所述多个安装触点被定位在所述容置区域周围；并且所述安装触点被分布在所述容置区域周围，所述安装触点的所述分布对应于所述中空芯部光纤的所述微结构的特征的分布。2.根据权利要求1所述的安装式中空芯部光纤布置，其中所述多个安装触点中的每个安装触点被配置为向所述中空芯部光纤的所述外层施加基本相等的力。3.根据前述权利要求中任一项所述的安装式中空芯部光纤布置，其中所述多个安装触点的所述位置在所述容置区域周围是等间隔的。4.根据前述权利要求中任一项所述的安装式中空芯部光纤布置，其中所述微结构的特征的所述分布包括对称性，并且其中所述多个安装触点的所述位置的对称性与所述微结构的所述对称性相对应。5.根据前述权利要求中任一项所述的安装式中空芯部光纤布置，其中所述中空芯部光纤是中空芯部光子晶体光纤，包括单环结构，所述单环结构围绕所述中空芯部具有多个毛细管。6.根据权利要求5所述的安装式中空芯部光纤布置，其中所述单环结构中的所述毛细管分布具有多种旋转对称性，并且其中安装触点的数量是旋转对称性的数量的整数倍，或者旋转对称性的数量是安装触点的数量的整数倍。7.根据权利要求5至6中任一项所述的安装式中空芯部光纤布置，其中安装触点的数量等于围绕所述中空芯部的毛细管的数量。8.根据前述权利要求中任一项所述的安装式中空芯部光纤布置，其中所述中空芯部光纤的安装在所述安装布置的所述容置区域内的所述部分是所述中空芯部光纤的端部。9.根据前述权利要求中任一项所述的安装式中空芯部光纤布置，其中由所述安装触点施加的所述力是可调整的。10.根据权利要求9所述的安装式中空芯部光纤布置，其中以下至少一项：所述安装布置包括弹簧加载螺钉，所述弹簧加载螺钉被配置为调整由所述安装触点施加的所述力，并且所述安装布置包括电气布置，所述电气布置被配置为通过施...

【专利技术属性】
技术研发人员：塞巴斯蒂安，
申请(专利权)人：ASML荷兰有限公司，
类型：发明
国别省市：