一种应用于半导体工艺设备的助力装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种应用于半导体工艺设备的助力装置，包括主机架，所述主机架的下端通过螺栓固定有移动组件，所述主机架的一侧通过螺栓固定有升降滑轨组件，且所述主机架另一侧通过螺栓连接有控制升降滑轨组件移动的双向自锁升降机构，且升降滑轨组件和双向自锁升降机构通过钢丝绳连接，所述升降滑轨组件的表面连接有水平导向机构，所述水平导向机构的一端连接有回转夹紧机构；本实用新型专利技术助力装置，设计新颖轻巧，操作灵活，手摇升降，省时省力，升降高度可自由精准控制，且带有自锁安全装置，防止非正常快速下落，安全性高，装置体积小、质量轻，单人可轻松操作，解决了有效作业空间狭小，大型吊车等不易操作的场合。大型吊车等不易操作的场合。大型吊车等不易操作的场合。

【技术实现步骤摘要】
一种应用于半导体工艺设备的助力装置


[0001]本技术涉及半导体领域，特别是涉及一种应用于半导体工艺设备的助力装置。

技术介绍

[0002]半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料；半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联。在半导体制造车间里,设备部件更换、定期洗净等维护作业大多采用人工搬运的方法进行操作。由于作业空间狭小，设备部件相对位置较高，部件粗重，人工搬运上下操作不方便，是危险的笨重体力劳动。
[0003]为了操作方便和保障操作人员的安全性，一般的做法是采用液压升高车、吊车等将设备部件吊起升高至合适操作位置，然后进行操作，由于作业空间狭小，液压升高车、吊车等结构复杂受空间的局限，无法操作，为此我们提供一种应用于半导体工艺设备的助力装置。

技术实现思路

[0004]为了克服现有技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种应用于半导体工艺设备的助力装置，包括主机架(1)，其特征在于：所述主机架(1)的下端通过螺栓固定有移动组件(6)，所述主机架(1)的一侧通过螺栓固定有升降滑轨组件(2)，且所述主机架(1)另一侧通过螺栓连接有控制升降滑轨组件(2)移动的双向自锁升降机构(3)，且升降滑轨组件(2)和双向自锁升降机构(3)通过钢丝绳连接，所述升降滑轨组件(2)的表面连接有水平导向机构(4)，所述水平导向机构(4)的一端连接有回转夹紧机构(5)。2.根据权利要求1所述的一种应用于半导体工艺设备的助力装置，其特征在于：所述水平导向机构(4)有滑块和导向圆柱轴组成。3.根据权利要求2所述的一种应用于半导体工艺设备的助力装置，其特征在于：所述回转夹紧机构(5)包括固定块和其上端通过螺纹连接的夹紧手柄(7)，所述固定块的一侧远离夹紧手柄(7)的一端固定有蝶形铰链(8)，所述蝶形铰链(8)的上端通过连接板固定有夹紧把手型轴承(9)，所述夹紧把手型轴承(9)套设在导向圆柱轴表面，所述连接板远离夹紧手柄(7)的一侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨忠心，
申请(专利权)人：无锡宇邦半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：