本实用新型专利技术公开了一种应用于半导体工艺设备的助力装置，包括主机架，所述主机架的下端通过螺栓固定有移动组件，所述主机架的一侧通过螺栓固定有升降滑轨组件，且所述主机架另一侧通过螺栓连接有控制升降滑轨组件移动的双向自锁升降机构，且升降滑轨组件和双向自锁升降机构通过钢丝绳连接，所述升降滑轨组件的表面连接有水平导向机构，所述水平导向机构的一端连接有回转夹紧机构；本实用新型专利技术助力装置，设计新颖轻巧，操作灵活，手摇升降，省时省力，升降高度可自由精准控制，且带有自锁安全装置，防止非正常快速下落，安全性高，装置体积小、质量轻，单人可轻松操作，解决了有效作业空间狭小，大型吊车等不易操作的场合。大型吊车等不易操作的场合。大型吊车等不易操作的场合。
【技术实现步骤摘要】
一种应用于半导体工艺设备的助力装置
[0001]本技术涉及半导体领域，特别是涉及一种应用于半导体工艺设备的助力装置。
技术介绍
[0002]半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料；半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联。在半导体制造车间里,设备部件更换、定期洗净等维护作业大多采用人工搬运的方法进行操作。由于作业空间狭小，设备部件相对位置较高，部件粗重，人工搬运上下操作不方便，是危险的笨重体力劳动。
[0003]为了操作方便和保障操作人员的安全性，一般的做法是采用液压升高车、吊车等将设备部件吊起升高至合适操作位置，然后进行操作，由于作业空间狭小，液压升高车、吊车等结构复杂受空间的局限，无法操作，为此我们提供一种应用于半导体工艺设备的助力装置。
技术实现思路
[0004]为了克服现有技术的不足，本技术提供一种应用于半导体工艺设备的助力装置，能带来便于装置操作的技术效果。
[0005]为解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：一种应用于半导体工艺设备的助力装置，包括主机架，所述主机架的下端通过螺栓固定有移动组件，所述主机架的一侧通过螺栓固定有升降滑轨组件，且所述主机架另一侧通过螺栓连接有控制升降滑轨组件移动的双向自锁升降机构，且升降滑轨组件和双向自锁升降机构通过钢丝绳连接，所述升降滑轨组件的表面连接有水平导向机构，所述水平导向机构的一端连接有回转夹紧机构。
[0006]作为本技术的一种优选技术方案，所述水平导向机构有滑块和导向圆柱轴组成。
[0007]作为本技术的一种优选技术方案，所述回转夹紧机构包括固定块和其上端通过螺纹连接的夹紧手柄，所述固定块的一侧远离夹紧手柄的一端固定有蝶形铰链，所述蝶形铰链的上端通过连接板固定有夹紧把手型轴承，所述夹紧把手型轴承套设在导向圆柱轴表面，所述连接板远离夹紧手柄的一侧固定有连杆，所述连杆的下端固定有多线螺杆调整机构，所述夹紧手柄和多线螺杆调整机构之间设有抓取部件。
[0008]作为本技术的一种优选技术方案，所述移动组件包括固定在主机架底端的支撑板，所述支撑板的一端侧壁对称固定有后轮支杆，且其另一端固定有前轮支杆，所述后轮支杆和前轮支杆远离支撑板的一端分别连接有万向双刹脚轮和重载型福马轮。
[0009]作为本技术的一种优选技术方案，所述主机架由钣金折弯成型，且支撑板由
钣金折弯和内置加强筋焊接成型。
[0010]作为本技术的一种优选技术方案，所述后轮支杆和前轮支杆分别通过螺栓与支撑板固定连接，所述万向双刹脚轮与后轮支杆通过螺纹固定连接，且前轮支杆和重载型福马轮通过螺栓固定连接。
[0011]与现有技术相比，本技术能达到的有益效果是：
[0012]1、本技术助力装置，设计新颖轻巧，操作灵活，手摇升降，省时省力，升降高度可自由精准控制，且带有自锁安全装置，防止非正常快速下落，安全性高，装置体积小、质量轻，单人可轻松操作，解决了有效作业空间狭小，大型吊车等不易操作的场合；
[0013]2、通过支撑板两端设置的万向双刹脚轮和重载型福马轮，装置周转灵活，行驶轻盈，进一步解决了狭小场地内的搬运困难问题，托运轻便，且较省时省力。
附图说明
[0014]图1为本技术的结构示意图；
[0015]图2为本技术的后示图；
[0016]图3为本技术回转夹具机构的结构示意图；
[0017]图4为本技术抓取部件水平放置的结构示意图；
[0018]图5为本技术抓取部件倾斜放置的结构示意图；
[0019]图6为本技术移动组件的结构示意图；
[0020]图中：1、主机架；2、升降滑轨组件；3、双向自锁升降机构；4、水平导向机构；5、回转夹紧机构；6、移动组件；7、夹紧手柄；8、蝶形铰链；9、夹紧把手型轴承；10、多线螺杆调整机构；11、抓取部件；12、支撑板；13、后轮支杆；14、万向双刹脚轮；15、前轮支杆；16、重载型福马轮。
具体实施方式
[0021]为了使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例，进一步阐述本技术，但下述实施例仅仅为本技术的优选实施例，并非全部。基于实施方式中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得其它实施例，都属于本技术的保护范围。下述实施例中的实验方法，如无特殊说明，均为常规方法，下述实施例中所用的材料、试剂等，如无特殊说明，均可从商业途径得到。
[0022]实施例:
[0023]如图1和图2所示，本技术提供一种应用于半导体工艺设备的助力装置，包括主机架1，主机架1的下端通过螺栓固定有移动组件6，主机架1的一侧通过螺栓固定有升降滑轨组件2，且主机架1另一侧通过螺栓连接有控制升降滑轨组件2移动的双向自锁升降机构3，且升降滑轨组件2和双向自锁升降机构3通过钢丝绳连接，升降滑轨组件2的表面连接有水平导向机构4，水平导向机构4的一端连接有回转夹紧机构5；
[0024]双向自锁升降机构3顺时针转动升降滑轨组件2上升，逆时针转动升降滑轨组件2下降，升降高度可自由精准控制，且双向自锁升降机构3带有自锁功能，双向自锁升降机构3停止转动升降滑轨组件2即可停止，防止非正常快速下落，安全性高，且体积小、质量轻单人
可轻松操作，针对性的解决了有效作业空间狭小，大型吊车等不易操作的场合。
[0025]在另外一个实施例中，如图3所示，本实施例公开了，水平导向机构4有滑块和导向圆柱轴组成，便于带动回转夹紧机构5进行水平距离的调节。
[0026]在另外一个实施例中，如图3和图5所示，本实施例公开了，回转夹紧机构5包括固定块和其上端通过螺纹连接的夹紧手柄7，固定块的一侧远离夹紧手柄7的一端固定有蝶形铰链8，蝶形铰链8的上端通过连接板固定有夹紧把手型轴承9，夹紧把手型轴承9套设在导向圆柱轴表面，连接板远离夹紧手柄7的一侧固定有连杆，连杆的下端固定有多线螺杆调整机构10，夹紧手柄7和多线螺杆调整机构10之间设有抓取部件11；
[0027]蝶形铰链8、夹紧把手型轴承9、多线螺杆调整机构10和导向圆柱轴配合作用，便于根据夹取要求调整抓取部件11水平或倾斜的放置问题，提高装置的使用范围，配合水平导向机构4的使用可左右滑动调整抓取距离，有效解决距离不够操作困难问题。
[0028]在另外一个实施例中，如图6所示，本实施例公开了，移动组件6包括固定在主机架1底端的支撑板12，支撑板12的一端侧壁对称固定有后轮支杆13，且其另一端固定有前轮支杆15，后轮支杆13和前轮支杆15远离支撑板12的一端分别连接有万向双刹脚轮14和重载型福马轮16；
本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种应用于半导体工艺设备的助力装置，包括主机架(1)，其特征在于：所述主机架(1)的下端通过螺栓固定有移动组件(6)，所述主机架(1)的一侧通过螺栓固定有升降滑轨组件(2)，且所述主机架(1)另一侧通过螺栓连接有控制升降滑轨组件(2)移动的双向自锁升降机构(3)，且升降滑轨组件(2)和双向自锁升降机构(3)通过钢丝绳连接，所述升降滑轨组件(2)的表面连接有水平导向机构(4)，所述水平导向机构(4)的一端连接有回转夹紧机构(5)。2.根据权利要求1所述的一种应用于半导体工艺设备的助力装置，其特征在于：所述水平导向机构(4)有滑块和导向圆柱轴组成。3.根据权利要求2所述的一种应用于半导体工艺设备的助力装置，其特征在于：所述回转夹紧机构(5)包括固定块和其上端通过螺纹连接的夹紧手柄(7)，所述固定块的一侧远离夹紧手柄(7)的一端固定有蝶形铰链(8)，所述蝶形铰链(8)的上端通过连接板固定有夹紧把手型轴承(9)，所述夹紧把手型轴承(9)套设在导向圆柱轴表面，所述连接板远离夹紧手柄(7)的一侧...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨忠心，
申请(专利权)人：无锡宇邦半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。