一种防止真空腔体漏气的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种防止真空腔体漏气的装置，其特征在于，包括可拆卸连接在真空腔体上的底板，所述底板设有若干通孔，所述通孔连接有螺栓，所述螺栓的头端部为圆盘状，该头端部的下表面设有一圈或多圈凹槽，所述螺栓的螺杆部内部中空，且其外侧面设有螺纹，在所述螺栓的头端部和所述底板之间设有垫片。本实用新型专利技术的螺栓头端部的下表面设有若干凹槽，使得螺栓头端部下表面与垫片接触面积小，在相同的作用力下，受力面积越小压强越大，使得该处密封效果更好，螺栓的外螺纹与通孔之间填充有密封胶，进一步提升了连接处的密封性。进一步提升了连接处的密封性。进一步提升了连接处的密封性。

【技术实现步骤摘要】
一种防止真空腔体漏气的装置


[0001]本技术涉及真空镀膜领域，具体的说，是涉及一种防止真空腔体漏气的装置。

技术介绍

[0002]真空镀膜技术是指在真空条件下对薄膜等基材进行镀膜，主要机理为，将金属镀料熔融或气化成金属原子或原子团，使其层积在真空腔体内的基材表面上，从而使得该基材表面形成一层致密的金属层。
[0003]真空蒸镀系统均设有一真空腔体，该真空腔体内部设置镀膜用的辊，真空腔体外则连接多种设备，包括普冷制冷设备、深冷制冷设备和真空气泵等，普冷制冷主要用于给腔体内的辊降温，深冷制冷设备负责将真空腔体内的水汽等降温凝结成冰粒，真空气泵则将真空腔体内抽真空的同时将冰粒除去，达到去除水份的目的。
[0004]可见，深冷制冷设备分布在真空腔体外，两个设备之间不可避免的会存在连接口，现有技术常常采用焊接的方式进行连接，但是由于真空腔体为不锈钢，深冷制冷设备与真空腔体接触连接的部分为铜，导致焊接难度大，若焊接效果不佳，则存在漏气的风险，当出现漏气时，会影响成品金属薄膜的物理或化学性质；且焊接的成本高，不够经济实用。
[000本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防止真空腔体漏气的装置，其特征在于，包括可拆卸连接在真空腔体上的底板，所述底板设有若干通孔，所述通孔连接有螺栓，所述螺栓的头端部为圆盘状，该头端部的下表面设有一圈或多圈凹槽，所述螺栓的螺杆部内部中空，且其外侧面设有螺纹，在所述螺栓的头端部和所述底板之间设有垫片。2.根据权利要求1所述的一种防止真空腔体漏气的装置，其特征在于，所述底板上对称设有两个所述通孔，且所述底板的中心位于两个通孔的中心连接线上。3.根据权利要求1所述的一种防止真空腔体漏气的装置，其特征在于，所述螺栓的外螺纹与所述通孔之间填充有密封胶。4.根据权利要求1所述的一种防止真空腔体漏气的装置，其特征在于，当所述螺栓的头端部下表面设有多圈凹槽时，相邻两圈所述凹槽的间隔相等。5.根据权利要求1所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：臧世伟，王斐，
申请(专利权)人：重庆金美新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：