氦离子化检测器制造技术

本实用新型专利技术提供一种氦离子化检测器，包括衬底、激发电极对、进气管、偏置电极及收集电极；衬底中具有腔室，腔室包括激发电极沟道、进气沟道及出气沟道，激发电极沟道与出气沟道相连通构成第一交汇区，进气沟道与出气沟道相连通构成第二交汇区；激发电极对的激发电极区位于第一交汇区；进气管为具有相同形貌且相向设置的第一进气管及第二进气管，可向第二交汇区提供具有相同压强的辅助载气及样品载气；偏置电极及收集电极位于出气沟道中，且设置于第二交汇区外侧远离第一交汇区处。本实用新型专利技术可在腔室中形成高压“准零流速区”，有利于激发氦等离子体，且此区域氦气流速极低，有利于稳定氦等离子体基团，进而可降低基线噪声。进而可降低基线噪声。进而可降低基线噪声。

【技术实现步骤摘要】
氦离子化检测器


[0001]本技术涉及微电子机械系统领域，特别是涉及一种氦离子化检测器。

技术介绍

[0002]气相色谱检测器是气相色谱系统的核心器件之一，其主要功能是对分离后的样品进行检测。随着色谱柱微型化的发展与应用，一些传统气相色谱检测器也开始向着微型化发展。由于气相色谱技术用途广泛，涉及石油化工、环境监测和医药研究等各个领域，所需检测的气体种类繁多，因此理想的气相色谱检测器应该具备通用性强、灵敏度高的特点。
[0003]传统的气相色谱检测器如热导池检测器(TCD)具有良好的通用性，但灵敏度较低；氢火焰离子化检测器(FID)对有机物的灵敏度高，但对无机物的灵敏度非常低。由于氦的电离电位高达24.58eV，亚稳态氦的激发电位也高达19.8eV，因此氦离子化检测器可以检测除氦以外几乎所有的无机和有机气体，几乎没有选择性，从而具有非常广泛的应用领域，从而氦离子化检测器因其通用性好及灵敏度高的特性，可作为一种理想的气相色谱检测器。
[0004]氦离子化检测器首先要激发等离子体，由于等离子体基团含有正、负离子，等离子体基团的紊乱会对本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种氦离子化检测器，其特征在于，所述氦离子化检测器包括：衬底，所述衬底中具有腔室，所述腔室包括激发电极沟道、进气沟道及出气沟道，所述激发电极沟道与所述出气沟道相连通构成第一交汇区，所述进气沟道与所述出气沟道相连通构成第二交汇区；激发电极对，所述激发电极对位于所述激发电极沟道中，且所述激发电极对的激发电极区位于所述第一交汇区；进气管，所述进气管位于所述进气沟道中，所述进气管包括第一进气管及第二进气管，所述第一进气管及第二进气管具有相同形貌且相向设置，以分别向所述第二交汇区提供具有相同压强的辅助载气及样品载气；偏置电极及收集电极，所述偏置电极及收集电极位于所述出气沟道中，且设置于所述第二交汇区外侧远离所述第一交汇区处。2.根据权利要求1所述的氦离子化检测器，其特征在于：所述激发电极沟道包括第一激发电极沟道及第二激发电极沟道，且所述第一激发电极沟道及第二激发电极沟道相向设置位于所...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯飞，刘启勇，
申请(专利权)人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所，
类型：新型
国别省市：