一种基于人工表面等离激元的高Q值谐振器制造技术

本发明专利技术提供一种基于人工表面等离激元的高Q值谐振器，该谐振器包括两个同心金属圆环即位于中心的小金属圆环、大金属圆环，在该二者之间设有第一金属光栅、第二金属光栅，在大金属圆环的左右两侧对称分布有两个金属弧、阻抗匹配枝节、微带线；以上金属结构设置在介质板上部，介质板下部设置有第一金属层。该谐振器电尺寸小，谐振强度大，品质因数高，且结构简单，改变谐振器上方或介质层介电常数，谐振频率发生偏移，可以实现高灵敏度的传感检测，通过等比例缩放表面等离激元结构可将工作频率扩展到太赫兹、微波以及毫米波频段。微波以及毫米波频段。微波以及毫米波频段。

【技术实现步骤摘要】
一种基于人工表面等离激元的高Q值谐振器


[0001]本专利技术是一种环形谐振器，特别是一种基于人工表面等离激元的内外环耦合高Q值谐振器，属于微电子集成电路器件制造的


技术介绍

[0002]表面等离激元是一种沿着金属与介质分界面传播的电磁振荡，在近红外、光波段等高频段具有高束缚性、短工作波长、高频截止等优良传播特性，在改善传播效率、提高电路集成度和传感器等方面具有广泛的应用前景。
[0003]为了将表面等离激元的优良性质应用在微波毫米波等低频段，人工表面等离激元被提出并设计出来。根据传输性能的不同，人工表面等离激元可以分为人工表面等离极化激元和人工局域表面等离激元，人工局域表面等离激元具有良好的谐振特性、对周围环境变化灵敏度高，通过结构设计优化，人工局域表面等离激元结构可以实现高Q值的谐振特性和优良的滤波特性，在谐振器设计、传感器设计等研究领域具有广泛的应用。

技术实现思路

[0004]技术问题：本专利技术的目的在于提供一种具有高品质因数的谐振器，该谐振器采用内外谐振环相互交齿产生强耦合的设计理念，将电磁波束缚在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于人工表面等离激元的高Q值谐振器，其特征在于，该高Q值谐振器包括两个同心金属圆环，即位于中心的大金属圆环（1）、位于大金属圆环（1）内的小金属圆环（3）；在大金属圆环（1）与小金属圆环（3）之间设有两种间隔分布的金属光栅，即第一金属光栅（2）和第二金属光栅（4）；在大金属圆环（1）的左右两侧对称分布有两个金属弧（5），在两个金属弧（5）外侧分别设有一个阻抗匹配枝节（6），在两个阻抗匹配枝节（6）的外端分别设有一根微带线（7）；大金属圆环（1）、小金属圆环（3）、第一金属光栅（2）、第二金属光栅（4）、金属弧（5）、阻抗匹配枝节（6）和微带线（7）设置在介质板（9）上部，介质板(9)下部设有第一金属层(10)。2.如权利要求1所述的一种基于人工表面等离激元的高Q值谐振器，其特征在于：所述第一金属光栅（2）的外端与大金属圆环（1）的内侧相接，第一金属光栅（2）内端向圆心方向延伸，与小金属圆环（3）之间留出一个间隙；所述第一金属光栅（2）沿大金属圆环的内圆周向周期排列。3.根据权利要求1所述的一种基于人工表面等离激元的高Q值谐振器，其特征在于，所述第二金属光栅（4）的内端与小金属圆环（3）的外侧相接，第二金属光栅（4）外端沿圆的直径方向外延伸，与大金属圆环（1）的内圆之间留出一个间隙；所述第二金属光栅（4）沿小金属圆环（3）的外圆周向周期排列。4.根据权利要求1所述的一种基于人工表面等离激元的高Q值谐振器，其特征在于，所述金属弧（5）外侧分别设有阻抗匹配枝节（6）以及与阻抗匹配枝节（6）的外侧连接的微带线（7），其长度方向沿大金属圆环（1）和小金属圆环（3）直径方向设置。5.根据权利要求1所述的一种基于人工表面等离激元的高Q值谐振器，其特征在于，所述大金属圆环（1）、小金属圆环（3），通过缩小其二者的直径可以使得谐振频率增加，缩小大金属圆环（1）与小金属圆环（3）直径的差值可以增大谐振强度与谐振Q值。6.根据权利要求1所述的一种基于人工表面等离激元...

【专利技术属性】
技术研发人员：鲍迪，汪江鹏，崔铁军，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：