一种表面带有凹部的镜片抛光垫制造技术

本实用新型专利技术公开了一种表面带有凹部的镜片抛光垫，包括旋转盘和抛光垫，所述旋转盘由下壳体、上壳体、凸台、弧板和顶杆组成，上壳体安装于下壳体内的中部，上壳体的侧壁开设第一板孔，凸台设于上壳体内的中部，凸台的侧壁开设第二板孔，弧板设于凸台的旁侧，弧板的一端插入第一板孔中，弧板的另一端插入第二板孔中。本表面带有凹部的镜片抛光垫，实现对抛光垫便捷安装的同时，可提高抛光垫排除废屑浆料的能力，进而大大延长抛光时长、效率，具有安装便捷、使用方便的优点。使用方便的优点。使用方便的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种表面带有凹部的镜片抛光垫


[0001]本技术涉及抛光垫
，具体为一种表面带有凹部的镜片抛光垫。

技术介绍

[0002]化学机械抛光是将机械研磨作用和化学氧化作用结合来去除被加工工件表面材料的一种微纳米加工技术，该技术可以使被加工工件表面超平坦、超光滑，主要应用于IC和MEMS制造领域。
[0003]抛光垫是化学机械抛光中决定表面光滑的重要辅件，其安装是否便捷，使用是否方便关系到抛光作业的正常运行，而且长时间、高频率的抛光过程中，抛光垫表面因被料屑堵塞，导致其排除废屑浆料的能力降低，导致抛光率随时间下降。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种表面带有凹部的镜片抛光垫，实现对抛光垫便捷安装的同时，可提高抛光垫排除废屑浆料的能力，进而大大延长抛光时长、效率，具有安装便捷、使用方便的优点，可以解决现有技术中的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种表面带有凹部的镜片抛光垫，包括旋转盘和抛光垫，所述旋转盘由下壳体、上壳体、凸台、弧板和顶杆组成，上壳体安装于下壳体内的中部，上壳体的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种表面带有凹部的镜片抛光垫，包括旋转盘(1)和抛光垫(2)，其特征在于：所述旋转盘(1)由下壳体(11)、上壳体(12)、凸台(13)、弧板(14)和顶杆(15)组成，上壳体(12)安装于下壳体(11)内的中部，上壳体(12)的侧壁开设第一板孔(121)，凸台(13)设于上壳体(12)内的中部，凸台(13)的侧壁开设第二板孔(131)，弧板(14)设于凸台(13)的旁侧，弧板(14)的一端插入第一板孔(121)中，弧板(14)的另一端插入第二板孔(131)中，凸台(13)的中部开设圆槽(132)，圆槽(132)的内侧壁上开设杆孔(133)，凸台(13)内开设杆腔(134)，杆腔(134)连通第二板孔(131)与杆孔(133)，顶杆(15)安装于杆腔(134)内，顶杆(15)的一端插入第二板孔(131)中，并与弧板(14)连接，顶杆(15)的另一端插入杆孔(133)中，并伸入圆槽(132)内；所述抛光垫(2)的背部设有弧形垫(21)，弧形垫(21)与下壳体(11)底部开设的弧形孔(111)对应匹配，弧形垫(21)嵌入弧形孔(...

【专利技术属性】
技术研发人员：李加海，谭鸿，
申请(专利权)人：安徽禾臣新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：