传送装置制造方法及图纸

提供一种张开时可增加传送臂长度但不增加其收拢时尺寸的传送装置。该传送装置（４）有一传送臂（１７），该传送臂（１７）包括：二根共轴或平行布置的转轴（５、６）；一对第一臂（７、８），其一端各自固定到转轴（５、６）上；一对第二臂（１０、１１），其一端通过柱销各自连接该对第一臂（７、８）的另一端；及一夹持部分（１４），可夹持待处理目的物，该夹持部分（１４）由柱销连接到该对第二臂（１０、１１）各自的另一端，其特征在于，第二臂（１０、１１）彼此交叉。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术一般涉及对具有所谓蛙腿式传送臂的传送装置的改进。
技术介绍
在例如半导体器件生产时，传送装置用于传递待处理的物体，如半导体晶片。作为其一例，具有蛙腿式传送臂的传送装置公开在日本专利公开号A-129685(在前)和日本专利公开号6-15592(在后)中。公开在前一篇出版物中的传送装置包括一传送臂，该传送臂包括一对由两根平行轴组成的小转轴，这两根轴以一定间隔安装到一根大的转轴上同时反向旋转；第一臂，其一端安装到这对小转轴上；第二臂，其一端用柱销连接第一臂的另一端；及一夹持晶片的拾取工具，该拾取工具用柱销连接第二臂的另一端。此外，第一臂的另一端用柱销连接，与第二臂反方向的第三臂的一端，而第三臂另一端用柱销连接拾取工具。后一篇出版物中公开的传送装置包括一中央套筒；一对摇臂，安装后可与套筒共轴旋转；两个拾取工具，它们彼此相隔180°放置；一个将每一拾取工具与相应摇臂的一端连接起来的连接杆；及一传动装置，可使各摇臂反方向转动，从而使一个或另一拾取工具从中央套筒沿径向伸出，并且以同方向转动从而使拾取工具共轴转动。这种传送装置例如形成在传送室中央，并通过将传送臂在收拢状态下的旋转与传送臂的伸缩结合起来把晶片运送到处理室、装载固定室等，安放在传送室周围的操作室中。但是，上面描述的二种传送装置由于考虑到传送臂在收拢时的尺寸在它张开时长度不够长。换言之，如果为了使传送臂张开时有大的长度，传送臂在收拢时的尺寸也加大了，因此存在一个问题，即可旋转地收容处于收拢状态的传送臂的传送室的大小也不可避免地要加大。
技术实现思路
因此本专利技术的目的是要消除上述问题，并提供一种其传送臂在张开时所增加长度而收拢时尺寸不增加的传送装置。为了达到上述的和另外的目的，根据本专利技术的第一方面，传送装置包括传送臂，该传送臂包括二根共轴或平行的转轴；一对第一臂，其一端固定到转轴上；一对第二臂，其一端用柱销分别连接该对第一臂的另一端；及一夹持部分，可夹持待处理目的物，该夹持部分通过柱销连接该对第二臂的另一端，其特征在于，第二臂互相交叉。根据本专利技术的第一方面，传送装置还可包括第二传送臂，该第二传送臂包括一对第三臂，与第二臂方向相反，且第三臂的一端通过柱销分别连接该对第一臂的另一端；及第二夹持部分，用于夹持待处理目的物，该第二夹持部分各用柱销连接该对第三臂的另一端，其特征在于，第三臂互相交叉。根据本专利技术第二方面，传送装置包括一传送臂，该传送臂包括二根平行的转轴；一对第一臂，其一端分别固定到转轴上；一对第二臂，其一端用柱销分别连接该对第一臂的另一端；及一夹持部分，可夹持待处理目的物，该夹持部分用柱销连接到该对第二臂各自的另一端，其特征在于，第一臂互相交叉。在本专利技术的第二方面中，传送装置还可包括第二传送臂，该第二传送臂包括与第二臂反方向的一对第三臂，第三臂的一端用柱销分别连接该对第一臂的另一端；及第二夹持部分，用于夹持待处理目的物，该第二夹持部分用柱销连接该对第三臂的各另一端。在本专利技术的第二方面中，第一臂中有一条可具有旁路部分，以免与第一臂的另一条的转轴相碰。根据本专利技术的第三方面，传送装置包括一传送臂，该传送臂包括；一对可移动体，可彼此靠近或离开；一对臂，其一端通过柱销分别连接这对可移动体；一夹持部分，可夹持待处理目的物，该夹持部分通过柱销连接这对臂的另一端，其特征在于，这对臂互相交叉。附图说明图1是一示意图，示出有根据本专利技术所述传送装置第一优选实施方式的处理装置的一例；图2是图1的传送装置的平面图；图3是图2的纵剖面图；图4是一平面图，示出用柱销与拾取工具基部连接的一对前端连接的同步反向装置的一例；图5是一平面图，示出传送臂张开状态；图6是一平面图，示出根据本专利技术所述传送装置第二优选实施方式；图7是图6的纵剖面图；图8是一平面图，示出传送臂张开状态；图9是一示意图，将根据本专利技术所述传送装置的传递行程与传统传送装置的传递行程作比较；及图10是一平面图，示意表示根据本专利技术所述传送装置的第三优选 具体实施例方式现在参看附图，本专利技术优选实施方式将在下面详细说明。图1是一示意图，示出具有根据本专利技术所述传送装置第一优选实施方式的处理装置一例，图2是图1的传送装置的平面图。图3是图2的纵剖面图，图4是平面图，示出用于通过柱销而与拾取工具基部相连的一对第二臂的同步反向装置一例。图5是平面图，示出传送臂张开状态。图1中，标号1表示真空处理装置，是处理装置一例。真空处理装置1包括几个处理室2(本实施方式中示出4个处理室2a、2b、2c、2d)，每个处理室中安放一件待处理目的物，如半导体晶片W，逐一进行预定的处理；一个传送室5，它有一个传送装置4，用于将晶片W传递到各传送室2a、2b、2c、2d和后面将要说明的装载固定室3a、3b；及二个装载固定室3a、3b(例如有二个)，用于从大气压的外界将晶片W运送到传送室5，并将传送室5中的晶片W送到大气压下的外界。传送室5的平面形状是六角形。处理室2a、2b、2c、2d分别通过闸阀G1-G4连接传送室5外周面的4个表面。将晶片W送进取出的装载固定室3a、3b分别通过闸阀G5、G6连接传送室5外周面的另外二个表面。装载固定室3a、3b上分别有面向外的晶片进入孔和开闭此晶片进入孔的闸阀G7、G8。处理室2a、2b、2c、2d及装载固定室3a、3b沿传送室5的径向布置在其四周。传送装置4安放在传送室5的中央。传送装置4有一传送臂(第一传送臂)17，它包括第一臂7和8，其一端固定到由二跟共轴或平行的轴(本实施方式是共轴)组成的转轴5、6上；第二臂10、11，其一端分别通过柱销12、13连接第一臂7、8的另一端，以便在水平面内转动；及一夹持部分(第一夹持部分)，如拾取工具(第一拾取工具)14，用于夹持待处理目的物，如半导体晶片W，该夹持部分14通过柱销15和16连接第二臂10、11的另一端。从而可在水平面内转动。此外，轴是柱销的基底。详细讲，为了加大传送臂17在张开时的长度又不增加它在收拢时的尺寸，第二臂10和11彼此交叉。这就是说，在传统的传送装置的传送臂17′中，第二臂10′和11′不互相交叉，如图9(a)所示，而在本优选实施方式的传送装置的传送臂17中，第二臂10和11互相交叉，如图9(b)所示。在图9(a)和9(b)中，与拾起工具14相连的第二臂10(10′)和11(11′)的前端部分(另一端)之间(二柱销之间)的距离d是相同的。但第二臂10和11设计成在收拢状态互相交叉，致使其前端部分可与柱销15和16之间连接。这样，本优选实施方式的传送装置传送臂17张开时的长度比传统传送装置传送臂17′加长g。为将拾起工具14固定在径向(张开方向)而不管传送臂17是在作张开/收拢运动，如图4所示，在用柱销15和16连接到拾起工具14的基部14a的第二臂10、11的前端部分上形成互相啮合的二个齿轮20和21，作为同步反向装置，使第二臂10和11的前端部分之一的转向与另一个相反。作为同步反向装置，皮带轮可形成在第二臂10和11的前端部分，以便将一根环行皮带以8字型绕在皮带轮之间，或者将两条金属带，如不锈钢带安放在两个垂直方向位置偏移的皮带轮之间，将金属带卷成反方向S形，而把每条金属带的两端分别固定到皮带轮上。为防止一第二臂10在收拢时因第二本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种传送装置，包括一传送臂，该传送臂包括：二根共轴或平行布置的转轴；一对第一臂，其一端分别固定于所述转轴；一对第二臂，其一端通过柱销分别连接上述所述一对第一臂的另一端；和一夹持部分，可夹持待处理目的物，所述夹持部分由柱销连接所述一对第二臂各自的另一端，其特征在于，所述第二臂相互交叉。

【技术特征摘要】
JP 2002-9-30 2002-2867971.一种传送装置，包括一传送臂，该传送臂包括二根共轴或平行布置的转轴；一对第一臂，其一端分别固定于所述转轴；一对第二臂，其一端通过柱销分别连接上述所述一对第一臂的另一端；和一夹持部分，可夹持待处理目的物，所述夹持部分由柱销连接所述一对第二臂各自的另一端，其特征在于，所述第二臂相互交叉。2.如权利要求1所述的传送装置，其特征在于，还包括第二传送臂，该第二传送臂包括一对第三臂，与所述第二臂方向相反且所述第三臂的一端分别由柱销连接所述一对第一臂的另一端；及第二夹持部分，可夹持待处理目的物，该第二夹持部分用柱销连接所述一对第三臂各自的另一端，其特征在于，所述第三臂彼此交叉。3.一种传送装置，包括一传送臂，该传送臂包括二根平行的转轴；一对第一臂，其一端分别固定到所述转轴上；一对第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐伯弘明，浅川辉雄，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]