【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于红外传感系统的具有抗反射、反射和吸收层的硬化光学视窗
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请主张于2019年6月5日提交的第62/857,502号美国临时申请的优先权,依靠其内容并通过引用以其整体并入本文中。
技术介绍
[0003]光探测和测距(“LIDAR”)系统包括激光和传感器。激光器发射激光束,该激光束可能从物体上反射下来,而传感器检测反射的激光束。激光束被脉冲化或以其他方式分布在一个径向范围内,以检测视场内的物体。关于物体的信息可以从检测到的反射激光束的性质中破译。物体与激光束的距离可以根据从发射激光束到检测到反射激光束的飞行时间来确定。如果物体在移动,可根据作为时间的函数的被反射和检测到的发射的激光束的径向位置的变化以及多普勒频率测量来确定物体的路径和速度。
[0004]汽车中的LIDAR系统和诸如航空航天或家庭安全应用之类的在暴露环境中的其他红外传感系统需要例如用覆盖透镜或覆盖玻璃视窗使其免受环境和各种破坏源的影响。车辆是LIDAR系统的另一个潜在应用,LIDAR系统提供空间测绘能力,以实现辅助、半自动或完全自动驾驶。在这种应用中,激光发射器和传感器被安装在车辆的车顶或车辆的低前部上。考虑了将发射诸如905nm或1550nm之类的波长在可见光范围之外的电磁辐射的激光器用于车辆LIDAR应用。为了保护激光器和传感器免受岩石和其他物体的冲击,将视窗放置在激光器和传感器与激光器和传感器的视线内的外部环境之间。对于诸如航空航天或家庭安全应用之类的LIDAR系统的其他应用,类似地将窗口放置在激光器/传 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于传感系统的视窗,包括:基板,所述基板包括折射率、第一表面、和第二表面,所述第一表面和所述第二表面是所述基板的主表面;分层膜,所述分层膜设置在所述基板的所述第一表面上,所述分层膜包括一种或多种更高折射率的材料和一种或多种更低折射率的材料的交替层,所述一种或多种更高折射率的材料和所述一种或多种更低折射率的材料中的每一者具有折射率,并且所述一种或多种更高折射率的材料的折射率大于所述一种或多种更低折射率的材料的折射率;和在所述分层膜处并由Berkovich压头硬度测试测量的至少8GPa的最大硬度,其中所述分层膜的所述交替层的数量、厚度、和材料经配置使得所述视窗具有:对于波长为1550nm的电磁辐射,在正常入射或者接近正常入射时大于75%的平均百分比透射率;和对于波长为1550nm的电磁辐射,在0
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的范围内的任一入射角时小于10%的平均百分比反射率。2.如权利要求1所述的视窗,其中所述基板具有与所述第一表面毗邻且处于压缩应力下的区域,并且所述压缩应力的最大绝对值是至少600MPa。3.如前述权利要求中任一项所述的视窗,其中所述基板是玻璃基板。4.如前述权利要求中任一项所述的视窗,其中所述基板具有在约100μm和约5mm之间的厚度。5.如前述权利要求中任一项所述的视窗,其中所述基板对于波长为1550nm的电磁辐射的所述折射率是从约1.45至约1.55。6.如前述权利要求中任一项所述的视窗,其中所述一种或多种更高折射率的材料的所述折射率是从约1.7至约4.0,并且其中所述一种或多种更低折射率的材料的所述折射率是从约1.3至约1.6。7.如前述权利要求中任一项所述的视窗,其中所述一种或多种更高折射率的材料中的任一者与所述一种或多种更低折射率的材料中的任一者之间的所述折射率的差是约0.5或更大。8.如前述权利要求中任一项所述的视窗,其中所述一种或多种更低折射率的材料包括SiO2,并且其中所述一种或多种更高折射率的材料包括Si3N4。9.如前述权利要求中任一项所述的视窗,其中所述分层膜中离所述基板最远的层形成所述视窗的端面材料,所述视窗的所述端面材料包括所述更低折射率的材料,并且其中所述一种或多种更低折射率的材料的层直接设置在所述基板的所述第一表面上。10.如前述权利要求中任一项所述的视窗,其中在所述分层膜处并由Berkovich压头硬度测试测量的所述最大硬度是至少12GPa。11.如前述权利要求中任一项所述的视窗,其中所述一种或多种更高折射率的材料的层中的一者具有约500nm和约10,000mm之间的厚度。12.如前述权利要求中任一项所述的视窗,其中所述一种或多种更高折射率的材料的至少一层是所述分层膜的厚度的65%或更大。13.如前述权利要求中任一项所述的视窗,其中所述分层膜中离所述基板最远的层形成所述视窗的端面材料,所述视窗的所述端面材料包括所述更低折射率的材料,并且其中
所述端面材料具有约150nm和约310nm之间的厚度。14.如前述权利要求中任一项所述的视窗,其中所述分层膜的所述交替层的数量、厚度、和材料经配置使得所述视窗具有:对于波长为1500nm至1600nm的范围内的任一波长的电磁辐射,在正常入射或者接近正常入射时大于75%的平均百分比透射率;和对于波长为1500nm至1600nm的范围内的任一波长的电磁辐射,在0
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的范围内的任一入射角时小于10%的平均百分比反射率。15.如前述权利要求中任一项所述的视窗,其中所述分层膜的所述交替层的数量、厚度、和材料经配置使得所述视窗具有:对于波长为905nm和1550nm的电磁辐射,在正常入射或者接近正常入射时大于75%的平均百分比透射率;和对于波长为905nm和1550nm的电磁辐射,在0
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的范围内的任一入射角时小于10%的平均百分比反射率。16.如前述权利要求中任一项所述的视窗,其中所述分层膜的所述交替层的数量、厚度、和材料经配置使得所述视窗对于波长为880nm至1580nm、或者850nm至1800nm的范围内的任一波长的电磁辐射在正常入射或者接近正常入射时的平均百分比透射率大于75%。17.如前述权利要求中任一项所述的视窗,其中所述分层膜的所述交替层的数量、厚度、和材料经配置使得所述视窗具有:对于波长为300nm至600nm的范围内的任一波长的电磁辐射,在正常入射或者接近正常入射时小于10%的平均百分比透射率;和对于波长为300nm至600nm的范围内的任一波长的电磁辐射,在0
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的范围内的任一入射角时大于80%的平均百分比反射率。18.如前述权利要求中任一项所述的视窗,进一步包括:第二分层膜,所述第二分层膜设置在所述基板的所述第二表面上,所述第二分层膜包括所述一种或多种更高折射率的材料和所述一种或多种更低折射率的材料的交替层,所述一种或多种更高折射率的材料和所述一种或多种更低折射率的材料中的每一者具有折射率,并且所述一种或多种更...
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