一种灰尘清洁系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种灰尘清洁系统。该灰尘清洁系统包括灰尘收集装置、射频电离发生装置及吸尘装置；灰尘收集装置包括至少一个吸气管道和至少一个吹气管道；吹气管道与吸气管道相邻排布；吸气管道的第一侧壁上沿径向开设有至少一个吸尘通孔；各吹气管道的第二侧壁上沿径向开设有至少一个吹扫通孔；射频电离发生装置与吹扫通孔连通，射频电离发生装置产生的射频离子风通过吹扫通孔吹向待清洁部；吸尘装置与吸尘通孔连通，吸尘装置通过所述吸尘通孔收集电离后的待清洁部的灰尘。本方案可以达到沿管道侧壁吹扫灰尘，实现了各四周环境下灰尘的有效清洁。有效清洁。有效清洁。

【技术实现步骤摘要】
一种灰尘清洁系统


[0001]本技术实施例涉及灰尘清洁技术，尤其涉及一种灰尘清洁系统。

技术介绍

[0002]现有真空设备生产过程中受到灰尘(Particle)影响极大，如内部存在有灰尘残留极易导致产品失效。现有灰尘处理方式主要包含有两种方法：干式清洁：采用具有负压的设备将设备内部的灰尘去除；湿式清洁：采用酒精等易挥发液态进行内部擦拭，从而实现灰尘去除。但实际操作过程中由于真空设备内部结构复杂，空间尺寸较小、灰尘直径较小，难以达到较高的清洁程度。

技术实现思路

[0003]本技术提供了一种灰尘清洁系统，以实现复杂结构、各四周环境下灰尘的有效清洁。
[0004]本技术实施例提供了一种灰尘清洁系统，该灰尘清洁系统包括：灰尘收集装置、射频电离发生装置及吸尘装置；
[0005]所述灰尘收集装置包括至少一个吸气管道和至少一个吹气管道；所述吹气管道与所述吸气管道相邻排布；所述吸气管道的第一侧壁上沿径向开设有至少一个吸尘通孔；各所述吹气管道的第二侧壁上沿径向开设有至少一个吹扫通孔；
[0006]所述射频电离发生装置与所述吹本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种灰尘清洁系统，其特征在于，包括：灰尘收集装置、射频电离发生装置及吸尘装置；所述灰尘收集装置包括至少一个吸气管道和至少一个吹气管道；所述吹气管道与所述吸气管道相邻排布；所述吸气管道的第一侧壁上沿径向开设有至少一个吸尘通孔；各所述吹气管道的第二侧壁上沿径向开设有至少一个吹扫通孔；所述射频电离发生装置与所述吹扫通孔连通，所述射频电离发生装置产生的射频离子风通过所述吹扫通孔吹向待清洁部；所述吸尘装置与所述吸尘通孔连通，所述吸尘装置通过所述吸尘通孔收集电离后的所述待清洁部的灰尘。2.根据权利要求1所述的灰尘清洁系统，其特征在于，所述吸尘通孔及所述吹扫通孔分布在同一平面。3.根据权利要求1所述的灰尘清洁系统，其特征在于，所述吸气管道表面及所述吹气管道表面共同形成连续凹凸表面，所述吸尘通孔开设在所述连续凹凸表面的相对凹处，所述吹扫通孔开设在所述连续凹凸表面的相对凸处。4.根据权利要求1所述的灰尘清洁系统，其特征在于，所述吸气管道的第一侧壁沿轴向设置有多个吸尘通孔；所...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱颖晖，徐志斌，祝晓钊，王艳华，
申请(专利权)人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司，
类型：新型
国别省市：