【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于热测试领域热电偶的制作方法及其装置，特别涉及-种利用电化学法电解蚀刻普通热偶丝从而加工出直径在数十微米到数纳米范围的对微小区域温度变化能够快速响应的微/纳米级的超微型热电偶的电化学制备方法及其制备装置。
技术介绍
当前自然科学与工程技术发展的一个重要趋势是朝微型化迈进，其中对超微区域或超快速过程温度进行测量是一大类重要问题，比如微尺度传热学实验中极富挑战性的课题之一是测量材料在纳米空间和/或纳秒时间尺度内的温度及其相关信息；另外，在许多微/纳米器件应用场合，也需要对极细微区域内的温度信息进行准确而迅速的测定。显然这些情况下所采用的温度传感器必须是体积尺寸相当微小的器件。常见的水银或酒精温度计，是以封闭在玻璃泡内的液体随温度升降而产生的体积变化(表现为玻璃毛细管内水银或酒精柱位置的变化)来表示温度的高低；电阻温度计，是利用某些导电物质如铂或铜的电阻值随温度变化的特性，由测量其电阻值并经过换算得到温度值；热电偶温度计是由两种不同物质构成电回路，以其结合点在不同温度下产生热电势的原理来测量温度。以上的各种温度计在测量流体或固体的温度时，由于温度计本身具...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种超微型热电偶电化学制作方法，其特征在于，将一对热电偶丝长度为1-100毫米的测温段作为阳极放入流动的电解液中，进行电化学腐蚀，将该测温段的截面直径电解腐蚀至10-5-0.05毫米；然后将该测温段的端部加热键合在一起形成测温结点；或者将一对热电偶丝的端部加热键合在一起形成测温结点，再将距该测温结点1-100毫米的测温段作为阳极放在流动的电解液中，进行电化学腐蚀，使该测温段的截面直径电解腐蚀至10-5-0.05毫米。2.按权利要求1所述的超微型热电偶电化学制作方法，其特征在于，所述测温结点是在真空下加热键合构成热电偶的测温结点。3.按权利要求1所述的超微型热电偶电化学制作方法，其特征在于，所述测温结点是在室温下用呈液态的金属镓粘接构成热电偶的测温结点。4.按权利要求1所述的超微型热电偶电化学制作方法，其特征在于，所述电解液为中性盐水溶液或酸性电解液；5.按权利要求4所述的超微型热电偶电化学制作方法，其特征在于，所述中性盐水溶液为重量百分比浓度为1-50％的NaCl溶液或NaNO3溶液。6.按权...
【专利技术属性】
技术研发人员：周一欣，刘静，
申请(专利权)人：中国科学院理化技术研究所，
类型：发明
国别省市：
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