平板显示器制造装置制造方法及图纸

一种平板显示器制造装置，包括：　　　　在其中执行工艺的工艺室；　　　　设置在工艺室的衬底支撑板，其中待加工的衬底安装在衬底支撑板上；　　　　转移室，通过它衬底从外部进入工艺室或通过它衬底从工艺室排出到外部；　　　　其上安装衬底的第一载板和第二载板，其中第一和第二载板的每个具有其端部从转移室导向工艺室的叉形；　　　　设置在转移室的机器人，其中机器人包括其端部从转移室导向工艺室的机械手，并且其中机械手在转移室和工艺室之间往复运动，从而机器人转移第一和第二载板；　　　　设置在转移室和工艺室的载板提升杆，其中在避免与机械手的叉头接触的同时载板提升杆抬起和下降，因此安装在机械手上的第一和第二载板可以抬起和下降；以及　　　　设置在转移室和工艺室的衬底提升杆，其中在避开机械手的叉头、第一载板和第二载板的同时衬底提升杆抬起和下降，因此安装在载板上的衬底可以抬起和下降。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种平板显示器(在下文中称为平板显示器)制造装置，更具体地，涉及一种能够把用于转移衬底的装料锁定室和转移室合并成一个单个的转移室并能够转移大面积衬底并阻止大面积衬底弯曲的平板显示器制造装置。
技术介绍
通常，平板显示器制造装置，比如干蚀刻器、化学蒸汽淀积装置和溅射机，包括三个真空室。三个真空室是装料锁定室、工艺室，和转移室。装料锁定室用于从外部接收待加工的衬底并且把完成加工的衬底排出到外部。工艺室通过使用等离子或者热能，用于执行薄膜沉淀工艺、蚀刻工艺等等。转移室用于把衬底从装料锁定室转移到工艺室，或者反之亦然。附图说明图1是用于说明一种传统的平板显示器制造装置的平面图。参考图1，机器人22设置在转移室20中。机器人22具有用于提升并放下玻璃衬底40的机械手22a。机械手把衬底从装料锁定室10提升并且转移到工艺室30，或者反之亦然。在工艺室30中，一系列工艺在衬底40安装在衬底支撑板36上的状态下进行。另外，借助于提升杆32或提升棒34，衬底40从衬底支撑板36抬起或者衬底40放在衬底支撑板36上。提升杆32设置在安装衬底40的衬底支撑板36外的位置，而提升棒34设置在安装衬底40的衬底支撑板之外的外侧位置。提升棒34的上端部分在水平方向倾斜。当提升棒34的倾斜端部向衬底40旋转的时候，提升棒34可以支撑衬底40。图2a到2f是用于说明在图1中所示的传统的平板显示器制造装置的一系列操作的横剖面图。当工艺在工艺室30完成的时候，安装在衬底支撑板36上的完成工艺的衬底40b，待机一秒。这时，在转移室20和工艺室30之间的门打开，于是，安装待机的衬底40a的机械手22a进入工艺室30。升起提升棒34把衬底40a抬起，于是机械手22a从工艺室30脱离回到转移室20(参见附图2a和2b)。当机械手22a回到转移室20时，安装在衬底支撑板36上的完成工艺的衬底40b通过抬起提升杆32而抬起。然后，位于转移室20的机械手22a再一次进入工艺室30。这时，提升杆32下降，以便衬底40b可以安装在机械手22a上。机械手22a回到转移室20同时带回完成工艺的衬底40b(参见附图2c和2d)。然后，关闭转移室20和工艺室30之间的门，同时，待机衬底40a通过放下提升杆32和提升棒34安装在衬底支撑板36上。之后，执行一系列工艺(参见图2e)。另一方面，位于转移室20的机械手22a把工艺完成的衬底40b安装在衬底存储地点(未示出)，此地点在装料锁定室10中，把待机衬底40c放置在它自己的手柄中并且自动旋转180度。在这个状态下，机械手22a待机在转移室20直到在工艺室30中的工艺完成为止(参见图2f)。同时，关闭装料锁定室10和转移室20之间的门之后，工艺完成的衬底40b被从装料锁定室10排出，一个新的待加工的衬底(未示出)进入装料锁定室10。按照这种方法进行交换衬底。这时，衬底优选在工艺室30执行工艺时进行交换。因此，在装料锁定室10迅速地执行所谓的排气和抽气是必要的。上述传统的平板显示器制造装置利用装料锁定室10和转移室20两个室转移衬底。因此，这个装置需要太大的空间，以致不能有效地使用空间。另外，必须设置专用部件例如真空泵、阀门、控制器等等以维持双室，以致装置的成本和平板显示器的生产成本都可能增加。况且，用来制造平板显示器的平板显示器衬底尺寸最近已经增长到大约2m×2m，这是传统尺寸的两倍。而且，预计衬底尺寸还会增加。因此，如果双室用来做大面积衬底，有一个问题那就是需要太大量的无尘室。如图3a所示，在如前所述的传统的平板显示器制造装置中，提升杆32设置在距离衬底40周围部分15mm的距离之内。换言之，提升杆32没有设置在衬底40的中心部。提升杆32不能设置在衬底中心部而设置在周围部分的原因是在设置提升杆32的位置A和没有提升杆32其它位置之间存在一个温度差或一个电位差。因此，如图3b所示，因为在位置A和其它位置间的腐蚀率不同，这样蚀刻工艺后在衬底40的表面上产生不利的斑点45。然而，衬底的尺寸近来已经增加到大约2m×2m。在大面积衬底40象传统方法一样仅通过它的周边部分支撑来抬起和转移的情况下，在衬底40的中心部发生严重的弯曲，以致衬底40可能断裂。另外，有一个严重的问题是将不可能进行衬底的转移，因为机械手不能插入衬底40的下面。专利技术概述为了解决上述的问题，本专利技术的一个目的是提供一种平板显示器制造装置，该装置能够把用于转移衬底的装料-锁定室和转移室合并为一个单个的转移室并能够阻止衬底在转移期间弯曲。为了获得此目的，本专利技术的一个方面是一种平板显示器制造装置，包括执行工艺的工艺室；设置在工艺室中的衬底支撑板，其中待加工的衬底安装在衬底支撑板上；转移室，通过它衬底从外部进入工艺室或通过它衬底从工艺室排出到外部；其上安装衬底的第一载板和第二载板，其中第一和第二载板的每一个具有叉形，其端部从转移室指向工艺室；设置在转移室的机器人，其中机器人包括其端部被从转移室指入到工艺室的机械手，其中机械手在转移室和工艺室之间往复运动，从而机器人转移第一和第二载板；设置在转移室和工艺室的载板提升杆，其中在避免与机械手的叉头接触的同时载板提升杆被抬起和下降，以使安装在机械手上第一和第二载板可以被抬起和下降；设置在转移室和工艺室的衬底提升杆，其避开机械手的叉头、第一载板和第二载板的同时衬底提升杆被抬起和下降，由此安装在机械手上载板可以被抬起和下降。本专利技术的另一个方面为一种平板显示器制造装置，包括执行工艺的工艺室；设置在工艺室的衬底支撑板，其中待加工的衬底安装在衬底支撑板上；转移室，通过它衬底从外部进入工艺室或从工艺室排出到外部；设置在转移室的机器人，其中机器人包括衬底安装其上的具有上和下托板的双托板部件，其中双托板部件在工艺室和转移室之间往复运动，并且其中上下托板的每一个具有叉形，其末端从转移室导向工艺室；设置在转移室和工艺室的内部提升杆，其中内部提升杆设置在安装于双托板部件上的衬底下面，其中内部提升杆在避免接触双托板的叉头的同时抬起和下降；设置在转移室和工艺室的外部提升杆，其中外部提升杆设置在安装在双托板部件上的衬底正下方的外侧位置，其中外部提升杆的端部在水平的方向倾斜，其中外部提升杆绕它们自己的垂直轴旋转。本专利技术的再一个方面是一种平板显示器制造装置，包括执行工艺的工艺室；设置在工艺室的衬底支撑板，其中待加工的衬底安装在衬底支撑板上；转移室，通过它衬底从外部进入工艺室或通过它衬底从工艺室排出到外部；设置在转移室的机器人，其中机器人包括机械手，其中衬底通过机械手支撑，并且其中机械手在工艺室和转移室之间往复运动；设置在工艺室的下部提升棒，其中下部提升杆设置在安装在机械手上的衬底正下方的外侧位置，并且其中下部提升棒的端部在水平方向倾斜；设置在工艺室的上部提升棒，其中上部提升杆设置在安装在机械手上的衬底正下方的外侧位置，其中上部提升棒的端部在水平的方向倾斜，以及其中设置上部提升棒以比下部提升棒抬起到更高的位置；设置在工艺室的内部提升杆，其中内部提升杆设置在安装在机械手上的衬底下面，在避免与机械手接触的同时，内部提升杆被抬起和放下；以及设置在转移室的备用提升棒，其中备用提升棒是设置在安装在机械手上的衬底的正下方外侧位置，以及其中本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种平板显示器制造装置，包括在其中执行工艺的工艺室；设置在工艺室的衬底支撑板，其中待加工的衬底安装在衬底支撑板上；转移室，通过它衬底从外部进入工艺室或通过它衬底从工艺室排出到外部；其上安装衬底的第一载板和第二载板，其中第一和第二载板的每个具有其端部从转移室导向工艺室的叉形；设置在转移室的机器人，其中机器人包括其端部从转移室导向工艺室的机械手，并且其中机械手在转移室和工艺室之间往复运动，从而机器人转移第一和第二载板；设置在转移室和工艺室的载板提升杆，其中在避免与机械手的叉头接触的同时载板提升杆抬起和下降，因此安装在机械手上的第一和第二载板可以抬起和下降；以及设置在转移室和工艺室的衬底提升杆，其中在避开机械手的叉头、第一载板和第二载板的同时衬底提升杆抬起和下降，因此安装在载板上的衬底可以抬起和下降。2.根据权利要求1的平板显示器制造装置，其中机械手往复直线运动而不转动。3.根据权利要求1的平板显示器制造装置，其中衬底提升杆设置成均匀地支撑整个衬底。4.一种平板显示器制造装置，包括在其中执行工艺的工艺室；设置在工艺室的衬底支撑板，其中待加工的衬底安装在衬底支撑板上；转移室，通过它衬底从外部进入工艺室或通过它衬底从工艺室排出到外部；设置在转移室的机器人，其中机器人包括具有其上安装衬底的上托板和下托板的双托板部件，其中双托板部件在工艺室和转移室之间往复运动，并且其中上下托板的每个具有其端部从转移室导向工艺室的叉形；设置在转移室和工艺室的内部提升杆，其中内部提升杆设置在安装在双托板部件上的衬底下，并且其中抬起和放下内部提升杆同时避免接触双托板的叉头；以及设置在转移室和工艺室中的外部提升杆，其中外部提升杆设置在安装在双托板部件上的衬底正下方外侧位置，其中外部提升杆端部在水平方向倾斜，并且其中外部提升杆绕它们自己的垂直轴旋转。5.根据权利要求4的平板显示器制造装置，其中双托板部件往复直线运动而不转动。6.根据权利要求4的平板显示器制造装置，其中内部提升杆设置成均匀地支撑整个衬底。7.一种平板显示器制造装置，包括在其中执行工艺的工艺室；设置在工艺室的衬底支撑板，其中待加工的衬底安装在衬底支撑板上；转移室，通过它衬底从外部进入工艺室或通过它衬底从工艺室排出到外部；设置在转移室的机器人，其中机器人包括机械手，其中通过机械手支撑衬底，并且其中机械手在工艺室和转移室之间往复运动；设置在工艺室的下部提升棒，其中下部提升杆设置在安装在机械手上的衬底的正下方外侧位置，并且其中下部提升棒的端部在水平方向倾斜；设置在工艺室的上部提升棒，其中上部提升杆设置在安装在机械手上的衬底的正下方外侧位置，并且其中上部提升棒的端部在水平方向倾斜，并且其中上部提升棒被设置成比下部提升棒抬起到更高的位置；设置在工艺室的内部提升杆，其中内部提升杆设置在安装在机械手上的衬底下面，在避免与机械手接触的同时，内部提升杆被抬起和放下；以及设置在转移室的备用的提升棒，其中备用的提升杆设置于安装在机械手上的衬底的正下方外侧位置，并且其中备用的提升棒的端部在水平方向倾斜。8.根据权利要求7的平板显示器制造装置，其中机械手向前和向后往复直线运动。9.根据权利要求7的平板显示器制造装置，其中机械手朝从转移室到工艺室的方向伸展以支撑衬底的中心部分。10.根据权利要求7的平板显示器制造装置，其中上部提升棒、下部提升棒和备用的提升棒的倾斜端部伸展到衬底的中心部分附近。11.一种平板显示器制造装置，包括在其中执行工艺的工艺室；为一通道的转移室，通过它衬底从外部进入工艺室或通过它衬底从工艺室排出到外部；设置在转移室的转移滑动器部件，其中转移滑动器部件在工艺室和转移室之间往复直线运动以转移衬底；以及设置在工艺室和转移室的多个提升杆，其中衬底通...

【专利技术属性】
技术研发人员：许光虎，李哲源，崔浚泳，安贤焕，
申请(专利权)人：爱德牌工程有限公司，
类型：发明
国别省市：