一种平板显示器生产设备基板支撑装置，包括基板支座和升降枢轴，所述基板支座上可水平放置玻璃基板，其特征是，所述基板支座形成多个上端呈倒锥形柱状的垂直通孔； 所述升降枢轴插在上述垂直通孔中，从而在所述基板支座上形成多个升降枢轴，其能上下移动，以便把上述基板从上述基板支座抬起或者放在上述基板支座上，该升降枢轴的上端具有一个呈倒锥形柱状端头，其与上述垂直通孔上端相匹配。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本专利技术是关于平板显示器(Flat Panel Display，以下简称“FPD”)生产设备的基板支撑装置，尤其是装配适合支撑玻璃基板边缘以及中心的升降枢轴，从而保证上下移动玻璃基板时玻璃基板不弯曲。
技术介绍
干式蚀刻器(Dry Etcher)、化学气相淀积器(Chemical Vapor DepositionApparatus)以及溅射器(Sputter)等FPD生产设备一般包括三个真空室。上述三个真空室指的是真空锁室、处理腔、传递室。真空锁室(LoadlockChamber)用以接送基板，即从外部接收要处理的基板，或者向外送出处理完的基板。处理腔(Process Chamber)利用等离子或热能沉积膜或者进行蚀刻等作业。传递室(TransferChamber)把基板从真空锁室送到处理腔或者向反方向送出。图1是说明现有FPD生产设备结构的平面图。见图1，传递室(20)内有机械手(robot，22)。上述机械手(22)配手柄，以便抬起玻璃基板(glass substrate，40)。上述机械手把基板放在上述手柄上，把上述基板从真空锁室(10)送到处理腔(30)或者向反方向送出。在处理腔(30)中，基板(40)放在基板支座(substrate supporting plate，36)上开始处理。而上述基板(40)凭借升降枢轴(32)或者升降条(34)从基板支座(36)被抬起或者放到基板支座(36)上。上述升降枢轴(32)虽然位于基板支座中上述基板(40)的位置上，但是上述升降条(34)却位于上述基板支座中上述基板(40)位置的外侧。由于上述升降条(34)的上端水平弯曲，因此，如果弯曲部位面向基板(40)，则上述弯曲部位的长度充分伸展，以使基板(40)置于上述升降条(34)上面。图2a或图2f是说明上述现有FPD生产设备操作方法的截面图。在处理腔(30)结束规定处理，处理完的基板(40b)置于基板支座(36)上暂时等待，此时传递室(20)和处理腔(30)之间的门被打开，机械手(22)带着待处理的基板(40a)进入处理腔(30)内。然后，升降条(34)会上升并支撑已进入的基板(40a)，机械手(22)从处理腔(30)脱离出来回到传递室(20)中(见图2a、图2b)。机械手(22)进入传递室(20)，升降枢轴(32)即刻上升，并抬起基板支座(36)上的已处理完的基板(40b)。然后，置于传递室(20)内的机械手(22)重新进入处理腔(30)内。此时，升降枢轴(32)下降，使基板(40b)置于机械手手柄上面。机械手(22)带着处理完的基板(40b)重新回到传递室(20)内(见图2c、图2d)。处理腔(30)和传递室(20)之间的门被关闭的同时，升降枢轴(32)和升降条(34)下降，把待处理的基板(40a)置于基板支座(36)上，进行规定处理(见图2e)。传递室(20)内的机械手(22)把处理完的基板(40b)放在真空锁室(10)内的基板保管处(未图示)，并把保存在真空锁室(10)，置于另外一个基板保管处(未图示)的等待中的基板(40c)放在手柄上，180度旋转后在传递室(20)等待，直到处理腔(30)的工作结束为止(见图2f)。这一期间，真空锁室(10)和传递室(20)之间的门被关闭，处理完的基板(40b)排向真空锁室(10)外，另一块需要处理的基板(未图示)送入真空锁室(10)中，从而执行基板更替。此时，在处理腔(30)工作的过程中，最好使上述基板更替结束，而且要迅速进行真空锁室(10)的通风(venting)以及抽水(pumping)。图3a及图3b是说明图1的FPD生产设备存在的问题的附图。上述现有FPD生产设备如图3a所示，升降枢轴(32)置于离基板支座中放基板(40)的边缘处约有15mm的内侧。即，在基板(40)中心位置没有装配升降枢轴(32)。如图3b所示，当基板(40)置于基板支座(36)上时，在有升降枢轴(32)之处(A)和无升降枢轴之处产生温差或电位差，在进行蚀刻等作业后，由于在A处和其它处的蚀刻速度的快慢不同，刻蚀后基板(40)上形成斑点(45)，所以，升降枢轴(32)不能置于基板(40)中心，而是如图所示，只能置于边缘部分。最近，基板的大小扩大至2m×2m左右，因此像过去一样，基板的输送过程中只抬起基板(40)边缘，这样基板(40)中心过多出现弯曲现象，导致基板(40)破裂或者机械手无法进入基板(40)底下，无法回送基板。另外，如图3b所示，在上述升降枢轴(32)和基板支座上形成的垂直通孔31之间出现缝隙，在做特定处理时，处理腔中的气体等污染物流入上述缝隙中残存，待进行另外工程时被排出，污染处理腔，有可能导致工程精确度产生误差。上述升降枢轴(32)和上述垂直通孔(31)之间形成缝隙，将会出现从中流入的污染物污染、腐蚀上述升降枢轴(32)等问题。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术课题是，提供装配升降枢轴的FPD生产设备基板支撑装置。当基板被抬起或放下时，这一升降枢轴适当支撑基板的边缘以及中心，以免基板被弯曲。本技术的目的是这样实现的为了解决上述技术课题，如本专利技术所述，FPD生产设备基板支撑装置包括基板支座、升降枢轴。其特征是，基板支座上水平放置玻璃基板，其上形成多个上端呈倒锥形柱状的垂直通孔。升降枢轴插入到上述垂直通孔且能上下移动，还形成多个升降枢轴，以便把上述基板从上述基板支座上抬起或者放在上述基板支座上，该升降枢轴的上端具有一个呈倒锥形柱状端头，其与上述垂直通孔上端相匹配。在上述基板支座或者上述升降枢轴中，如果任何一个的表面做了绝缘处理，则上述升降枢轴和上述基板支座以人为的方法电连接，通过另设构件电连接，或者最好是在升降枢轴的锥形柱状下端和与其相连的基板支座部位的绝缘膜中，剥开部分绝缘膜并自然紧贴在一起而电连接。附图说明下面结合附图对本技术作进一步说明。图1是说明现有FPD生产设备的平面图；图2a至图2f是说明图1的FPD生产设备操作方法的截面图；图3a及图3b是图1的FPD生产设备基板支撑装置存在的问题示意图；图4a及图4b是说明本专利技术FPD生产设备基板支撑装置的截面图。具体实施例方式下面参照本专利技术实施例的附图进行详细的说明。为了避免与现有技术之间的说明被重复，只图示本专利技术的特征部位。图4a及图4b是说明如本专利技术所述的FPD生产设备基板支撑装置的截面图。首先，如图4a所述，玻璃基板(40)水平放在基板支座(36)上，上述基板支座(36)上形成多个垂直通孔(31)。多个升降枢轴(32)插在上述垂直通孔(31)中，以便进行上下移动。而上述玻璃基板(40)根据上述升降枢轴(32)的上下移动，从基板支座(36)抬起或者放在基板支座(36)上。为了防止在有升降枢轴(32)的部分(A)和无升降枢轴的部分之间产生温差及电位差，最好使上述升降枢轴(32)和上述基板支座(36)进行热连接或电连接。为此如图4b所示，使上述垂直通孔(31)的顶端呈倒锥形柱状，上述升降枢轴(32)的上端也呈倒锥形柱状，其与垂直通孔(31)顶端匹配，以便对准上述垂直通孔(31)的顶端。这样，当上述升降枢轴(32)下降时，其几何结构与上述垂直通孔(31)的锥形柱状一致，升降枢轴(32)和上述垂直通孔(31)本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种平板显示器生产设备基板支撑装置，包括基板支座和升降枢轴，所述基板支座上可水平放置玻璃基板，其特征是，所述基板支座形成多个上端呈倒锥形柱状的垂直通孔；所述升降枢轴插在上述垂直通孔中，从而在所述基板支座上形成多个升降枢轴，其能上下移动，以便把上述基板从上述基板支座抬起或者放在上述基板支座上，该升降枢轴的上端具有一个呈倒锥形柱状端头，其与上述垂直通孔上端相匹配。2.根据权利要求1所述的平板显示器生产设备基板支撑装置，其特征在于上述升降枢轴与上述基板支座采用同一材质。3.根据权利要求1所述的平板显示器生产设备基板支撑装置，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：许光虎，崔浚泳，李哲源，
申请(专利权)人：爱德牌工程有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。