用于测量振动细管末端的振幅的装置制造方法及图纸

用于测量细管（１）的末端的振幅的装置，其中细管（１）的末端的振动调节通过光束（６）的强度，具有一个光源（５）和一个光接收器（１１），其特征在于，在光源（５）和光接收器（１１）之间仅仅设置两个相互同轴对齐的开孔光阑（８，１０），其中光束（６）的对测量有影响的直径与开孔光阑（８，１０）的直径相等。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及如权利要求1的前序部分所述的用于测量引线接合器(Wire Bonder)的自由振动细管末端的振幅的装置。
技术介绍
引线接合器是一种在半导体芯片安装到基片之后利用其布线的设备。引线接合器具有一个细管，它夹在电极臂(horn)的末端。细管用于将电线固定到半导体芯片上的接点和基片上的接点并且引导这两个接点之间的电线。在形成半导体芯片上的接点和基片上的接点之间的电线连接时，首先将从细管突出的电线的端部熔制成线球。随后，利用压力和超声波将线球固定到半导体芯片上的接点。为此目的，超声波从超声换能器施加于电极臂。这种处理过程称为球焊。然后电线被拉至需要的长度，形成电线圈并焊接于基片上的接点。该处理过程的最后部分称为楔焊。在将电线固定到基片上的接点之后，扯断电线可以开始下一个接合。用于测量自由振动细管的振幅的方法和装置从欧洲专利EP 498936 B1可获知。所测量的值用于校准超声换能器。利用光栅来进行细管振幅的测量。从日本专利10-209 19 9可获知一种用于测量自由振动细管的振幅的方法和装置，其中这种方法和装置的光栅使用了激光束。实验表明利用已知技术进行测量当测量自由振动细本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.用于测量细管(1)的末端的振幅的装置，其中细管(1)的末端的振动调节通过光束(6)的强度，具有一个光源(5)和一个光接收器(11)，其特征在于，在光源(5)和光接收器(11)之间仅仅设置两个相互同轴对齐的开孔光阑(8，10)，其中光束(6)的对测量有影响的直径与开孔光阑(...

【专利技术属性】
技术研发人员：马丁·梅尔策，
申请(专利权)人：ESEC贸易公司，
类型：发明
国别省市：