【技术实现步骤摘要】
短弧型放电灯
[0001]本专利技术涉及短弧型放电灯。
技术介绍
[0002]例如在半导体元件、液晶显示元件等的制造工序所使用的曝光装置、各种放映机中,使用短弧型放电灯(以下也简称为“灯”)作为光源。该短弧型放电灯构成为在发光管内将阳极和阴极彼此相对配置,并且在该发光管内封入水银、氙气等发光物质。
[0003]在这样的短弧型放电灯中,已知由于在点亮时施加于阳极的热负荷高,因此产生由阳极的过热等引起的电极材料的蒸发,该蒸发物附着于发光管的内壁而使透光率降低,即产生所谓的黑化。
[0004]为了解决这样的问题,已知有在电极表面形成散热层来抑制电极的温度上升的技术,在下述专利文献1中公开了在电极的除了前端附近之外的外表面形成有包含至少一种金属氧化物的散热层的灯。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1:日本特开2004-259639号公报
技术实现思路
[0008]专利技术所要解决的课题
[0009]但是,如专利文献1所记载的灯那样,即 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种短弧型放电灯,在发光管的内部相对配置有一对电极,其特征在于,所述一对电极包含钨而形成,在所述一对电极中的至少一个电极的外表面形成有包含陶瓷的覆膜,在所述覆膜的外表面的一部分附着有钨的颗粒。2.根据权利要求1所述的短弧型放电灯,其特征在于,所述短弧型放电灯的点亮姿势为垂直方向。3.根据权利要求2所述的短弧型放电灯,其特征在于,在所述一对电极中的位于上方的电极的外表面形成有包含陶瓷的...
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