用于传导接触件的支撑件组件制造技术

提供的是一种适用于用在接触式探头中的一种支撑件组件，该组件包括：一个支撑件，以相互平行关系形成有用来支撑传导接触件的多个保持孔；和一个加强件，与支撑件整体地形成，并且在支撑件没有任何保持孔的一部分中延伸。加强件增大支撑件组件的整体机械强度，并且防止支撑件的热变形。因为保持孔形成在由适于用来形成孔的材料，如塑料材料，制成的支撑件中，所以能以高精度和以低成本形成保持孔。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术一般涉及用于接触式探头、电气插座和其它用途的传导接触件的一种支撑装置，具体地说，涉及一种用于适用于半导体相关元件的强化试验的接触式探头的传导接触件的一种支撑件组件。
技术介绍
在最近几年，例行地进行强化试验作为用于半导体相关元件的试验过程的一部分，并且在这样一种试验中，在升高的温度(约150℃)下把一个电压施加到物体上一个延长时间段(从几小时到几十小时)。越来越希望对晶片级(8英寸或200mm晶片)而不是对封装级进行这样一种试验，从而能提高生产率。在任何情况下，当在强化试验期间应用用来同时接近大量点的一个接触式探头时，用于电气接触件的支撑件的耐热性和热膨胀是需要考虑的重要因素。希望传导接触件通过弹性啮合在晶片上的对应电极，能够容纳这样一种电极的高度的变化。这样一种例子表明在图10中。参照图10，多个阶梯保持孔2穿过一个板件形式的一个支撑件21的厚度。每个保持孔2的一个小直径段2a接收一个传导针状件23，而保持孔2的一个大直径段2b接收一根传导螺旋弹簧24。传导针状件23包括一个接收在大直径段2b中的径向凸台23a，并且由使一端绕从凸台23a延伸的一个杆部分23b缠绕的螺本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种适于用在接触式探头或类似物中用来接触要接触的物体的一种支撑件组件，包括：　　　　一个支撑件，用于以相互平行关系形成有用来支撑传导接触件的多个保持孔，所述支撑件由适于形成这种保持孔的材料制成；及　　　　一个加强件，与支撑件整体地形成，并且在支撑件没有任何保持孔的一部分中延伸。

【技术特征摘要】
1.一种适于用在接触式探头或类似物中用来接触要接触的物体的一种支撑件组件，包括一个支撑件，用于以相互平行关系形成有用来支撑传导接触件的多个保持孔，所述支撑件由适于形成这种保持孔的材料制成；及一个加强件，与支撑件整体地形成，并且在支撑件没有任何保持孔的一部分中延伸。2.根据权利要求1所述的支撑件组件，其中加强件把支撑件划分成多个区域，这些区域的每一个形成有多个保持孔。3.根据权利要求1所述的支撑件组件，其中加强件把支撑件划分成多个区域，这些区域的每一个形成有单个保持孔。4.根据权利要求1所述的支撑件组件，其中加强件包括一个沿支撑件一个外周缘部分延伸的环形件。5.根据权利要求1所述的支撑件组件，其中把加强件埋入在支撑件中。6...

【专利技术属性】
技术研发人员：风间俊男，
申请(专利权)人：日本发条株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]