集束传输装置和传送控制方法制造方法及图纸

以在装载锁定室（ＬＬ１、ＬＬ２）和装载器组件（ＬＭ）之间的晶片（Ｗ）的交换计时作为基准、在将晶片（Ｗ）搬入任何一个装载锁定室（ＬＬ１、ＬＬ２）中的时刻（Ｔｐ），计算直到可以将下一个晶片（Ｗ）搬入该装载锁定室（ＬＬ１、ＬＬ２）的时间（ＰＳＬ）。然后，如果计算出该时间（ＰＳＬ），装载臂（ＬＡ１、ＬＡ２）将直到可以搬入装载锁定室（ＬＬ１、ＬＬ２）的时间为最短的下一个晶片（Ｗ）从载入机（ＬＰ１～ＬＰ３）中选择。通过这样，改善了在设置有装载锁定室的集束传输装置中的传送延迟。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种。
技术介绍
在现有的集束传输装置中，分别计算在各个加工室正在处理的晶片的处理剩余时间，进行从载入机取出晶片的选择，使得将下一个晶片传送到该处理剩余时间最少的加工室中。但是，在设有装载锁定室的集束传输装置中，通过装载锁定室来进行向各个加工室的传送。在装载锁定室中，由于又进行在装载器组件和装载锁定室之间的晶片的交接，又进行在装载锁定室和加工室之间的晶片的交接，所以要重复进行对应于装载器组件或加工室的真空度的给排气。为此，如果只考虑单独加工室中的处理剩余时间，进行从载入机取出晶片的选择，那么由于在装载锁定室中的给排气等的处理而产生传送等待，反而增加了传送延迟。另外，在进行处理实行时间不同的晶片的传送的情况下，如果只简单考虑处理剩余时间而进行晶片的选择时，处理实行时间短的传送要等待，从整个系统来看具有生产率降低的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种能够改善在设置有装载锁定室的集束传输装置中的传送延迟的。为了解决上述问题，按照本专利技术，其特征在于，包括进行处理对象的加工处理的多个加工室；分别与上述加工室连接、向上述加工室传送上述处理对象的装载锁定室；与上述装载锁定室连接、向上述装载锁定室传送上述处理对象的装载器组件；根据可向上述装载锁定室传送上述处理对象的计时，上述装载器组件进行下一个传送的处理对象的选择的传送控制装置。这样，能够考虑在装载锁定室中的处理时间，计算出直到能将下一个晶片传送到装载锁定室中的时间。为此，在存在加工剩余时间短的加工室和加工剩余时间长的加工室的情况下，在加工剩余时间短的加工室中，由于延迟了在与它连接的装载锁定室中的处理，所以在传送延迟反而增加的情况下，即使加工剩余时间长，也能够选择在装载锁定室中处理迅速结束的一方，能够降低传送延迟。另外，按照本专利技术，其特征在于，上述传送控制装置包括传送时间计算装置，在将上述处理对象搬入到任何一个装载锁定室后的时间，计算下一个可向各装载锁定室传送的时间；选择装置，选择可传送的时间为最短的处理对象作为下一个传送处理对象。这样，在将处理对象传送进任何一个装载锁定室期间，能够选择可向装载锁定室传送的时间最短的处理对象，能够降低在设置有多个加工室情况下的传送延迟。另外，按照本专利技术，其特征在于包括进行处理对象的加工处理的多个加工室；分别与上述加工室连接、向上述加工室传送上述处理对象的装载锁定室；与上述装载锁定室连接、向上述装载锁定室传送上述处理对象的装载器组件；根据可向上述加工室传送上述处理对象的计时，上述装载器组件进行下一个传送处理对象的选择的传送控制装置。这样，可以一边考虑在装载锁定室的处理时间，一边计算出直到可以将下一个晶片传送进加工室的时间。为此，在到可传送到装载锁定室的时间短，但在传送到装载锁定室后而到进一步传送到加工室的时间长的情况下，可以选择到可以传送到装载锁定室的时间长、但在传送进装载锁定室后而到进一步传送到加工室的时间短的一方。其结果是，能够防止产生即使对任一个装载锁定室传送等待的状态都长时间持续、装载器组件长时间闲置的情况，从系统整体来看，能够提高生产率。另外，按照本专利技术，其特征在于，上述传送控制装置包括传送时间计算装置，在将上述处理对象搬入到任何一个装载锁定室后的时间，计算下一个可向各加工室传送的时间；选择装置，选择可传送的时间为最短的处理对象作为下一个传送处理对象。这样，在将处理对象传送进任何一个装载锁定室时，能够选择可向加工室传送的时间最短的处理对象，能够降低在设置有多个加工室情况下的传送延迟。另外，按照本专利技术，其特征在于，在上述装载器组件上设置有进行上述处理对象的定位的定位机构，更进一步，其特征在于，在通过上述定位机构定位后，将通过上述传送控制装置选择的下一个传送处理对象传送到上述装载锁定室的前方而待机。另外，按照本专利技术，在设有多个加工室、通过装载锁定室将处理对象传送到上述加工室的传送控制方法中，其特征在于，基于能够将上述处理对象传送到上述装载锁定室的计时，选择下一个传送处理对象。这样，不仅考虑在加工室的处理剩余时间，也考虑在装载锁定室的处理时间，从而能够确定传送顺序，降低传送延迟。另外，根据本专利技术，在设置多个加工室、通过装载锁定室将处理对象传送到上述加工室的传送控制方法中，其特征在于，基于能够将上述处理对象传送到上述加工室的计时，选择下一个传送处理对象。这样，能够一面考虑在装载锁定室的处理时间，一面计算在加工室的可能处理时间，从系统整体看能够提高生产率。更进一步，根据本专利技术，其特征在于，在通过上述定位机构定位后，将上述选择的下一个传送处理对象传送到上述装载锁定室的前方而待机。附图说明图1是表示本专利技术一实施方式的集束传输装置的概略构成的截面图。图2是表示本专利技术实施方式1的搬入计时的计算方法的图。图3是说明本专利技术实施方式1的搬入计时的图。图4是说明本专利技术实施方式2的搬入计时的图。具体实施例方式下面，参照附图说明本专利技术实施方式的集束传输装置(cluster tool)和传送控制方法。图1是表示本专利技术一实施方式的集束传输装置的概略构成的截面图。在图1中，在装载器组件LM中，设置容纳晶片W的载入机LP1～LP3、传送晶片W的传送室TR和进行晶片W的位置确定的定位器OR。在载入机LP1～LP3中，设置容纳未处理的晶片W和处理过的晶片W的盒子或者FOUP(环箍)CS1～CS3。另外，这些载入机LP1～LP3也能设定在样板晶片用的端口内，该端口设置容纳样板晶片的盒子等。传送室TR连接定位器OR，同时通过装载锁定闸门LG1、LG2连接加工传送器PS1、PS2，此外，通过载入机闸门CG1～CG3连接载入机LP1～LP3。在传送室TR，设置有2段构成的装载臂LA1、LA2，该装载臂LA1、LA2在载入机LP1～LP3和装载锁定室LL1、LL2之间或者和定位器OR之间进行晶片W的传送。(图1中的①②⑥的传送)。这里，通过将装载臂LA1、LA2形成为2段构成，可以一面通过一个装载臂LA1、LA2进行晶片W的搬入，一面通过另一个装载臂LA1、LA2进行晶片W的搬出，可以更有效地进行晶片W的交换。在加工传送器PS1、PS2中设置装载锁定室LL1、LL2和加工室PM1、PM2，装载锁定室LL1、LL2和加工室PM1、PM2通过加工闸门PG1、PG2相互连接。在装载锁定室LL1、LL2中分别设有晶片装载台B11、B12、B21、B22和装载锁定臂LR1、LR2，在晶片装载台B12、B22上既能装载从装载器组件LM搬入的晶片W，也能装载从装载锁定室LL1、LL2搬出的晶片W。另外，在晶片装载台B11、B21上能装载搬入到加工室PM1、PM2中的晶片W。另外，装载锁定臂LR1、LR2在装载锁定室LL1、LL2和加工室PM1、PM2之间传送晶片W(图1的③④⑤的传送)。为了追求传送的效率，在传送室TR向大气开放的同时，载入机闸门CG1～CG3维持在开放状态。另外，为了防止污染，加工室PM1、PM2要维持规定的真空度。为此，在装载锁定室LL1、LL2中，对应于与传送室TR之间的传送或者与加工室PM1、PM2之间的传送，进行为了对应各自的真空度的供排气。下面，以在载入机LP1和加工传送器PS1之间进行传送的情况为例，说明传送顺序。首先，装载臂L本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种集束传输装置，其特征在于，包括：进行处理对象的加工处理的多个加工室；分别与所述加工室连接、向所述加工室传送所述处理对象的装载锁定室；与所述装载锁定室连接、向所述装载锁定室传送所述处理对象的装载器组件；根据 可向所述装载锁定室传送所述处理对象的计时，所述装载器组件进行下一个传送处理对象的选择的传送控制装置。

【技术特征摘要】
JP 2001-4-6 108926/20011.一种集束传输装置，其特征在于，包括进行处理对象的加工处理的多个加工室；分别与所述加工室连接、向所述加工室传送所述处理对象的装载锁定室；与所述装载锁定室连接、向所述装载锁定室传送所述处理对象的装载器组件；根据可向所述装载锁定室传送所述处理对象的计时，所述装载器组件进行下一个传送处理对象的选择的传送控制装置。2.根据权利要求1所述的集束传输装置，其特征在于，所述传送控制装置包括传送时间计算装置，在将所述处理对象搬入到任何一个装载锁定室后的时间，计算下一个可向各装载锁定室传送的时间；选择装置，选择可传送的时间为最短的处理对象作为下一个传送处理对象。3.根据权利要求2所述的集束传输装置，其特征在于在所述装载器组件上设置有进行所述处理对象的定位的定位机构。4.根据权利要求4所述的集束传输装置，其特征在于在通过所述定位机构定位后，将通过所述传送控制装置选择的下一个传送处理对象传送到所述装载锁定室的前方而待机。5.一种集束传输装置，其特征在于，包括进行处理对象的加工处理的多个加工室；分别与所述加工室连接、向所述加工室传送所述处理对象的装载锁定室；与所述装载锁定室连接、向所述装载锁定室传送所述处理对象的装载器组件；根据可向所述加工室传送所述处理对象的计时，所述装载器组件进行下一个传送处理对象...

【专利技术属性】
技术研发人员：饭岛清仁，贝瀬精一，高桥佳子，小尾章，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]