焊锡膜、光学器件用部件和光学器件制造技术

本发明专利技术的目的在于提供一种表面的平坦性优异、能够抑制翘曲的焊锡膜。该焊锡膜(1)用于光学器件中的部件(10)的固定，焊锡膜(1)具有包括Au层(3)和Sn层(4)的多层膜(2)，Au层(3)的每1层的厚度为100nm以下，Sn层(4)的每1层的厚度为100nm以下。度为100nm以下。度为100nm以下。

【技术实现步骤摘要】
焊锡膜、光学器件用部件和光学器件


[0001]本专利技术涉及焊锡膜、以及使用该焊锡膜的光学器件用部件和光学器件。

技术介绍

[0002]近年来，在显示器和投影仪、或者汽车的头灯等用途中，使用着搭载有LD(Laser Diode：激光二极管)或LED(Light Emitting Diode：发光二极管)等光学元件的光学器件。在光学器件中，光学元件等部件使用焊锡膜固定于安装基板。
[0003]例如，在以下专利文献1中公开了使用Au层和Sn层交替叠层而成的AuSn多层焊锡，将光半导体元件焊接在安装基板上的方法。在专利文献1的AuSn多层焊锡中，叠层有每1层的厚度为的Au层和每1层的厚度为的Sn层。此外，在专利文献1的AuSn多层焊锡中，叠层有合计7层的Au层和Sn层。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本特开平10
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006073号公报

技术实现思路

[0007]在光学器件中，有时不仅搭载光学元件，而且还搭载用于搭载光学元件的基座或棱镜等部件等本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种焊锡膜，其用于光学器件中的部件的固定，该焊锡膜的特征在于，所述焊锡膜具有包括Au层和Sn层的多层膜，所述Au层的每1层的厚度为100nm以下，所述Sn层的每1层的厚度为100nm以下。2.如权利要求1所述的焊锡膜，其特征在于，所述Au层和所述Sn层的合计层数为50层以上。3.如权利要求1或2所述的焊锡膜，其特征在于，所述Au层和所述Sn层交替叠层。4.如权利要求3所述的焊锡膜，其特征在于，在所述Au层和所述Sn层之间设置有由Au和Sn的合金构成的Au
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Sn层。5.如权利要求1～4中任一项所述的焊锡膜，其特征在于，在将所述多层膜的叠层方向上的远离所述部件的一侧作为外侧时，所述多层膜的最外层为所述Au层。6.如权利要求1～5中任一项所述的焊锡膜，其特征在于，在将所述多层膜的叠层方向上的远离所述部件的一侧作为外侧时，所述多层膜的最外层的表面的算术平均粗糙度Ra为0.05μm以下。7.如权利要求1～6中任一项所述的焊锡膜，其特征在于，在将所述多层膜的叠层方向上的远离所述部件的一侧作为外侧时，所述多层膜的最外层的表面的最大高度Rz为0.25μm以下。8.如权利要求1～7中任一项所述的焊锡膜，其特征在于，将所述多层膜中的Au的合计质量设为M
A
、Sn的合计质量设为M
S
时，Au的质量相对于Au和Sn的合计质量之比M
A
/(M
A
+M
S
)为0...

【专利技术属性】
技术研发人员：田中宏和，山口义正，藤田浩辉，
申请(专利权)人：日本电气硝子株式会社，
类型：发明
国别省市：