一种自动引线键合弧形量化控制方法技术

本发明专利技术提供了一种自动引线键合弧形量化控制方法，包括以下过程：步骤1、确定引线键合工艺中影响引线弧形的设备可控工艺参数；步骤2、基于实验数据的量化多元插值算法获取设备可控工艺参数与引线键合几何参数的映射关系，从而实现引线键合弧形量化控制。本发明专利技术提出的方案通过基于实测数据的引线键合弧形控制方法可以对引线的弧形进行数据量化精准控制，提升产品引线键合工艺的加工控制精度，改善设计端与制造端的加工一致性。端与制造端的加工一致性。端与制造端的加工一致性。

【技术实现步骤摘要】
一种自动引线键合弧形量化控制方法


[0001]本专利技术涉及混合集成电路生产自动引线键合工艺领域，特别涉及一种自动引线键合弧形量化控制方法。

技术介绍

[0002]混合集成电路产品在其制造工艺过程中广泛采用引线键合技术实现射频信号的传输。混合集成电路产品集成度的提高以及工作频段的提升，对引线键合工序金丝的弧形提出了较高要求，特别是毫米波级别的工作频段，其射频传输性性能、幅相一致性、驻波性能对引线键合工艺中弧形十分敏感，但实际生产制造过程中，自动或半自动的引线键合设备均无法直接通过设备加工参数直接精准控制引线键合结构的弧形。
[0003]随着电子制造技术的发展，混合集成电路产品的工作频段越来越高，可达40GHZ以上。引线键合工艺对于射频信号传输级联具有很强的灵活性，其在毫米波级混合集成电路产品制造过程中是不可缺少的工艺手段。对于基于引线键合工艺的高频段(40GHZ以上)射频信号的传输，引线的弧形对其射频性能有很大影响，但目前针对引线弧形的控制主要是根据人工经验，通过控制劈刀路径参数来间接控制引线弧形；尚未有成熟有效的引线弧形量化控制的解决本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自动引线键合弧形量化控制方法，其特征在于，包括以下过程：步骤1、确定引线键合工艺中影响引线弧形的设备可控工艺参数；步骤2、基于实验数据的量化多元插值算法获取设备可控工艺参数与引线键合几何参数的映射关系，从而实现引线键合弧形量化控制。2.根据权利要求1所述的自动引线键合弧形量化控制方法，其特征在于，所述步骤1包括以下子步骤：步骤1.1、确定引线键合设备中可控工艺参数和弧形量化控制参数；步骤1.2、通过正交试验分析法确定影响弧形量化控制参数的主要可控工艺参数。3.根据权利要求1或2所述的自动引线键合弧形量化控制方法，其特征在于，所述步骤2包括以下子步骤：步骤2.1、针对确定的主要可控工艺参数，对单个工艺参数及引线键合几何参数进行控制变量试验；并基于插值算法获取单个工艺参数与引线键合几何参数的映射函数；步骤2.2、根据映射算法影响线性累加原则，得到多个工艺参数与引线键合几何参数的映射关系。4.根据权利要求3所述的自动引线键合弧形量化控制方法，其特征在于，所述步骤1.2的具体过程为：在键合强度满足指标需求的前提下，以极差作为可控工艺参数重要度的量化指标，得到设备可控工艺参数对引线键合几何参数的影响度排名，最后参考实际工艺管控需求，根据重要度选取设备的主要...

【专利技术属性】
技术研发人员：郝立峰，侯奇峰，曾策，赵雪峰，文泽海，冯国彪，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第二十九研究所，
类型：发明
国别省市：