一种低电流辉光和高电流弧光等离子体组合渗氮方法技术

技术编号:32020603 阅读:30 留言:0更新日期:2022-01-22 18:39
本发明专利技术涉及等离子体渗氮技术领域,具体涉及一种低电流辉光和高电流弧光等离子体组合渗氮方法:对试样抛光至镜面并清洗、烘干后装载入炉内,打开真空泵,抽真空至5.0

【技术实现步骤摘要】
一种低电流辉光和高电流弧光等离子体组合渗氮方法


[0001]本专利技术涉及等离子体渗氮
,具体涉及一种低电流辉光和高电流弧光等离子体组合渗氮方法。

技术介绍

[0002]渗氮是一种常见的合金热处理方法,可以实现试样较小的变形而获得高硬度的渗氮表层,试样的耐磨性、耐腐蚀性和疲劳性能均有提高,然而,传统渗氮需要几十个小时才获得几十微米的渗氮层,渗氮效率低,合金的性能尤其是疲劳性能等改善有限,限制了渗氮技术的大规模应用。等离子体渗氮相比较气体渗氮是技术上的革新,提高了渗氮速率,弧光等离子体比辉光等离子体具有更高的能量,并且高电流下弧光等离子体具有更高的离子能量,这样的氮离子参与渗氮过程,可以实现更高的渗氮速率。辉光等离子体可以用于清洗试样和激活试样表面,弧光等离子体可以提供更高能量的氮离子。
[0003]鉴于上述缺陷,本专利技术创作者经过长时间的研究和实践终于获得了本专利技术。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于解决传统渗氮方法需要几十个小时才获得几十微米的渗氮层,渗氮效率低,合金的性能改善有限的问题,提供了本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种低电流辉光和高电流弧光等离子体组合渗氮方法,其特征在于,包括以下步骤:S1:将试样打磨,并进一步抛光至镜面状态,在丙酮或酒精溶液中清洗干净并烘干;S2:试样装载入辉光和弧光等离子体组合渗氮设备内,打开真空泵,抽真空至5.0
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‑2Pa;S3:电阻加热开启,炉温升温至渗氮所需温度400~550℃;S4:通入氩气,加电压700

800V,电离氩气形成辉光等离子体清洗试样表面,去除材料表面的氧化物等杂质,激活材料表面;S5:接着利用柱弧源产生的弧光等离子体中的电子流电离氩气,进行二次激活,电弧源弧靶电流为100~200A;S6:通入含氮的气体,电离产生氮离子,利用形成的氮离子进行渗氮;S7:试样随炉冷却。2.如权利要求1所述的一种低电流辉光和高电流弧光等离子体组合渗氮方法,其特征在于,所述步骤S1中试样为不锈钢、工具钢、高速钢、轴承钢中的任意一种。3.如权利要求1所述的一种低电流辉光和高电流弧光等离子体组合渗氮方法,其特征在于,所述步骤S2中的辉光和弧光等离子体组...

【专利技术属性】
技术研发人员:王启民杨阳张世宏郑军周祥门尚武
申请(专利权)人:安徽工业大学
类型:发明
国别省市:

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