圆盘状元件保持装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种对即使是在中央部位没有贯通孔的圆盘状元件也可进行良好的定位保持的圆盘状元件保持装置。在基板（１）上设置接合部（１Ｂ），在基板保持侧的贴合部（１１）设置接合部（１１Ｂ）。通过这些接合部将基板（１）保持在保持装置（１０）上。通过机械卡盘（１５）来保持基板（１）的外周边部。使基板（１）在变形成一凹面形状的状态下被保持。如此，即使是对在中央部位没有贯通孔的基板（１）也可以进行良好的定位保持，可以提高通过溅射处理形成的薄膜质量的均匀化程度。还可以提高贴合面（１Ａ）与贴合面（１１Ａ）的紧贴程度，从而可以提高在溅射处理时对基板（１）的冷却效率。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种圆盘状元件保持装置，例如在圆盘状元件上进行一定处理(例如形成薄膜等)时所利用的保持装置。
技术介绍
已公知各种通过在圆盘状元件(或圆盘状的基板)上形成各种薄膜而制造的记录介质(下面简称为盘)，例如，包括CD、CD-R、CD-RW等CD盘、DVD-RW、DVD-ROM等DVD盘等的光盘、以及MO、MD等的光磁盘等。这些盘通过对例如由聚碳酸酯等制成的基板上进行溅射(sputtering)处理、旋转涂布处理等各种处理来层压薄膜而制成。作为所述盘的原材料的基板通常利用在其中央部位预先形成的贯通孔而进行处理(例如，移入或移出处理装置时、或形成薄膜等的各种处理时的定位和操纵等)。例如，当利用旋转涂布在基板上形成由紫外线(UV)硬化树脂等制成的薄膜时，通过使在基板中央部形成的贯通孔设置在回转台上的回转轴上以将基板定位和固定(或保持)在回转台的大致中央位置。然后，使基板随着该回转台旋转，使用于施加(即，例如滴下)树脂的设置在施加臂的前端部等处的施加口从所述贯通孔附近朝向基板外周侧移动的同时向基板表面上施加树脂。所施加的树脂通过回转台的回转所产生的离心力而在基板全部表面上扩散，从本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种圆盘状元件保持装置，它包括在使该圆盘状元件变形而使得该圆盘状元件的待处理表面变形成预定凹面形状的同时保持该圆盘状元件的保持结构。

【技术特征摘要】
JP 2002-3-7 061624/20021.一种圆盘状元件保持装置，它包括在使该圆盘状元件变形而使得该圆盘状元件的待处理表面变形成预定凹面形状的同时保持该圆盘状元件的保持结构。2.一种根据权利要求1所述的圆盘状元件保持装置，其特征在于，所述保持结构包括形成为凹面形状的贴合面，其用于和该圆盘状元件的待处理表面的相反侧的表面接触，以使该圆盘状元件的待处理表面变形成预定凹面形状，和在使所述贴合面和该圆盘状元件的待处理表面的相反侧的表面接触而使该待处理...

【专利技术属性】
技术研发人员：越川政人，石崎秀树，江本淳，
申请(专利权)人：TDK株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]