一种太极型结构的光纤平面应力传感器制造技术

本实用新型专利技术公开一种太极型结构的光纤平面应力传感器，整个装置由宽带光源、太极型结构光纤传感器、光谱仪构成；所述的太极型结构光纤传感器由两个回音壁并联组成，用硅酮胶体进行片状封装；当被测物体发生形变时，贴附于其表面的太极型结构光纤传感器会发生相应的形变，导致传感器输出的光谱发生漂移，通过监测光谱变化情况可以感知被测物体的平面应力。该实用新型专利技术具有结构简单紧凑、机械强度高、可测量平面应力等优点。测量平面应力等优点。测量平面应力等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种太极型结构的光纤平面应力传感器


[0001]本技术属于光纤传感领域，具体涉及到一种太极型结构的光纤平面应力传感器。

技术介绍

[0002]在薄形器件的镀膜加工过程中，由于工艺原因以及各种材料的尺寸和性能存在差异，器件会因为平面应力等原因发生变形、弯曲现象，对器件的可靠性产生不利影响。例如，在半导体器件的制造中，由于基底材料和镀膜材料的热膨胀系数不同，带来各自平面应力的不同，使得器件产生翘曲，发生翘曲的芯片会影响半导体器件的性能，甚至导致报废。因此，对平面应力导致的薄型器件形变的检测至关重要。
[0003]常见的光纤应力传感器，如光纤布拉格光栅、法布里
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珀罗腔、马赫
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曾德尔干涉仪等，虽然存在一定程度的温度交叉影响因素，但可以较好地实现沿光纤轴向的应力测量，即一维的应力测量。对于平面应力导致的薄型器件的形变检测，往往需要对平面应力的大小和方向进行测量和判断，因此，开发一种结构简单、受环境温度变化影响小的光纤平面应力传感器用于平面应力导致的薄型器件形变的检测，具有很高的应用价值。

技术实现思路
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种太极型结构的光纤平面应力传感器，其特征包括宽带光源(1)、太极型结构光纤传感器(2)、光谱仪(3)；宽带光源(1)输出端与太极型结构光纤传感器(2)的输入端相连，太极型结构光纤传感器(2)的输出端与光谱仪(3)的输入端相连。2.根据权利要求1所述的一种太极型结构的光纤平面应力传感器，其特征在于：太极型结构光纤传感器(2)由回音壁1(6)和...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘睿洋，康娟，申屠卓成，徐婷，王懿伟，王琛，
申请(专利权)人：中国计量大学，
类型：新型
国别省市：