一种光束质量自优化的紫外激光器制造技术

本发明专利技术公开了一种光束质量自优化的紫外激光器，涉及激光器技术领域，该紫外激光器包括红外基频光模块和紫外倍频模块，红外基频光模块包括依次设置的泵浦源、透镜组、腔镜、电光晶体、激光晶体、第一至第三反射镜、小孔光阑和SESAM晶体，使得激光光束经反射形成的光路呈Z形折叠状。该紫外激光器采用电光晶体进行相位调制，使腔内横向不同位置上的位相可以改变，以此来控制不同模式的损耗；并采用小孔光阑进行空间调制，通过相位调制与空间选模方法的结合，主动抑制高阶模式，提高横基模的效率，从而改善输出光束的光强分布和质量；并且，整个调试过程避免手动调节，通过电动调节提高了精度，实现了光束质量的自动调节。实现了光束质量的自动调节。实现了光束质量的自动调节。

【技术实现步骤摘要】
一种光束质量自优化的紫外激光器


[0001]本专利技术涉及固态激光器
，尤其是一种光束质量自优化的紫外激光器。

技术介绍

[0002]激光器广泛应用于加工、生产、科研等领域，实际应用中对输出激光的功率大小、光斑形状、发散角度等各方面都有一定的参数要求，尤其是在科研领域，激光光束质量、稳定性直接影响着研究结果。
[0003]激光器的输出模式是由腔内各个模式的相对损耗所决定的，每个增益超过振荡阈值的模式均有可能起摄，但要受到模式之间竞争的制约；在一定的谐振腔结构和抽运条件下，各个模式的相对损耗是固定的。
[0004]激光器的输出光束往往并不满足高功率高光束质量的要求，通常要通过特殊的设计提升激光器的输出功率。常用提升输出功率或者输出质量的方法包括：增加激光器的数量，通过合束在保证光束质量的同时提升最后输出功率；或者通过改变谐振腔，使用大增益的激光器腔型，增大激光器的平均输出功率同时尽可能提升光束质量。这些都是被动式的提高光束质量，需要通过人为的调整。

技术实现思路

[0005]本专利技术人针对上述问题及技术需求本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光束质量自优化的紫外激光器，其特征在于，包括红外基频光模块和紫外倍频模块，所述红外基频光模块包括依次设置的泵浦源、透镜组、腔镜、电光晶体、激光晶体、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、小孔光阑和SESAM晶体，使得激光光束经反射形成的光路呈Z形折叠状；所述紫外激光器的光束质量自优化方法包括：电动调节装置移动所述小孔光阑，使得所述小孔光阑的中心位置与光束光斑的中心位置重合；调整所述小孔光阑的孔径大小，使得只有基横模光束通过所述小孔光阑；通过调节施加在所述电光晶体上的电压大小来改变所述电光晶体的折射率，使得所述红外基频光模块和/或紫外倍频模块的输出功率为最大功率。2.根据权利要求1所述的紫外激光器，其特征在于，所述第二反射镜为出光镜。3.根据权利要求1所述的紫外激光器，其特征在于，所述红外基频光模块和/或紫外倍频...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈剑，俞胜武，
申请(专利权)人：无锡卓海科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：