在航空部件上沉积防焦保护涂层的方法技术

本公开内容的实施方式大体涉及在航空部件上的保护涂层和用于沉积所述保护涂层的方法。所述保护涂层可以是防焦涂层，以减少或抑制在燃料存在下加热所述航空部件时的焦炭形成。在一个或多个实施方式中，一种用于在航空部件上沉积保护涂层的方法包括：将所述航空部件暴露于清洁工艺，以在所述航空部件上产生清洁表面；和将所述航空部件顺序地暴露于前驱物和反应物，以通过原子层沉积(ALD)工艺在所述航空部件的所述清洁表面上形成保护涂层。所述航空部件可以是燃料喷嘴、燃烧器衬里、燃烧器护罩、热交换器、燃料管线、燃料阀或它们的任何组合中的一者或多者。组合中的一者或多者。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】在航空部件上沉积防焦保护涂层的方法


[0001]本公开内容的实施方式大体涉及沉积工艺，并且具体地，涉及用于在航空部件(aerospace component)上沉积膜的气相沉积工艺。

技术介绍

[0002]焦化是燃料喷嘴中因高温(例如，约600℃至约1,000℃)、喷嘴和燃烧器中的富燃料环境以及可使碳的沉积成核的金属表面而造成的已知问题。由于燃料喷嘴的几何形状是复杂的，并且具有高长宽比(aspect ratio)通路，因此难以用防焦涂层涂覆这些通路。
[0003]在涡轮机(turbine)行业中减少焦化的当前方法大多是基于机械技术，诸如控制零件的温度、控制燃料流量或添加插入件。陶瓷插入件在燃料喷嘴的出口处使用，陶瓷PVD/热喷涂热障型涂层(thermal barrier
‑
type coating)也是如此。然而，陶瓷是昂贵的，并且易于开裂。陶瓷和热障涂层不适合高长宽比、复杂结构。
[0004]因此，需要改善的保护涂层和在航空部件上沉积保护涂层的方法。

技术实现思路

[0005]本公开内容的实施本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于在航空部件上沉积涂层的方法，包括：将所述航空部件暴露于清洁工艺，以在所述航空部件上产生清洁表面；和将所述航空部件顺序地暴露于前驱物和反应物，以通过原子层沉积(ALD)工艺在所述航空部件的所述清洁表面上形成保护涂层。2.如权利要求1所述的方法，其中所述航空部件是燃料喷嘴、燃烧器衬里、燃烧器护罩、热交换器、燃料管线、燃料阀或它们的任何组合，并且其中所述航空部件的所述清洁表面包括镍、镍超合金、不锈钢、钴、铬、钼、铁、钛、它们的合金或它们的任何组合。3.如权利要求1所述的方法，其中所述航空部件的所述清洁表面是所述航空部件的内表面，并且其中所述航空部件的所述清洁表面具有约5至约1,000的长宽比。4.如权利要求1所述的方法，其中在所述清洁工艺期间从所述航空部件去除污染物以产生所述清洁表面，并且其中所述污染物包括氧化物、有机残留物、碳、颗粒或它们的任何组合。5.如权利要求1所述的方法，其中所述清洁工艺包括将所述航空部件暴露于溶剂清洁、酸清洁、碱清洁、湿清洁、臭氧清洁、等离子体清洁、超声处理或它们的任何组合。6.如权利要求1所述的方法，其中所述保护涂层包括氧化铝、氮化铝、氧氮化铝、氧化硅、氮化硅、氧氮化硅、氧化铬、氧化钽、氮化钽、氧氮化钽、它们的合金或它们的任何组合。7.如权利要求1所述的方法，其中所述保护涂层减少或抑制在燃料存在下加热所述航空部件时的焦炭形成。8.如权利要求1所述的方法，其中所述保护涂层具有约10nm至约5,000nm的厚度，并且其中所述保护涂层具有小于5％的厚度变化。9.如权利要求1所述的方法，其中所述前驱物包括三甲基铝，并且其中所述三甲基铝具有约99.9重量％至约99.999重量％的纯度。10.如权利要求1所述的方法，其中：所述反应物包括氧化剂，并且所述氧化剂包括水、臭氧、氧(O2)...

【专利技术属性】
技术研发人员：大卫，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：