一种涂覆桶外形的防溅水结构制造技术

本发明专利技术提供了一种涂覆桶外形的防溅水结构，涉及半导体生产技术领域，能够用于晶圆清洗过程，有效防止水溅；该防溅水结构包括：一体成型的桶体组件，包括：内空结构的桶体，载台罩设在其内；倾斜板，设置在桶体底部，用于与载台外表面密封连接；驱动连通口，设置在倾斜板上，用于安装喷水设备；桶下排水口，设置在倾斜板的最低处，用于下排水；用于实现上防溅和桶盖作用的上罩组件，包括：上罩结构，上下开口式结构，下端与桶体组件的上端可拆卸固接；上罩盖板，一端与上罩结构铰接，另一端与上罩结构可开合扣接；上防溅板，设置在上罩结构底部内壁；上排水口，设置在上防溅板上，用于上排水。本发明专利技术提供的技术方案适用于晶圆清洗或涂胶的过程中。程中。程中。

【技术实现步骤摘要】
一种涂覆桶外形的防溅水结构


[0001]本专利技术涉及半导体生产
，尤其涉及一种涂覆桶外形的防溅水结构。

技术介绍

[0002]晶圆(wafer)是制造半导体器件的基础性原材料。极高纯度的半导体经过拉晶、切片等工序制备成为晶圆，晶圆经过一系列半导体制造工艺形成极微小的电路结构，再经切割、封装、测试成为芯片，广泛应用到各类电子设备当中。
[0003]近年来，随着光电产业的迅猛发展，高集成和高性能的半导体晶圆需求也越来越大，晶圆切割技术对提高成品率和封装效率有着重要影响。晶圆切割方式有很多，主要用激光切割技术。不管哪种切割技术，操作过程中都会产生一些污染物。
[0004]清洁晶圆时，晶圆在载台上高速转动，由于离心力将晶圆上的水甩到四周。清洗晶圆的时候又要防止水跑到外面去污染其他机构，又要防止水回打到晶圆上，所以需要采用防溅设备进行防溅。现在晶圆加工中，晶圆清洗防飞溅有很多方式，比较常见的用防水帘还有防护罩。防水帘属于易耗品要定期更换，防水帘的防水效果不佳，水容易打到晶圆上。现在市面上的清洁晶圆的防护罩的加工工艺和结构都比较复杂，加工成本比较高。
[0005]因此，有必要研究一种涂覆桶外形的防溅水结构来应对现有技术的不足，以解决或减轻上述一个或多个问题。

技术实现思路

[0006]有鉴于此，本专利技术提供了一种涂覆桶外形的防溅水结构，能够用于晶圆清洗过程，防止水溅，避免污染物影响晶圆的后续操作。
[0007]本专利技术提供一种涂覆桶外形的防溅水结构，其特征在于，所述防溅水结构包括：所述防溅水结构包括：一体成型的桶体组件以及用于实现上防溅和桶盖作用的上罩组件；
[0008]所述桶体组件，包括：
[0009]内空结构且上下开口的桶体，用于将放置晶圆的载台罩设在其内；
[0010]倾斜板，设置在所述桶体的底部，用于与所述载台外表面密封式接触连接；
[0011]驱动连通口，设置在所述倾斜板上，用于安装喷水设备；
[0012]桶下排水口，设置在所述倾斜板的最低处，用于下排水；
[0013]所述上罩组件包括：
[0014]上罩结构，上下开口式结构，下端与所述桶体组件的上端可拆卸固接；
[0015]上罩盖板，一端与所述上罩结构一端壁铰接，另一端与所述上罩结构另一端壁可开合扣接；
[0016]上防溅板，设置在所述上罩结构的底部内壁；
[0017]上排水口，设置在所述上防溅板上，用于上排水。
[0018]如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述上罩组件的侧壁设有水雾抽取接口，用于与外部抽取设备连接实现水雾的抽出。
[0019]如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述桶体的侧壁上设有内外水气对接板，所述内外水气对接板与所述桶体侧壁可拆卸连接。
[0020]如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述桶体为圆柱形，所述倾斜板沿所述圆柱形桶体的内壁设置，且为环形。
[0021]如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述桶体为圆柱形和方形的组合形，所述倾斜板沿所述圆柱形桶体的内壁设置，且为环形或半环形与方形的组合形。
[0022]如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述方形的长小于所述圆柱形的直径。
[0023]如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述上罩盖板为透明板。
[0024]如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述上罩结构为方形。
[0025]如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述上防溅板为外方内圆的类环形。
[0026]如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，当所述防溅水结构用于晶圆涂胶时，所述倾斜板上还设有喷嘴加湿器，用于对设于所述驱动连通口的喷胶设备进行加湿。
[0027]如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述桶体组件和所述上罩结构均采用玻璃珠喷砂表面处理。
[0028]如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述桶体顶部内沿设有加固内圈，用于增加强度、加固桶体，防止桶体变形。
[0029]与现有技术相比，上述技术方案中的一个技术方案具有如下优点或有益效果：涂覆桶外形的防溅水结构，加工简单，成本低，既可以防止水跑到外面也防止水打到产品上去；
[0030]上述技术方案中的另一个技术方案具有如下优点或有益效果：不易积水，能够将桶体上下的水流及时排除桶外。
[0031]当然，实施本专利技术的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有技术效果。
附图说明
[0032]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0033]图1是本专利技术一个实施例提供的涂覆桶外形的防溅水结构的上罩整体开盖立面图；
[0034]图2是本专利技术一个实施例提供的涂覆桶外形的防溅水结构的上罩整体立面图；
[0035]图3是本专利技术一个实施例提供的上罩开盖立面图；
[0036]图4是本专利技术一个实施例提供的涂覆桶外形的防溅水结构立面图；
[0037]图5是本专利技术一个实施例提供的涂覆桶外形的防溅水结构内侧剖面图；
[0038]图6是本专利技术一个实施例提供的涂覆桶外形的防溅水结构俯视图。
[0039]其中，图中：
[0040]1、上罩结构；2、上罩盖板；3、水雾抽取接口；4、桶体；5、桶下排水管；6、内外水气对接板；7、搭扣；8、把手；9、铰链；10、透明亚克力板； 11、上罩挡水内沿；12、上罩排水接口；13、驱动连通管；14、加固内圈； 15、倾斜板；16、桶挡水内沿；17、载台安装口；18、喷嘴加湿器。
具体实施方式
[0041]为了更好的理解本专利技术的技术方案，下面结合附图对本专利技术实施例进行详细描述。
[0042]应当明确，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0043]在本专利技术实施例中使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本专利技术。在本专利技术实施例和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。
[0044]本专利技术的涂覆桶形防溅水结构包括一体封闭焊接的圆柱形的桶体4，桶体 4为上下开口的内空结构，表面光滑，一体封闭焊接可以减少零件组装产生的间隙，防止漏水。本专利技术相对于市面上的防护罩成本低，加工安装都比较简单牢固。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种涂覆桶外形的防溅水结构，其特征在于，所述防溅水结构包括：一体成型的桶体组件以及用于实现上防溅和桶盖作用的上罩组件；所述桶体组件，包括：内空结构且上下开口的桶体，用于将放置晶圆的载台罩设在其内；倾斜板，设置在所述桶体的底部，用于与所述载台外表面密封式接触连接；驱动连通口，设置在所述倾斜板上，用于安装喷水设备；桶下排水口，设置在所述倾斜板的最低处，用于下排水；所述上罩组件包括：上罩结构，上下开口式结构，下端与所述桶体组件的上端可拆卸固接；上罩盖板，一端与所述上罩结构一端壁铰接，另一端与所述上罩结构另一端壁可开合扣接；上防溅板，设置在所述上罩结构的底部内壁；上排水口，设置在所述上防溅板上，用于上排水。2.根据权利要求1所述的涂覆桶外形的防溅水结构，其特征在于，所述上罩组件的侧壁设有水雾抽取接口，用于与外部抽取设备连接实现水雾的抽出。3.根据权利要求1所述的涂覆桶外形的防溅水结构，其特征在于，所述桶体的侧壁上设有内外水气对接板，所述内外水...

【专利技术属性】
技术研发人员：程永龙，马林，时丕航，
申请(专利权)人：苏州迈为科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：