本公开提供一种警报装置及其警报方法。警报装置包括图像撷取单元、输入/输出单元以及处理单元。图像撷取单元经配置以撷取晶圆输送系统的至少一个图像；处理单元经配置以：从图像撷取单元取得至少一个图像；在至少一个图像中定义一第一边界；在至少一个图像中识别晶圆输送系统的晶圆载台；判断晶圆载台是否与至少一个图像中的第一边界相交；当判断晶圆载台与至少一个图像中的第一边界相交时，通过输入/输出单元将警报信号发送到该晶圆输送系统。输出单元将警报信号发送到该晶圆输送系统。输出单元将警报信号发送到该晶圆输送系统。
【技术实现步骤摘要】
警报装置及其警报方法
[0001]本申请案主张2020年7月17日申请的美国正式申请案第16/932,399号的优先权及益处，该美国正式申请案的内容以全文引用的方式并入本文中。
[0002]本公开提供一种警报装置及其警报方法。特别是有关于一种晶圆输送系统的警报装置及其警报方法。
技术介绍
[0003]在半导体制造的产业中，导入了晶圆自动输送系统。然而，在晶圆的自动输送过程中，由于晶圆的自动输送系统未正常运作，晶圆是可因此损坏。所以，需有一种装置及方法，其是可检测可能的故障，且警报晶圆自动输送设备，进行故障预防，防止晶圆在自动输送过程中被损坏，
[0004]上文的「先前技术」说明仅是提供
技术介绍
，并未承认上文的「先前技术」说明揭示本公开的标的，不构成本公开的先前技术，且上文的「先前技术」的任何说明均不应作为本案的任一部分。
技术实现思路
[0005]本公开提供一种晶圆输送的警报装置，警报装置是可包括图像撷取单元、输入/输出单元以及处理单元。图像撷取单元经配置以撷取晶圆输送系统的至少一个图像；输入/输出单元经配置与晶圆输送系统通信；处理单元电性连接到输入/输出单元以及图像撷取单元，且处理单元经配置以：从图像撷取单元取得至少一个图像；以及在至少一个图像中定义第一边界；在至少一个图像中识别晶圆输送系统的晶圆载台；判断晶圆载台是否与至少一个图像中的第一边界相交；当判断晶圆载台与至少一个图像中的第一边界相交时，通过输入/输出单元将警报信号发送到晶圆输送系统。
[0006]在一实施例中，处理单元还经配置以：在至少一个图像中定义第二边界；判断晶圆载台是否与至少一个图像中的第二边界相交；以及当判断晶圆载台与至少一个图像中的第二边界相交，则将警报信号通过输入/输出单元发送到晶圆输送系统。
[0007]在一实施例中，判断晶圆载台是否与至少一个图像中的第一边界相交，还包括：判断晶圆的边缘；以及判断晶圆载台是否与至少一个图像中的第一边界相交。
[0008]在一实施例中，第一边界包括在第一方向上的第一线以及在第二方向上的第二线。第一方向与第二方向不同。
[0009]在一实施例中，在至少一个图像中识别晶圆输送系统的晶圆载台，还包括：依据晶圆载台的标记、颜色或形状来识别至少一个图像中的晶圆输送系统的晶圆载台。
[0010]在一实施例中，输入/输出单元还经配置以从用户端接收输入数据，且可依据输入数据定义第一边界。
[0011]在一实施例中，警报信号是用以警报晶圆输送系统停止输送晶圆载台。
[0012]本公开另提供一种警报装置，警报装置是可包括图像撷取单元、输入/输出单元以
及处理单元。图像撷取单元，经配置以撷取显示屏幕的至少一个图像，其中显示屏幕显示晶圆输送系统及第一边界；输入/输出单元经配置与晶圆输送系统通信；处理单元与输入/输出单元以及图像撷取单元电性连接，且经配置以：由图像撷取单元取得至少一个图像；在至少一个图像中识别晶圆输送系统的晶圆载台以及第一边界；判断晶圆载台是否与至少一个图像中的第一边界相交；以及当判断晶圆载台与至少一个图像中与第一边界相交，则将警报信号通过输入/输出单元发送到晶圆输送系统。
[0013]在一实施例中，显示屏幕还显示第二边界。处理单元还经配置以：在至少一个图像中定义第二边界；判断晶圆载台是否与至少一个图像中的第二边界相交；以及当判断晶圆载台与至少一个图像中的第二边界相交，则将警报信号通过输入/输出单元发送到晶圆输送系统。
[0014]在一实施例中，判断晶圆载台是否与至少一个图像中的第一边界相交，还包括：判断晶圆的边缘；以及判断晶圆载台是否与至少一个图像中的第一边界相交。
[0015]在一实施例中，第一边界包括在第一方向上的第一线以及在第二方向上的第二线。第一方向与第二方向不同。
[0016]在一实施例中，在至少一个图像中识别晶圆输送系统的晶圆载台，还包括：依据晶圆载台的标记、颜色或形状来识别至少一个图像中的晶圆输送系统的晶圆载台。
[0017]在一实施例中，警报信号是用以警报晶圆输送系统停止输送晶圆载台。
[0018]本公开另提供一种晶圆输送的警报方法，包括步骤：通过图像撷取单元取得晶圆输送系统的至少一个图像；通过处理单元定义至少一个图像中的第一边界。通过处理单元，在至少一个图像中识别晶圆输送系统的晶圆载台。通过处理单元判断晶圆载台是否与至少一个图像中的第一边界相交；以及当判断晶圆载台与至少一个图像中的第一边界相交，则将警报信号通过输入/输出单元发送到晶圆输送系统。
[0019]在一实施例中，警报方法还包括步骤：通过处理单元定义至少一个图像中的第二边界；通过处理单元判断晶圆载台是否与至少一个图像中的第二边界相交；以及当判断晶圆载台与至少一个图像中的第二边界相交，则将警报信号通过输入/输出单元发送到晶圆输送系统。
[0020]在一实施例中，判断晶圆载台是否与至少一个图像中的第一边界相交的步骤，还包括：通过处理单元判断晶圆载台的边缘；以及通过处理单元判断晶圆载台是否与至少一个图像中的第一边界相交。
[0021]在一实施例中，第一边界包括在第一方向上的第一线以及在第二方向上的第二线。第一方向与第二方向不同。
[0022]在一实施例中，在至少一个图像中识别晶圆输送系统的晶圆载台的步骤，还包括步骤：通过处理单元，依据晶圆载台的标记、颜色或形状来识别至少一个图像中的晶圆输送系统的晶圆载台。
[0023]在一实施例中，警报方法还包括步骤：通过输入/输出单元从用户端接收输入数据；其中可依据输入数据定义第一边界。
[0024]在一实施例中，警报信号是用以警报晶圆输送系统停止输送晶圆载台。
[0025]上文已相当广泛地概述本公开的技术特征及优点，而使下文的本公开详细描述得以获得较佳了解。构成本公开的权利要求标的的其它技术特征及优点将描述于下文。本公
开所属
中具有通常知识者应了解，可相当容易地利用下文揭示的概念与特定实施例可作为修改或设计其它结构或制程而实现与本公开相同的目的。本公开所属
中具有通常知识者亦应了解，这类等效建构无法脱离后附的权利要求所界定的本公开的精神和范围。
附图说明
[0026]参阅实施方式与权利要求合并考量图式时，可得以更全面了解本申请案的揭示内容，图式中相同的元件符号是指相同的元件。
[0027]图1为依据本公开一些实施例一种警报装置的块状示意图。
[0028]图2为依据本公开一些实施例图像撷取单元拍摄一晶圆传送系统的图像的示意图。
[0029]图3A到图3D为依据本公开一些实施例该晶圆输送系统的图像的示意图。
[0030]图4A到图4C为依据本公开一些实施例该晶圆输送系统的示意图。
[0031]图5A到图5B为依据本公开一些实施例该晶圆输送系统的示意图。
[0032]图6为依据本公开一些实施例图像撷取单元拍摄一晶圆输送系统的一显示屏幕的图像的示意图
[0033本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆输送的警报装置，包括：一图像撷取单元，经配置以撷取一晶圆输送系统的至少一个图像；一输入/输出单元，经配置以与该晶圆输送系统通信；一处理单元，与该输入/输出单元以及所该图像撷取单元电性连接，且经配置以：由该图像撷取单元取得至少一个图像；在该至少一个图像中定义一第一边界；在该至少一个图像中识别该晶圆输送系统的一晶圆载台；判断该晶圆载台是否与该至少一个图像中的该第一边界相交；以及当判断该晶圆载台与该至少一个图像中的该第一边界相交，则将一警报信号通过该输入/输出单元发送到该晶圆输送系统。2.如权利要求1所述的警报装置，其中该处理单元还经配置以：在该至少一个图像中定义一第二边界；判断该晶圆载台是否与该至少一个图像中的该第二边界相交；以及当判断该晶圆载台与该至少一个图像中的该第二边界相交，则将该警报信号通过该输入/输出单元发送到该晶圆输送系统。3.如权利要求1所述的警报装置，其中判断该晶圆载台是否与该至少一个图像中的该第一边界相交，还包括：判断该晶圆的边缘；以及判断该晶圆载台是否与该至少一个图像中的该第一边界相交。4.如权利要求1所述的警报装置，其中第一边界包括在一第一方向上的一第一线以及在一第二方向上的一第二线，该第一方向与该第二方向不同。5.如权利要求1所述的警报装置，其中在该至少一个图像中识别该晶圆输送系统的该晶圆载台，还包括：依据该晶圆载台的一标记、一颜色或一形状来识别该至少一个图像中的该晶圆输送系统的该晶圆载台。6.如权利要求1所述的警报装置，其中该输入/输出单元还经配置以从用户端接收一输入数据，且可依据该输入数据定义该第一边界。7.如权利要求1所述的警报装置，其中该警报信号是用以警报该晶圆输送系统停止输送该晶圆载台。8.一种晶圆输送的警报装置，包括：一图像撷取单元，经配置以撷取一显示屏幕的至少一个图像，其中该显示屏幕显示一晶圆输送系统及一第一边界；一输入/输出单元，经配置以与该晶圆输送系统通信；一处理单元，与该输入/输出单元以及所该图像撷取单元电性连接，且经配置以：由该图像撷取单元取得至少一个图像；在该至少一个图像中识别该晶圆输送系统的该晶圆载台以及该第一边界；判断该晶圆载台是否与该至少一个图像中的该第一边界相交；以及当判断该晶圆载台与该至少一个图像中与该第一边界相交，则将一警报信号通过该输入/输出单元发送到该晶圆输送系统。
9.如权利要求8所述的警报装置，其中该显示屏幕还显示一第二边界，且该处理单元更经配置以：在该至少一个图像中定义该第二边界；判断该晶圆载台是否与该至少一个图像中的该第二边界相交；以及当...
【专利技术属性】
技术研发人员：董学儒，蔡奉儒，
申请(专利权)人：南亚科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。