统计制程分析系统、计算机执行的用于统计制程分析方法技术方案

本发明专利技术提供一种统计制程分析系统、计算机执行的用于统计制程分析方法，所述用于统计制程分析的系统，其包括一储存装置、一控制装置、及一侦测装置。该储存装置，其是用以储存多个统计制程分析图表，其中该统计制程分析图表是包含在测试期间从一系统收集来的数据。该控制装置，其是依据该统计制程分析图表的特征，将该统计制程分析图表区分为多个类型。该侦测装置，其是用以决定上述类型中的统计制程分析图表是否违背一预定规则。本发明专利技术可在制造环境中对大量数据进行收集、分析和判断，以实现对制程快速、有效的控制。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是有关于制程控制，特别是有关于用以在制造环境中收集数据及进行统计制程分析的系统与方法。
技术介绍
随着半导体制造相关技术的成长，半导体产品制造的复杂度与日俱增。目前半导体产品制造，由于大小或排列等因素，对于错误的容许度非常小。然而，于复杂的制程中，常会因为不良的制程参数而导致错误发生。由于半导体产品于刚开始生产时，并没有先前制程数据可供参考，因此无法适切地设定制程或工具相关制程参数，因此半导体产品刚开始进行生产时，特别容易发生前述的错误。于一个半导体制造企业中，制造机台可用以执行诸如半导体晶圆制造、监督制造作业以及于机台中运送晶圆或其他类似的工作。于机台运作时，许多参数会被持续监测着。例如，晶圆可在一个反应室(chamber)中被处理，而机台会控制其中的参数，诸如压力、温度以及制造时间区间。在制造期间，为了持续监测这些参数，会产生非常大量的数据，以及须花费大量的时间从数据中侦测出一个缺陷。在传统的制造系统中，制造执行系统接收该制程参数及制程数据，分析该制程参数和制程数据，并据以控制机台的运作。制造执行系统是整个制造系统的心脏，其负责控制所有的制造设备的运作。并且，制造执本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于统计制程分析的系统，其特征在于，所述用于统计制程分析的系统包括：　　　　一储存装置，其是用以储存多个统计制程分析图表，其中该统计制程分析图表是包含在测试期间从一系统收集来的数据；　　　　一控制装置，其是依据该统计制程分析图表的特征，将该统计制程分析图表区分为多个类型；以及　　　　一侦测装置，其是用以决定上述类型中的统计制程分析图表是否违背一预定规则。

【技术特征摘要】
US 2004-11-17 10/989,4941.一种用于统计制程分析的系统，其特征在于，所述用于统计制程分析的系统包括一储存装置，其是用以储存多个统计制程分析图表，其中该统计制程分析图表是包含在测试期间从一系统收集来的数据；一控制装置，其是依据该统计制程分析图表的特征，将该统计制程分析图表区分为多个类型；以及一侦测装置，其是用以决定上述类型中的统计制程分析图表是否违背一预定规则。2.根据权利要求1所述的用于统计制程分析的系统，其特征在于，该预定规则设定一选自一制程目标及一规格限定的一制程常数的阀值。3.根据权利要求2所述的用于统计制程分析的系统，其特征在于，该规格限定包含一规格上限及/或一规格下限。4.根据权利要求1所述的用于统计制程分析的系统，其特征在于，该预定规则设定一Cp、K、Cpk统计参数的阀值。5.根据权利要求1所述的用于统计制程分析的系统，其特征在于，该预定规则设定该统计制程分析图表的一指标变量，以作为一侦测目标。6.根据权利要求5所述的用...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄明彰，陈明发，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]