【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体特性评估装置，并涉及在开发和制作晶片阶段的半导体器件中的评估和测量计算机程序和数据的管理。
技术介绍
在半导体元件的开发和制作中，采用了半导体特性评估装置来进行晶片流程管理，如根据未实审的日本专利公开No.[Kokai]H2 -56947的半导体参数测试装置。自然，晶片管理流程在诸如集成电路之类的半导体元件的量产中是重要的，并且优选地从半导体元件的开发阶段积累并建立知识以平滑移动到量产阶段。对于晶片制作流程，各个公司在2004年已经引入了300mm的晶片。然而，新工艺的开发必须一直进行下去以在每年都取得进展。简而言之，在本说明书中，半导体元件的开发以及晶片流程管理被称为“晶片开发”。图5中的简单示例被用来解释晶片开发期间的参数测试。在图5中，项目A(400)指示晶片开发中一系列各种计算机程序和各种数据类型之间的转变。项目中晶片的开发阶段被划分为阶段1(401)、阶段2(411)和阶段3(421)，其分别开发晶片类型A1的晶片(402)、晶片类型A2的晶片(410)和晶片类型A3的晶片(420)。晶片类型指在每个阶段中试制的晶片类型，并且由...
【技术保护点】
一种半导体特性评估装置中的管理方法，该管理方法是包括控制单元、存储器单元和输入／输出单元的半导体特性评估装置中的数据管理方法，其中所述管理方法包括：选择包括用于测试多个晶片类型的测试程序的工作空间；将所述所选的工作空间中的测 试结果存储为历史；以及从先前存储的测试结果的历史中搜索所需的测试结果。
【技术特征摘要】
JP 2005-2-25 2005-0512121.一种半导体特性评估装置中的管理方法，该管理方法是包括控制单元、存储器单元和输入/输出单元的半导体特性评估装置中的数据管理方法，其中所述管理方法包括选择包括用于测试多个晶片类型的测试程序的工作空间；将所述所选的工作空间中的测试结果存储为历史；以及从先前存储的测试结果的历史中搜索所需的测试结果。2.如权利要求1所述的管理方法，还包括将所述所选的工作空间中的设置数据存储为历史；以及从先前存储的设置数据的历史中搜索所需的设置数据。3.如权利要求2所述的管理方法，其中所述存储测试结果的步骤、所述搜索测试结果的步骤、所述...
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