一种在太阳能电池基底表面制备电极膜层的方法技术

本发明专利技术属于太阳能电池技术领域，尤其涉及一种在太阳能电池基底表面制备电极膜层的方法。该方法包括以下步骤：a)在真空条件下将金属电极材料加热熔融，得到金属电极材料熔体；b)用离子源低能轰击所述金属电极材料熔体，使其溅射沉积在太阳能电池基底表面，形成电极膜层；所述低能轰击的能量为30～80eV。本发明专利技术提供的方法不需要将电极材料加热至蒸发态，可以显著减少电极材料沉积过程中的热辐射，降低基底的热辐射损伤；同时，由于该方法采用的是低能粒子轰击，因此还可以有效避免高能粒子轰击对基底造成的冲击损伤。本发明专利技术提供的方法可以有效减少电极膜层制备过程中对太阳能电池基底的损伤，且能耗较低，具有良好的市场前景。具有良好的市场前景。

【技术实现步骤摘要】
一种在太阳能电池基底表面制备电极膜层的方法


[0001]本专利技术属于太阳能电池
，尤其涉及一种在太阳能电池基底表面制备电极膜层的方法。

技术介绍

[0002]随着人们意识到石化能源是不可再生的、有限的，并且伴随着全球性环境污染与生态破环，世界各国开始加强清洁能源的开发，从而推动了太阳能电池的发展，效率不断提高，单晶体硅电池的效率已经从20世纪50年代的6％提高到目前的24.7％，多晶体硅电池的效率达到了20.3％，在薄膜电池的研究工作中，非晶硅薄膜电池效率达到了13％，碲化镉(CdTe)效率达到了16.4％，铜铟硒(CIS)的效率达到19.5％。而多结叠层光电池的研究更是取得了长足的进步，聚光条件下GaInP/Ga(In)As/Ge多结光电池的转化效率已经突破了40％。
[0003]在太阳能电池的制备过程中，涉及在基底表面沉积电极材料的环节，目前最为常见的电极材料沉积方法为热蒸发，但该方法对温度要求更高，会产生较大的热辐射，从而对基底材料(如钙钛矿材料层)造成损伤。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本专利技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种在太阳能电池基底表面制备电极膜层的方法，包括以下步骤：a)在真空条件下将金属电极材料加热熔融，得到金属电极材料熔体；b)用离子源低能轰击所述金属电极材料熔体，使其溅射沉积在太阳能电池基底表面，形成电极膜层；所述低能轰击的能量为30～80eV。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤a)中，所述真空条件为5
×
10
‑5～5
×
10
‑3Pa。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，步骤a)中，所述真空条件为1
×
10
‑4～1
×
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‑3Pa。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤a)中，所述金属电极材料为金、银、铜、铁、铝、镉...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖平，熊继光，赵志国，刘家梁，李梦洁，赵东明，秦校军，张赟，董超，王雪玲，许世森，刘入维，梁思，
申请(专利权)人：中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：