【技术实现步骤摘要】
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13)取向六方纤锌矿结构晶体孪晶的检测方法
[0001]本专利技术特别涉及一种(10
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13)取向六方纤锌矿结构晶体孪晶的检测方法，属于半导体晶体材料测试
技术介绍
[0002]六方纤锌矿结构AlN具有高达6.2eV的禁带宽度，是目前最具潜力的紫外发光材料之一，有希望克服目前汞灯紫外光源存在的一些问题。与汞灯光源相比，AlN光源有着无污染、低工作电压和低功耗等优势，表现出取代汞灯光源的潜力，纤锌矿A1N的自然生长方向为[0001]取向，沿此方向存在着强烈的量子限域斯塔克(QCSE)效应，极大地降低了AlN器件的内量子发光效率，沿半极性方向生长AlN可以显著地降低QCSE效应，近年来吸引了众多科研人员的目光。
[0003]半极性AlN最常用的异质衬底材料是m面(10
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10)蓝宝石衬底，m面蓝宝石衬底上有三种可能的取向，分别是半极性(11
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22)取向和(10
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13)取向以及非极性(10
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【技术保护点】
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.一种(10
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13)取向六方纤锌矿结构晶体孪晶的检测方法，其特征在于包括：以高分辨率X射线衍射仪对(10
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13)取向六方纤锌矿结构晶体的(0002)面进行ω
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2θ扫描，若所获检测结果中包含(10
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11)衍射峰，则判定有孪晶存在，反之则判定无孪晶存在。2.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于包括：在定χ角条件下，通过高分辨率X射线衍射仪的ω
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2θ模式对(10
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13)取向六方纤锌矿结构晶体的(0002)面进行联动扫描。3.根据权利要求1或2所述的检测方法，其特征在于包括：使带有六方纤锌矿结构晶体的[11
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20]取向与X射线入射线方向平行，其中，[11
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20]取向为蓝宝石衬底定位边，所述蓝宝石定位边为[0001]晶向；将(10
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13)取向的六方纤锌矿结构晶体的χ角设置为预定值，使所述(10
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13)取向六方纤锌矿结构晶体的(0002)面平行于X射线入射线方向，再用高分辨率X射线衍射仪对(10
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13)取向六方纤锌矿结构晶体的(0002)面进行ω
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20扫描。4.根据权利要求3所述的检测方法，其特征在于包括：将(10
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13)取向六方纤锌矿结构晶体的χ角设置为特定值。5.根据权利要求3所述的检测方法，其特征在于具体包括：以30
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技术研发人员：李旭，刘婷，孙茂松，鲁勇，张纪才，
申请(专利权)人：山东镓数智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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