本实用新型专利技术公开了一种晶圆检测使用的探照装置，包括调节箱、安装架和转盘，还包括便于进行无死角照射调节的限位结构、便于对装置进行快速安装的安装结构和便于快速更换探照灯的固定结构，所述调节箱一端的中间位置处安装有PLC控制器，且调节箱内部的一侧安装有正反电机，所述正反电机的输出端安装有转杆，所述限位结构安装在调节箱内部的另一侧，所述调节箱的底端设置有转盘，且转盘底端的两侧均倾斜安装有照明灯。本实用新型专利技术通过正反电机工作带动转杆转动，从而带动安装架转动将照明灯调节至适当的角度，同时通过气动伸缩杆工作带动推板使得推杆将齿轮卡住进行限位，通过驱动电机工作带动转盘转动，最终实现无死角的进行探照。照。照。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆检测使用的探照装置
[0001]本技术涉及晶圆检测探照
，具体为一种晶圆检测使用的探照装置。
技术介绍
[0002]在对晶圆进行检测时，需要将晶圆放置在设备内部，通过探照装置进行补光，从而可以便于探针的精准检测，保证打印出的图纸不会出现黑斑，合理的探照装置也决定了检测的质量，但是现有的晶圆检测使用的探照装置还存在很多问题或缺陷：
[0003]第一，传统的晶圆检测使用的探照装置不便于进行拆卸维修，整体装置不能够很好的安装在设备内部，同时也不能快速的完成拆卸维修。
[0004]第二，传统的晶圆检测使用的探照装置探照灯不便于更换，在对不同晶圆检测时，探照灯的种类需要进行改变，但更换不便。
[0005]第三，传统的晶圆检测使用的探照装置不能无死角调节，探照存在死角，导致无法精准的完成检测。
技术实现思路
[0006]本技术的目的在于提供一种晶圆检测使用的探照装置，以解决上述
技术介绍
中提出的不便于进行拆卸维修、不便于更换和不能无死角调节的问题。
[0007]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆检测使用的探照装置，包括调节箱、安装架和转盘，还包括便于进行无死角照射调节的限位结构、便于对装置进行快速安装的安装结构和便于快速更换探照灯的固定结构；
[0008]所述调节箱一端的中间位置处安装有PLC控制器，且调节箱内部的一侧安装有正反电机，所述正反电机的输出端安装有转杆，且转杆外壁的中间位置处安装有齿轮，所述限位结构安装在调节箱内部的另一侧；
[0009]所述安装结构安装在调节箱顶端的中间位置处；
[0010]所述调节箱的底端设置有转盘，且转盘底端的两侧均倾斜安装有照明灯，所述固定结构安装在转盘底端的中间位置处。
[0011]优选的，所述限位结构包括气动伸缩杆，所述气动伸缩杆安装在调节箱内部的另一侧，且气动伸缩杆的输出端安装有推板，所述推板靠近齿轮一侧的四周均安装有推杆。
[0012]优选的，所述转杆的底端安装有安装架，且安装架顶端的中间位置处安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端通过转轴与转盘顶端相连。
[0013]优选的，所述安装结构包括安装箱、安装杆、丝杆、套筒和转手，所述安装箱安装在调节箱顶端的中间位置处，且安装箱内部的中间位置处转动连接有丝杆，所述丝杆的两侧贯穿安装箱安装有转手，且丝杆外壁的两侧均转动连接有套筒，所述转手的顶端贯穿安装箱滑动连接有安装杆。
[0014]优选的，所述丝杆外壁两侧的螺纹相反，且丝杆外壁两侧的套筒关于丝杆的中线对称分布。
[0015]优选的，所述固定结构包括卡槽、卡杆、固定箱和弹簧，所述固定箱安装在转盘底端的中间位置处，且固定箱内部的两侧均安装有弹簧，所述弹簧的一侧滑动连接有贯穿固定箱的卡杆，且卡杆一侧的照明灯侧壁对应开设有卡槽。
[0016]优选的，所述固定箱底端的两侧均开设有拨槽，且拨槽上方的卡杆底端通过拨块与拨槽相连。
[0017]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0018]（1）通过设置有转手、丝杆、套筒和安装杆，将该装置放置在指定的安装位置，转动转手带动丝杆转动，带动套筒使得安装杆相向运动，从而带动安装杆卡入预留孔内部，进而完成对装置的安装，同时也便于拆卸维修；
[0019]（2）通过设置有拨块、卡杆、弹簧、卡槽和照明灯，通过用手捏住拨块带动卡杆克服弹簧的弹性而脱离卡槽内部，从而取消对照明灯的固定，便于将照明灯拆卸更换新的照明灯进行安装，大大提高了更换的效率；
[0020]（3）通过设置有正反电机、转杆、安装架、照明灯、气动伸缩杆、推板、推杆、齿轮、驱动电机和转盘，通过正反电机工作带动转杆转动，从而带动安装架转动将照明灯调节至适当的角度，同时通过气动伸缩杆工作带动推板使得推杆将齿轮卡住进行限位，进一步的可通过驱动电机工作带动转盘转动，最终实现无死角的进行探照。
附图说明
[0021]图1为本技术的正视剖面结构示意图；
[0022]图2为本技术的侧视剖面结构示意图；
[0023]图3为本技术的正视结构示意图；
[0024]图4为本技术图1的A部放大结构示意图。
[0025]图中：1、调节箱；2、气动伸缩杆；3、推板；4、推杆；5、安装架；6、照明灯；7、转盘；8、驱动电机；9、齿轮；10、正反电机；11、转杆；12、安装结构；1201、安装箱；1202、安装杆；1203、丝杆；1204、套筒；1205、转手；13、PLC控制器；14、固定结构；1401、卡槽；1402、卡杆；1403、固定箱；1404、弹簧；15、拨槽；16、拨块。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0027]实施例1：请参阅图1
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4，一种晶圆检测使用的探照装置，包括调节箱1、安装架5和转盘7，还包括便于进行无死角照射调节的限位结构、便于对装置进行快速安装的安装结构12和便于快速更换探照灯的固定结构14；
[0028]调节箱1一端的中间位置处安装有PLC控制器13，该PLC控制器13的型号可为DVP40ES200T，且调节箱1内部的一侧安装有正反电机10，该正反电机10的型号可为F
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1，正反电机10的输出端安装有转杆11，且转杆11外壁的中间位置处安装有齿轮9，限位结构安装在调节箱1内部的另一侧；
[0029]安装结构12安装在调节箱1顶端的中间位置处；
[0030]调节箱1的底端设置有转盘7，且转盘7底端的两侧均倾斜安装有照明灯6，固定结构14安装在转盘7底端的中间位置处；
[0031]请参阅图1
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4，一种晶圆检测使用的探照装置还包括限位结构，限位结构包括气动伸缩杆2，该气动伸缩杆2的型号可为GT_QD_300mm，气动伸缩杆2安装在调节箱1内部的另一侧，且气动伸缩杆2的输出端安装有推板3，推板3靠近齿轮9一侧的四周均安装有推杆4；
[0032]转杆11的底端安装有安装架5，且安装架5顶端的中间位置处安装有驱动电机8，该驱动电机8的型号可为RDX
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V36F5E13，驱动电机8的输出端通过转轴与转盘7顶端相连；
[0033]具体的，如图1和图2所示，使用该结构时，首先通过PLC控制器13控制正反电机10工作带动转杆11转动，从而带动安装架5转动将照明灯6调节至适当的角度，同时通过PLC控制器13控制气动伸缩杆2工作带动推板3使得推杆4将齿轮9卡住进行限位，进一步的可通过PLC控制器13控制驱动电机8工作带动转盘7转动，本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆检测使用的探照装置，包括调节箱（1）、安装架（5）和转盘（7），其特征在于：还包括便于进行无死角照射调节的限位结构、便于对装置进行快速安装的安装结构（12）和便于快速更换探照灯的固定结构（14）；所述调节箱（1）一端的中间位置处安装有PLC控制器（13），且调节箱（1）内部的一侧安装有正反电机（10），所述正反电机（10）的输出端安装有转杆（11），且转杆（11）外壁的中间位置处安装有齿轮（9），所述限位结构安装在调节箱（1）内部的另一侧；所述安装结构（12）安装在调节箱（1）顶端的中间位置处；所述调节箱（1）的底端设置有转盘（7），且转盘（7）底端的两侧均倾斜安装有照明灯（6），所述固定结构（14）安装在转盘（7）底端的中间位置处。2.根据权利要求1所述的一种晶圆检测使用的探照装置，其特征在于：所述限位结构包括气动伸缩杆（2），所述气动伸缩杆（2）安装在调节箱（1）内部的另一侧，且气动伸缩杆（2）的输出端安装有推板（3），所述推板（3）靠近齿轮（9）一侧的四周均安装有推杆（4）。3.根据权利要求1所述的一种晶圆检测使用的探照装置，其特征在于：所述转杆（11）的底端安装有安装架（5），且安装架（5）顶端的中间位置处安装有驱动电机（8），所述驱动电机（8）的输出端通过转轴与转盘（7）顶端相连。4.根据权利要求1所述的一种晶圆检测使用的探照装置，其特征在于：所述安装结构（12）包括安装箱（120...
【专利技术属性】
技术研发人员：孔维深，郑东来，
申请(专利权)人：南通嘉崇电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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