本揭露提供一种设计规则检查的系统、方法与其非暂态计算机可读媒介，用于修复设计规则检查(design rule check；DRC)违规的系统与方法包含接收具有设计规则检查违规的布局图案，基于此布局图案与多个先前所分析的布局图案的比较来决定此布局图案为正常值。此比较可通过异常侦测演算法来进行。系统与方法亦可包含当决定此布局图案为正常值时，从先前应用至多个先前所分析的布局图案的配方库中选择一配方，用以修复布局片段中的设计规则检查违规。用以修复布局片段中的设计规则检查违规。用以修复布局片段中的设计规则检查违规。
【技术实现步骤摘要】
设计规则检查的系统、方法与其非暂态计算机可读媒介
[0001]本揭露是关于一种半导体的系统与方法，特别是一种设计规则检查的系统、方法与其非暂态计算机可读媒介。
技术介绍
[0002]小型化集成电路(integrated circuits；IC)的近期趋势已经产出较小的元件，其比以前消耗更少功率却可以更高的速度提供更多功能。在一个态样中，IC的小型化可通过制造程序的进步来实现。例如：上百万乃至上亿的电路元件(例如：晶体管)可在小面积(例如：小于100mm2)中形成。为了确保IC的元件可通过复杂的制造程序依照所设计的来制造，可使用各种电子设计自动化(electronic design automation；EDA)工具。
技术实现思路
[0003]本揭露的一态样是提供一种设计规则检查(Design Rule Check；DRC)方法，包含：通过处理器执行储存在记忆体上的多个计算机可读指令，来接收其中具有设计规则检查违规的布局图案；基于此布局图案与多个先前所分析的布局图案的比较，通过处理器来决定此布局图案为正常值，其中此比较是通过异常侦测演算法来进行；以及当决定此布局图案为正常值时，通过处理器从先前应用至这些先前所分析的布局图案的配方库中选择配方，以修复此布局图案中的设计规则检查违规。
[0004]本揭露的另一态样是提供一种设计规则检查系统，包含：记忆体与处理器。其中记忆体具有多个计算机可读指令储存于其上。处理器是用以执行这些计算机可读指令来进行：将其中具有设计规则检查违规的布局图案做分类，来决定设计规则检查违规的分类，以辨识出一先前所分析布局图案群组，此先前所分析布局图案群组具有类似于布局图案中的设计规则检查违规的多个设计规则检查违规；以及从应用至此先前所分析布局图案群组的配方库中选择适当配方，以修复布局图案中的设计规则检查违规。
[0005]本揭露的又一态样是提供一种非暂态计算机可读媒介，包含多个计算机可读指令储存于其上，当通过处理器执行这些指令时使得处理器进行：分类其中具有设计规则检查违规的布局图案，以决定设计规则检查违规的分类通过：决定设计规则检查违规的图案类型、基于图案类型决定设计规则检查违规的违规类型、以及基于违规类型，决定设计规则检查违规发生的一层；基于此分类来辨识出先前所分析布局图案群组，此先前所分析布局图案群组具有类似于布局图案中的设计规则检查违规的多个设计规则检查违规；以及从先前应用至此先前所分析布局图案群组的配方库中选择配方来修复设计规则检查违规。
附图说明
[0006]当结合附图阅读时，根据以下详细描述可更好地理解本揭露案的态样。应注意，根据工业标准实务，各种特征未按比例绘制。事实上，为论述清楚，各特征的尺寸可任意地增加或缩小。
[0007]图1是根据一些实施例的计算系统的例示性方块图；
[0008]图2是根据一些实施例的设计规则检查(Design Rule Check；DRC)验证系统的例示性方块图；
[0009]图3是根据一些实施例的概述通过图2的设计规则检查验证系统所实施的用于修复布局片段中的设计规则检查违规的处理操作的例示性流程图；
[0010]图4是根据一些实施例的图3的布局片段中的设计规则检查违规的例示性分类，此分类是用于进行离群值侦测及配方选择以修复布局片段中的设计规则检查违规；
[0011]图5是根据一些实施例的例示性方块图，此方块图绘示具有设计规则检查违规的先前所分析的布局片段群集，这些群集用于近行离群值侦测及配方选择，这些设计规则检查违规类似于图3的布局片段中的设计规则检查违规；
[0012]图6是根据一些实施例所绘示的用以减少错误离群值侦测的状况的数据扩充处理的例示性方块图；
[0013]图7是根据一些实施例的图2的设计规则检查验证系统的另一例示性方块图，其绘示用以修复图3的布局片段中的设计规则检查违规的配方选择；
[0014]图8是根据一些实施例所绘示的图7的设计规则检查验证系统的额外细节的另一例示性方块图；
[0015]图9是根据一些实施例的概述用于执行离群值侦测及配方选择以修复图3的布局片段中的设计规则检查违规的操作的例示性流程图；
[0016]图10是根据一些实施例的图2的设计规则检查验证系统的又一例示性方块图；
[0017]图11是根据一些实施例的由图10的设计规则检查验证系统所产生的设计规则检查总结报告的实例。
[0018]【符号说明】
[0019]100：计算系统
[0020]105：主机装置
[0021]110：记忆体装置
[0022]115：输入装置
[0023]120：输出装置
[0024]125A、125B、125C：接口
[0025]130A、130N：中央处理单元核心
[0026]135：设计规则检查应用
[0027]140：记忆体控制器
[0028]145：记忆体阵列
[0029]150：制造工具
[0030]155：设计规则检查验证系统
[0031]160：布局片段
[0032]165：离群值侦测
[0033]170：设计规则检查布局相似度分组
[0034]175：布局群集
[0035]180：谱分群
[0036]185、190、710、715：方块
[0037]195、630：处理
[0038]200、205、210、215、220、225、635、640、645、650、655、660、665、670、675：操作
[0039]230、520：分类
[0040]240：金属互连
[0041]245：通孔结构
[0042]250、255：违规类型
[0043]260、265：层
[0044]270、275、280、565：群组
[0045]290、295、300、305、380、415、440、475、570、575、580、585、615：群集
[0046]310、315、320、385、390、395、400、405、410、420、425、430、435、445、450、455、460、465、470、480、485、490、495：布局图案
[0047]325、335：图案违规图表
[0048]330、360、590：配方修复率图表
[0049]340：第一类型的设计规则核对违规
[0050]345、350、355：其他类型的设计规则核对违规
[0051]365、370、375、620：配方
[0052]500、505：箭头
[0053]510：方块图
[0054]515：多个布局片段
[0055]525、595：布局片段
[0056]530：谱分群
[0057]535：图表
[0058]540、545、550、5本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种设计规则检查方法，其特征在于，包含：通过一处理器执行储存在一记忆体上的多个计算机可读指令，来接收其中具有一设计规则检查违规的一布局图案；基于该布局图案与多个先前所分析的布局图案的一比较，通过该处理器来决定该布局图案为一正常值，其中该比较是通过一异常侦测演算法来进行；以及当决定该布局图案为一正常值时，通过该处理器从先前应用至所述多个先前所分析的布局图案的一配方库中选择一配方，以修复该布局图案中的该设计规则检查违规。2.根据权利要求1所述的设计规则检查方法，其特征在于，还包含：基于一图案类型、一违规类型、以及具有该设计规则检查违规的一层，通过该处理器分类该布局图案中的该设计规则检查违规。3.根据权利要求2所述的设计规则检查方法，其特征在于，该违规类型包含间距、面积、长度、推荐、宽度、重叠、包围、颜色间距、扩展、或双图案规则违规类型中的至少一者。4.根据权利要求2所述的设计规则检查方法，其特征在于，分类该布局图案包含：通过该处理器来决定该设计规则检查违规的该图案类型；基于该图案类型，通过该处理器来决定该设计规则检查违规的该违规类型；以及基于该违规类型，通过该处理器来决定具有该设计规则检查违规的该层。5.根据权利要求2所述的设计规则检查方法，其特征在于，还包含：基于该分类，通过该处理器从具有多个设计规则检查违规的所述多个先前所分析的布局图案中辨识出一先前分析布局图案子集，所述多个设计规则检查违规类似于用于选择该配方的该布局图案中的该设计规则检查违规。6.一种设计规则检查系统，其特征在于，包含：一记忆体，具有多个计算机可读指令储存于其上；以及一处理器，用以执行所述多个计算机可读指令来进行：将其中具有一设计规则检查违规的一布局图案分类，来决定该设计规则检查违规的一分类，以辨识出一先前所分析布局图案群组，该先前所分...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄于真，林恒毅，庄易霖，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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